电子部件输送装置以及电子部件检查装置的制作方法

本发明涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术：

以往，公知有例如检查ic器件等电子部件的电特性的电子部件检查装置，该电子部件检查装置组装有用于将ic器件输送到检查部的载置部件的电子部件输送装置。在检查ic器件时，被电子部件输送装置的把持部把持的ic器件配置于载置部件。而且，把持部向载置部件按压ic器件。由此，ic器件的多个端子分别被按压于在载置部件上设置的多个探针，ic器件的各端子与各探针接触而电连接。

在专利文献1记载的电子部件检查装置中，载置部件(插座)是由引导把持部的插座引导器覆盖的结构。插座引导器具有在把持部按压电子部件时引导把持部的导销。该导销插入把持部的引导孔，由此进行插座引导器与把持部的定位。

专利文献1：日本特开2003-28923号公报

然而，在专利文献1记载的电子部件输送装置中，是在把持部按压ic器件时把持部按压插座引导器的结构。另外，插座引导器与载置部件抵接，所以把持部按压插座引导器的按压力向载置部件传递。根据该按压力的程度不同，载置部件有变形的可能性。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够通过以下的方式或者应用例来实现。

本发明的电子部件输送装置的特征在于，具有：

第一构造体，其具有能够收纳载置部件的凹部，该载置部件载置电子部件；和

第二构造体，其能够配置于上述第一构造体，并覆盖上述凹部，

上述第二构造体在配置于上述第一构造体的情况下，不与上述载置部件抵接。

由此，在外力施加于第二构造体的情况下，能够防止该外力传递至载置部件。因此，能够防止载置部件破损。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为上述凹部的深度大于上述载置部件的厚度。

由此，能够防止载置部件与第二构造体接触。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为在上述第二构造体与上述载置部件之间形成有间隙。

由此，能够防止载置部件与第二构造体接触。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为具有将上述第一构造体和上述第二构造体定位的定位部。

由此，能够进行第一构造体和第二构造体的定位。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为具有将上述第二构造体和上述载置部件定位的定位部。

由此，能够进行第二构造体和载置部件的定位。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为上述第二构造体能够覆盖一个上述凹部。

由此，能够减小第二构造体的大小。因此，在外力施加于第二构造体的情况下也难以变形。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为上述第一构造体具有多个上述凹部，上述第二构造体能够一并覆盖上述多个凹部。

由此，能够减少第二构造体的数量。因此，能够简化第一构造体和第二构造体的组装作业。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为上述载置部件被螺纹紧固，在上述第二构造体设置有能够供用于上述螺纹紧固的工具插通的工具插通孔。

由此，在利用第二构造体覆盖凹部的状态下，能够使用工具进行载置部件的螺钉连接。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为具有载置上述第一构造体的基材，上述第一构造体具有进行相对于上述基材的定位的定位部。

由此，能够进行第一构造体和基材的定位。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为具有输送上述电子部件的输送部，上述第二构造体具有进行相对于上述输送部的定位的定位部。

由此，能够进行第二构造体和输送部的定位。

在本发明的电子部件输送装置中，优选为上述载置部件在进行上述电子部件的检查的检查区域配置。

由此，能够防止外力施加于检查区域内的载置部件。

本发明的电子部件检查装置的特征在于，具有：

第一构造体，其具有能够收纳载置部件的凹部，该载置部件载置电子部件；

第二构造体，其能够配置于上述第一构造体，并覆盖上述凹部；以及

检查部，其检查上述电子部件，

上述第二构造体在配置于上述第一构造体的情况下，不与上述载置部件抵接。

由此，在外力施加于第二构造体的情况下，能够防止该外力传递至载置部件。因此，能够防止载置部件破损。

附图说明

图1是表示本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的简要俯视图。

图2是表示设置于图1所示的检查部内的载置部件、第一构造体以及第二构造体的剖视图。

图3是表示组装图2所示的载置部件、第一构造体以及第二构造体的工序的剖视图。

图4是表示组装图2所示的载置部件、第一构造体以及第二构造体的工序的剖视图。

图5是表示组装图2所示的载置部件、第一构造体以及第二构造体的工序的剖视图。

图6是表示组装图2所示的载置部件、第一构造体以及第二构造体的工序的剖视图。

图7是本发明的电子部件检查装置的第二实施方式所具备的检查部的剖视图。

具体实施方式

以下根据附图所示的优选实施方式详细说明本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

第一实施方式

图1是表示本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的简要俯视图。图2是表示设置于图1所示的检查部内的载置部件、第一构造体以及第二构造体的剖视图。图3～图6是表示组装图2所示的载置部件、第一构造体以及第二构造体的工序的剖视图。

