专利名称：有机电致发光装置的制造方法和有机电致发光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及有机EL装置的制造方法和有机EL装置，更详细地说，涉及利用毛细管现象形成有机EL元件的有机EL装置的制造方法和有机EL装置。
背景技术：
对于有机EL(电致发光)显示装置来说，其薄型化容易，响应速度快，由于不需要背照光源而具有功耗少的优点，预计可作为代替液晶显示装置或CRT(阴极射线管)的显示装置。
在单色的有机EL显示装置中，可用1片膜来构成有机EL层(发光层)，但在全彩色的有机EL显示装置的情况下，必须在各像素内形成与红(R)、绿(G)和蓝(B)这三原色对应的有机EL层。例如，在170pii(每英寸的像素)的有机EL显示装置中，1个像素的尺寸为150μm×150μm，构成1个像素的3个子像素、即红色子像素、绿色子像素和蓝色子像素的尺寸分别为50μm×150μm。因而，必须分别以50μm的宽度形成红色发光的有机EL层、绿色发光的有机EL层和蓝色发光的有机EL层。
近年来，越来越要求200ppi(像素尺寸为127μm，子像素的宽度为42.3μm)至500pii(像素尺寸为50.8μm，子像素的宽度为17μm)的高解像度的显示装置。此外，对于画面尺寸来说，也要求从约2英寸的小型尺寸至约30英寸的大型尺寸的各种尺寸。
通过在被称为母板的基板上形成TFT(薄膜晶体管)、绝缘膜、电极和有机EL层来制造有机EL显示装置。即使在画面尺寸小的有机EL显示装置的情况下，为了降低制造成本，也使用尺寸约为400mm×500mm至730mm×920mm的大型基板，在1片基板上同时制造多个有机EL显示装置。今后，根据进一步削减制造成本和画面尺寸的大型化的要求，预计会使用比迄今为止使用的基板更大型的基板。
在低分子类的有机EL材料的情况下，通过使用遮蔽板分别在基板上蒸镀红色发光、绿色发光和蓝色发光的有机EL材料在各像素区域内形成3色的有机EL层。但是，对于高分子类的有机EL材料来说，由于高分子因热的缘故而分解，故不能用蒸镀法形成有机EL膜。因此，一般来说，使用喷墨方式的涂敷装置，通过在基板上以点状在每个子像素上喷吹由有机EL材料构成的墨来形成有机EL层。
在喷墨方式的涂敷装置中，必须在1个子像素区域内喷吹多个墨点。此时，点或是重叠，或是在点与点之间发生间隙，难以在整个子像素区域中均匀地形成有机EL层。因此，虽然喷墨方式的涂敷装置可适用于子像素尺寸约为50μm×150μm的显示装置，但不能适用于解像度更高的显示装置的制造。
此外，如果基板的尺寸变大，则由于基板的热膨胀影响的缘故，可认为点的位置偏离规定的位置。
再者，在喷墨方式的涂敷装置中，由于在全部子像素的每个子像素上喷吹了有机EL材料，故与子像素的数目成比例地耗费时间，也存在制造成本提高的缺点。
发明内容
本发明的目的在于提供与现有的方法相比容易制造、可降低制造成本、也能适用于高解像度的显示装置的有机EL装置的制造方法和有机EL装置。
在本发明中，在基板上的绝缘膜上形成槽，利用毛细管现象在槽中充填溶解了有机EL元件材料的溶液。
例如，在形成有机EL层时，准备溶解了有机EL材料的溶液。然后，在利用毛细管现象在槽内充填了溶液后，使溶液干燥，在槽内形成有机EL层。这样，可容易地形成均匀的厚度的有机EL层。
为了提高有机EL元件的发光效率，有时在电极与有机EL层之间形成缓冲层(空穴输送层和电子输送层等)。通过选择溶解了这些缓冲层的材料的溶液，也可与有机EL层同样地利用毛细管现象形成缓冲层。
此外，在使用有机的电极的情况下，通过选择溶解了电极材料的溶液，也可与有机EL层同样地利用毛细管现象形成电极层。
在形成全彩色的有机EL显示装置的情况下，必须个别地形成红色发光的有机EL层、绿色发光的有机EL层和蓝色发光的有机EL层。在表面中，在形成全彩色的有机EL显示装置的情况下，在每1个像素中形成3组槽，利用毛细管现象在各组的槽中形成红色发光的有机EL层、绿色发光的有机EL层和蓝色发光的有机EL层的某一个。由此，能容易地且以均匀的厚度形成各发光色的有机EL层，能以低成本制造显示品质良好的全彩色的有机EL显示装置。
在红色发光的有机EL层、绿色发光的有机EL层和蓝色发光的有机EL层的发光效率不同的情况下，通过调整各组的槽的条数或宽度，可使外观上的发光强度相同。
此外，如果能个别地控制1个像素内的同一组(同一发光色)的有机EL层的发光，则灰度显示(中间灰度显示)变得容易。
图1是示出本发明的有机EL装置的一例的电路图。
图2是示出本发明的有机EL装置的结构的一例的示意剖面图。
图3是示出本发明的原理的示意图。
图4是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其1)。
图5是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其2)。
图6是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其3)。
图7是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其4)。
图8是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其5)。
图9是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其6)。
图10是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其7)。
