SRAM存储单元、形成存储单元的电路及形成方法与流程

文档序号:12005396阅读:来源:国知局
技术总结
一种SRAM存储单元、形成SRAM存储单元的电路及形成方法,SRAM存储单元包括:第一PMOS晶体管、第二PMOS晶体管、第一NMOS晶体管、第二NMOS晶体管、第一传输晶体管以及第二传输晶体管;第一PMOS晶体管、第二PMOS晶体管、第一NMOS晶体管和第二NMOS晶体管形成双稳态电路;其中,第一传输晶体管、第二传输晶体管靠近源极的栅介质层具有缺陷,所述缺陷通过热载流子注入形成。在读操作时,第一传输晶体管和第二传输晶体管的饱和源漏电流值变小,提高了SRAM存储单元的读取裕度,且不会影响SRAM存储单元的写入裕度。

技术研发人员:甘正浩;冯军宏
受保护的技术使用者:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
文档号码:201210214726
技术研发日:2012.06.26
技术公布日:2017.02.22

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