此外，以下为了便于说明，如图1～图6(图7也同样)所示，将相互正交的3个轴设为x轴、y轴以及z轴。另外，包含x轴和y轴的xy平面为水平，z轴为铅垂。另外，也将平行于x轴的方向称为“x方向”，将平行于y轴的方向称为“y方向”，将平行于z轴的方向称为“z方向”。

另外，也将电子部件的输送方向的上游侧简称为“上游侧”，将下游侧简称为“下游侧”。另外，本申请说明书中提到的“水平”不限定于完全的水平，只要不阻碍电子部件的输送，也包含相对于水平稍微(例如小于5°左右)倾斜的状态。

图1所示的检查装置(电子部件检查装置)1例如是用于检查·试验(以下简称为“检查”)bga(ballgridarray)卷装、lga(landgridarray)卷装等ic器件、lcd(liquidcrystaldisplay)、cis(cmosimagesensor)等电子部件的电特性的装置。此外，以下为了便于说明，以使用ic器件作为进行检查的上述电子部件的情况为代表来说明，将其作为“ic器件90”。

如图1所示，检查装置1分为托盘供给区域a1、器件供给区域(以下简称为“供给区域”)a2、检查区域a3、器件回收区域(以下简称为“回收区域”)a4、托盘除去区域a5。而且，ic器件90从托盘供给区域a1到托盘除去区域a5依次经由上述各区域，在中途的检查区域a3进行检查。这样检查装置1具备在各区域输送ic器件90的电子部件输送装置、在检查区域a3内进行检查的检查部16、控制部80。在检查装置1中，从托盘供给区域a1到托盘除去区域a5中，可以将从输送ic器件90的供给区域a2到回收区域a4称为“输送区域(输送地区)”。

此外，检查装置1将配置有托盘供给区域a1、托盘除去区域a5的一方(图1中的下侧)作为正面侧、将其相反的一侧即配置有检查区域a3的一方(图1中的上侧)作为背面侧使用。

托盘供给区域a1是被供给排列有未检查状态的多个ic器件90的托盘(载置部件)200的供材部。能够在托盘供给区域a1层叠多个托盘200。

供给区域a2是将在来自托盘供给区域a1的托盘200上配置的多个ic器件90分别供给到检查区域a3的区域。此外，以横跨托盘供给区域a1和供给区域a2的方式，设置有一张张地输送托盘200的托盘输送机构11a、11b。

在供给区域a2设置有温度调整部(浸泡板)12、器件输送头13、托盘输送机构(第一输送装置)15。

温度调整部12是载置多个ic器件90的载置部，能够加热或者冷却该多个ic器件90。由此，能够将ic器件90调整为适于检查的温度。在图1所示的结构中，温度调整部12沿y方向配置、固定有2个。而且，由托盘输送机构11a从托盘供给区域a1搬入(输送来)的托盘200上的ic器件90被输送、载置于任一温度调整部12。

器件输送头13被支承为能够在供给区域a2内移动。由此，器件输送头13负责从托盘供给区域a1被搬入的托盘200与温度调整部12之间的ic器件90的输送、和温度调整部12与后述的器件供给部14之间的ic器件90的输送。

托盘输送机构15是使全部的ic器件90被除去的状态的空的托盘200在供给区域a2内沿x方向输送的机构。而且，该输送后，空的托盘200通过托盘输送机构11b从供给区域a2返回托盘供给区域a1。

检查区域a3是检查ic器件90的区域。在该检查区域a3设置有器件供给部(供给梭)14、检查部16、器件输送头17、器件回收部(回收梭)18。

器件供给部14是载置已温度调整后的ic器件90的载置部，能够将该ic器件90输送到检查部16附近。该器件供给部14被支承能够在供给区域a2与检查区域a3之间沿x方向移动。另外，在图1所示的结构中，器件供给部14沿y方向配置有2个，温度调整部12上的ic器件90被输送、载置于任一器件供给部14。

检查部16是检查·试验ic器件90的电特性的单元，具有载置ic器件90的插座(载置部件)4、覆盖插座4的插座引导器5。根据在具备与检查部16连接检测器的检查控制部存储的程序进行ic器件90的检查。此外，在检查部16，与温度调整部12相同，加热或者冷却ic器件90，能够将该ic器件90调整为适于检查的温度。

器件输送头17被支承为能够在检查区域a3内移动。器件输送头17具有头主体171、能够吸引并把持ic器件90的手部172(参照图2)。由此，器件输送头17能够将从供给区域a2搬入的器件供给部14上的ic器件90输送并载置于检查部16上。

器件回收部18是载置结束了利用检查部16的检查后的ic器件90的载置部，能够将该ic器件90输送到回收区域a4。该器件回收部18被支承为能够在检查区域a3与回收区域a4之间沿x方向移动。另外，在图1所示的结构中，器件回收部18与器件供给部14相同，沿y方向配置有2个，检查部16上的ic器件90被输送、载置于任一器件回收部18。该输送由器件输送头17进行。

回收区域a4是回收检查结束的多个ic器件90的区域。在该回收区域a4设置有回收用托盘19、器件输送头20、托盘输送机构(第二输送装置)21a。另外，还在回收区域a4准备空的托盘200。

回收用托盘19是载置ic器件90的载置部，固定于回收区域a4内，在图1所示的结构中，沿x方向配置有3个。另外，空的托盘200也是载置ic器件90的载置部，沿x方向配置有3个。而且，移动到回收区域a4的器件回收部18上的ic器件90被输送、载置于上述回收用托盘19以及空的托盘200中的某一方。由此，按照每种检查结果回收ic器件90并将其分类。

器件输送头20被支承为能够在回收区域a4内移动。由此，器件输送头20能够从器件回收部18向回收用托盘19、空的托盘200输送ic器件90。

托盘输送机构21a是使从托盘除去区域a5被搬入的空的托盘200在回收区域a4内沿x方向输送的机构。而且，该输送后，空的托盘200配置于回收ic器件90的位置，即成为上述3个空的托盘200中的某一个。在这样检查装置1中，在回收区域a4设置托盘输送机构21a，此外，在供给区域a2设置托盘输送机构15。由此，例如与利用一个输送机构进行空的托盘200的x方向的输送相比，能够实现生产率(每单位时间的ic器件90的输送个数)的提高。

此外，托盘输送机构15、21a的结构没有特别限定，例如，可举出具有吸附托盘200的吸附部件、和将该吸附部件支承为能够沿x方向移动的滚珠丝杠等支承机构的结构。

托盘除去区域a5是回收、除去排列有检查完毕状态的多个ic器件90的托盘200的除材部。能够在托盘除去区域a5层叠多个托盘200。

另外，以横跨回收区域a4和托盘除去区域a5的方式，设置有一张张地输送托盘200的托盘输送机构22a、22b。托盘输送机构22a是将载置有检查完毕的ic器件90的托盘200从回收区域a4输送至托盘除去区域a5的机构。托盘输送机构22b是将用于回收ic器件90的空的托盘200从托盘除去区域a5输送至回收区域a4的机构。

控制部80例如具有驱动控制部。驱动控制部例如控制托盘输送机构11a、11b、温度调整部12、器件输送头13、器件供给部14、托盘输送机构15、检查部16、器件输送头17、器件回收部18、器件输送头20、托盘输送机构21a、托盘输送机构22a、22b的各部分的驱动。

此外，上述检测器的检查控制部例如根据存储于未图示的存储器内的程序，进行配置于检查部16的ic器件90的电特性的检查等。

在以上那样的检查装置1中，除了温度调整部12、检查部16以外，器件输送头13、器件供给部14、器件输送头17也能够加热或者冷却ic器件90而构成。由此，ic器件90在被输送期间温度维持恒定。

如图1所示，检查装置1中，托盘供给区域a1与供给区域a2之间被第一隔壁61划分(分隔)，供给区域a2与检查区域a3之间被第二隔壁62划分，检查区域a3与回收区域a4之间被第三隔壁63划分，回收区域a4与托盘除去区域a5之间被第四隔壁64划分。另外，供给区域a2与回收区域a4之间也被第五隔壁65划分。上述隔壁具有保持各区域的气密性的功能。并且，检查装置1最外表被罩覆盖，该罩例如有前盖70、侧罩71以及72、后罩73。

而且，供给区域a2成为由第一隔壁61、第二隔壁62、第五隔壁65、侧罩71、后罩73划分而成的第一室r1。在第一室r1，未检查状态的多个ic器件90被搬入每个托盘200。

检查区域a3成为由第二隔壁62、第三隔壁63、后罩73划分而成的第二室r2。另外，在第二室r2比后罩73更靠内侧配置有内侧隔壁66。

回收区域a4成为由第三隔壁63、第四隔壁64、第五隔壁65、侧罩72、后罩73划分而成的第三室r3。检查结束的多个ic器件90从第二室r2被搬入至第三室r3。

如图1所示，在侧罩71设置有第一门(左侧第一门)711和第二门(左侧第二门)712。打开第一门711、第二门712，由此例如能够进行第一室r1内的维护、ic器件90的卡塞的解除等(以下将它们总称为“作业”)。此外，第一门711与第二门712是朝相互相反方向开闭的所谓的“对开”。另外，在第一室r1内作业时该第一室r1内的器件输送头13等的可动部停止。

同样，在侧罩72设置有第一门(右侧第一门)721和第二门(右侧第二门)722。打开第一门721、第二门722，由此例如能够进行第三室r3内的作业。此外，第一门721与第二门722也是朝相互相反方向开闭的所谓的“对开”。另外，在第三室r3内的作业时该第三室r3内的器件输送头20等的可动部停止。

另外，在后罩73也设置有第一门(背面侧第一门)731、第二门(背面侧第二门)732、第三门(背面侧第三门)733。打开第一门731，由此例如能够进行第一室r1内的作业。打开第三门733，由此例如能够进行第三室r3内的作业。并且，在内侧隔壁66设置有第四门75。而且，打开第二门732以及第四门75，由此例如能够进行第二室r2内的作业。此外，第一门731、第二门732、第四门75朝相同的方向开闭，第三门733朝与上述门相反的方向开闭。另外，在第二室r2内的作业时该第二室r2内的器件输送头17等的可动部停止。

接下来，详细说明检查部16的结构。如图2所示，检查部16具有测试板(基材)2、加强件3、插座(载置部件)4、插座引导器5。

测试板2由布线基板构成，与控制部80电连接。测试板2支承插座4以及插座引导器5。另外，测试板2具有沿厚度方向贯通的多个螺孔21以及螺孔22。

加强件3用于提高测试板2的强度，例如由金属材料等高刚性的材料构成。另外，在加强件3设置有多个螺孔31以及螺孔32。

插座4是呈板状并配置于测试板2的上表面的部件，具有收纳ic器件90的凹部41。另外，在插座4设置有与凹部41内的ic器件90的端子电连接的探针(未图示)，ic器件90经由探针与测试板2电连接。由此，能够经由探针进行ic器件90的检查。

另外，插座4具有供螺钉6插通的多个螺孔42、和供导销(载置部件定位部)9插入的多个引导孔43。这样的插座4通过螺钉6插入螺孔42、螺孔21以及螺孔31而被螺纹紧固。由此，能够将插座4相对于测试板2固定。

图2所示的插座引导器5是相对于插座4对器件输送头17进行定位的部件。插座引导器5具有以包围插座4的周围的方式配置的第一构造体51和第二构造体52。

第一构造体51是经由绝缘隔离物50配置于测试板2的上表面的框部件。因此，能够防止测试板2与第一构造体51成为通电状态。第一构造体51具有沿其厚度方向贯通的凹部511。凹部511能够收纳插座4。因此，在凹部511收纳有插座4的收纳状态下，第一构造体51包围插座4而配置。此外，在检查装置1中，也可以是省略绝缘隔离物50，而在第一构造体51的下表面设置绝缘层的结构。

另外，第一构造体51的边缘部成为朝图2中的上侧突出的突出部512。在该突出部512设置有多个导销(输送头定位部)40。导销40被插入到在器件输送头17的头主体171设置的引导孔173。由此，能够进行插座引导器5相对于器件输送头17的定位。

另外，在第一构造体51中，在突出部512的内侧且在凹部511的外侧设置有多个螺孔513。螺孔513沿第一构造体51的厚度方向贯通形成。由此，能够与测试板2的螺孔22、加强件3的螺孔32连通。由此，将螺钉7插入螺孔513、螺孔22以及螺孔32，能够将第一构造体51相对于测试板2螺纹紧固。

另外，在第一构造体51设置有多个分别设置于凹部511与螺孔513之间的设置孔514。在该设置孔514设置导销(插座引导器定位部)10。

另外，在第一构造体51中，在凹部511与设置孔514之间设置有多个螺孔515。向该螺孔515插入螺钉8，能够固定第一构造体51和第二构造体52。

第二构造体52是以覆盖凹部511的方式配置于第一构造体51上的板状的盖部件。第二构造体52具有向上方突出的导销(手定位部)30。在检查ic器件90时，向器件输送头17的引导孔174插入导销30，由此能够将器件输送头17相对于第二构造体52定位。

另外，在第二构造体52形成有朝上方开放的贯通孔521、在贯通孔521的外侧设置有多个的工具插通孔522、在工具插通孔522的外侧分别设置的多个螺孔523。

贯通孔521设置于第二构造体52的中央部。另外，贯通孔521具有能够供ic器件90以及器件输送头17的手部172的前端部插通的大小。

如图2所示，工具插通孔522设置于处于将第一构造体51和第二构造体52组装的组装状态下分别与插座4的螺孔42对应的位置。即，工具插通孔522在组装状态下位于螺孔42的上方。另外，工具插通孔522具有能够插通使螺钉6旋转并进行螺纹紧固的螺丝刀等工具300的大小(参照图6)。

另外，在第二构造体52设置有向下侧开放的定位孔524、525。定位孔524、525分别设置有多个。

定位孔524设置在工具插通孔522与螺孔523之间。向定位孔524插入导销9，由此能够进行第二构造体52与插座4的定位。

定位孔525设置于螺孔523的外侧。通过向定位孔525插入导销10，能够进行第一构造体51与第二构造体52的定位。

这里，如图2所示，凹部511的深度(最小深度)d大于ic器件90的厚度(最大厚度)t。因此，在组装状态下，能够防止插座4与第二构造体52接触。

在进行ic器件90的检查时，图2中双点划线所表示的器件输送头17的手部172将ic器件90向下侧按压，并且器件输送头17将第二构造体52向下侧按压。在检查装置1中，如上所述，插座4与第二构造体52非接触。即在插座4与第二构造体52之间形成有间隙s。由此，能够防止器件输送头17的手部172按压第二构造体52的按压力施加于插座4。因此，能够防止因外力过度施加于插座4引起的插座4的变形等。

另外，在检查装置1中，是在凹部511内配置一个ic器件90的结构，所以能够尽量减小从凹部511的z轴方向观察时的大小。由此，能够减小第二构造体52的大小。因此，虽然也会受到第二构造体52的结构材料的影响，但即使对第二构造体52施加外力也难以变形。其结果是，能够更有效地防止第二构造体52与插座4接触。

接下来，说明将插座4以及插座引导器5安装于测试板2的顺序。

首先，如图3所示，在测试板2的上表面配置插座4，使用螺钉6进行暂时螺纹紧固。此时，螺钉6的前端与螺孔31的底部成为分离的状态(以下将该状态称为“暂时螺纹紧固状态”)。即，旋入螺钉6直到螺纹紧固结束之前。通过形成暂时螺纹紧固状态，由此插座4能够在xy平面稍微移动。即，在插座4形成游隙。

接下来，如图4所示，以在凹部511内插收纳座4的方式将第一构造体51设置于测试板2的上表面。然后，将螺钉7旋入第一构造体51的螺孔513、测试板2的螺孔22、加强件3的螺孔32，将第一构造体51相对于测试板2螺纹紧固而固定。此时，螺钉7作为定位部(基材定位部)发挥功能，能够将第一构造体51固定于测试板2并且进行定位。

接下来，如图5所示，在第一构造体51固定第二构造体52。此时，优选预先向第一构造体51的设置孔514插入导销10，向插座4的引导孔43插入导销9。而且，以使导销9被插入定位孔524并且导销10被插入定位孔525的方式，使第二构造体52接近第一构造体51。由此，能够将第二构造体52相对于第一构造体51定位，并且能够将第二构造体52相对于插座4定位。

特别是在该定位时，如上所述，插座4成为暂时螺纹紧固状态，能够在xy平面稍微移动。由此，能够进行插座4的位置的微调，能够将导销9插入第二构造体52的定位孔524。

而且，在该定位状态下，将螺钉8插入并旋入第二构造体52的螺孔523和第一构造体51的螺孔515。由此，能够保持定位状态不变地将第二构造体52相对于第一构造体51固定。

另外，在检查装置1中，在器件输送头17将ic器件90载置于插座4时，首先导销40被插入引导孔173，由此进行一次定位。接着，导销30被插入引导孔174，由此被插入手部172的引导孔174而进行二次定位。在该二次定位时，手部172成为浮空状态，所以能够容易将导销30插入引导孔174。

接下来，如图6所示，使用工具300将暂时螺纹紧固状态的螺钉6旋入。由此，能够将插座4相对于测试板2固定(正式固定)。此外，在第二构造体52设置有能够供工具300插通的工具插通孔522，所以能够在将第二构造体52固定于第一构造体51的状态下旋入螺钉6。

第二实施方式

图7是本发明的电子部件检查装置的第二实施方式具备的检查部的剖视图。

以下参照该图说明本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第三实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心来说明，省略相同事项的说明。

本实施方式除了第一构造体的结构不同以外，其它结构与上述第一实施方式相同。

如图7所示，检查装置1a的检查部16具有第一构造体51a和第二构造体52a。

第一构造体51a具有多个凹部511。在各凹部511分别各收纳有一个插座4。另外，第一构造体51a中，各凹部511之间的部分516作为与第二构造体52抵接进行支承的支承部发挥功能。

在第二构造体52a中，贯通孔521以与各凹部511对应的方式设置有2个。另外，工具插通孔522以与各凹部511对应的方式分别各设置有2个，合计设置有4个。另外，定位孔524以与各凹部511对应的方式分别各设置有2个，合计设置有4个。另外，导销30以与各凹部511对应的方式分别各设置有2个，合计设置有4个。

这样，在检查装置1a中，是利用一个第二构造体52a一并覆盖两个凹部511的结构。由此，例如与利用两个第二构造体52a分别覆盖各凹部511的结构比，能够减少第二构造体52a的数量。因此，能够简化第一构造体51a和第二构造体52a的组装作业。

特别地，各凹部511之间的部分516作为支承第二构造体52a的支承部发挥功能。由此，即使检查时第二构造体52a被器件输送头17按压也能够防止变形。因此，能够更有效地防止第二构造体52a与插座4接触。

以上针对图示的实施方式说明了本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置，但本发明不限定于此，构成电子部件输送装置以及电子部件检查装置的各部分可以置换为能够发挥相同功能的任意结构。另外，也可以附加任意结构物。

另外，本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置也可以组合上述各实施方式中的任意2种以上的结构(特征)。

附图标记的说明

1…检查装置，1a…检查装置，2…测试板，3…加强件，31…螺孔，32…螺孔，4…插座，41…凹部，42…螺孔，43…引导孔，5…插座引导器，5a…插座引导器，50…绝缘隔离物，51…第一构造体，51a…第一构造体，511…凹部，512…突出部，513…螺孔，514…设置孔，515…螺孔，516…部分，52…第二构造体，52a…第二构造体，521…贯通孔，522…工具插通孔，523…螺孔，524…定位孔，525…定位孔，6…螺钉，7…螺钉，8…螺钉，9…导销，10…导销，11a…托盘输送机构，11b…托盘输送机构，12…温度调整部，13…器件输送头，14…器件供给部，15…托盘输送机构，16…检查部，17…器件输送头，171…头主体，172…手部，173…引导孔，174…引导孔，18…器件回收部，19…回收用托盘，20…器件输送头，21…螺孔，21a…托盘输送机构，22…螺孔，22a…托盘输送机构，22b…托盘输送机构，30…导销，40…导销，61…第一隔壁，62…第二隔壁，63…第三隔壁，64…第四隔壁，65…第五隔壁，66…内侧隔壁，70…前盖，71…侧罩，711…第一门，712…第二门，72…侧罩，721…第一门，722…第二门，73…后罩，731…第一门，732…第二门，733…第三门，75…第四门，80…控制部，90…ic器件，200…托盘，300…工具，a1…托盘供给区域，a2…供给区域，a3…检查区域，a4…回收区域，a5…托盘除去区域，d…深度，t…厚度，r1…第一室，r2…第二室，r3…第三室，s…间隙。