图11是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其8)。
图12是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其9)。
图13是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其10)。
图14是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其11)。
图15是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其12)。
图16是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其13)。
图17是示出本发明的第1实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其14)。
图18是示出对于每种发光色形成了多个槽的基板的示意图。
图19是示出垂直地将基板浸到溶液中的状态的示意图。
图20是示出倾斜地将基板浸到溶液中的状态的示意图。
图21是示出在电极与有机EL层之间设置了缓冲层的有机EL装置的结构的一例的示意剖面图。
图22是示出本发明的第2实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图。
图23是示出比红色和绿色的子像素用槽的条数增加了蓝色子像素用槽的条数的有机EL显示装置的例子的示意图。
图24是示出比红色和绿色的子像素用槽的宽度加宽了蓝色子像素用槽的宽度的有机EL显示装置的例子的示意图。
图25是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其1)。
图26是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其2)。
图27是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其3)。
图28是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其4)。
图29是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其5)。
图30是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其6)。
图31是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其7)。
图32是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其8)。
图33是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其9)。
图34是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其10)。
图35是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其11)。
图36是示出本发明的第3实施形态的有机EL装置的制造方法的示意图(其12)。
具体实施例方式
以下，根据
本发明的实施形态。
图1是示出有源矩阵型有机EL显示装置的一例的电路图。
在玻璃基板40上形成了在垂直方向上延伸的多条数据线41和电源供给线42以及在水平方向上延伸的多条扫描线43。被数据线41、电源供给线42和扫描线43包围的区域分别成为子像素区域。在本实施形态中，在水平方向上交替地排列了红色发光、绿色发光和蓝色发光的子像素，在垂直方向上排列了相同的颜色的子像素。
在各子像素区域中分别设置了开关用TFT44、驱动用TFT45、电容器46和有机EL元件(发光元件)47。
将开关用TFT44的栅连接到扫描线43上，其源连接到驱动用TFT45的栅上，其漏连接到数据线41上。此外，驱动用TFT45连接在电源供给线42与有机EL元件47的阳极之间。再者，电容器46连接在驱动用TFT45的栅与电源供给线42之间。
在以这种方式构成的有机EL显示装置中，对各数据线41供给规定的电压，如果只对第1行的扫描线43供给扫描信号，则连接到第1行的扫描线43上的开关用TFT44导通，在电容器46中蓄积数据线41的电压。
与该电压对应的电流从电源供给线42通过驱动用TFT45供给有机EL元件47，第1行的各有机EL元件47发光。其后，对各数据线41供给规定的电压，如果只对第2行的扫描线43供给扫描信号，则第2行的各有机EL元件47发光。
这样，通过依次驱动各行的有机EL元件47，可显示所希望的文字或图像。
图2是示出上述的有源矩阵型有机EL显示装置的结构的一例的示意剖面图。再有，在图2中，省略了图1中示出的开关用TFT的图示。
在玻璃基板40上形成了由SiO2或其它的绝缘物构成的基底绝缘膜51，在该基底绝缘膜51上有选择地形成了作为TFT的工作层的多晶硅膜52。在多晶硅膜52中夹住沟道区形成了作为TFT的源/漏的一对高浓度杂质区52a。
在多晶硅膜52和基底绝缘膜51上形成了由SiO2或其它的绝缘膜构成的栅绝缘膜53。此外，在多晶硅膜52的沟道区的上方的部分的栅绝缘膜53上形成了TFT的栅电极54。而且，在栅电极54和栅绝缘膜53上形成了由SiO2或其它的绝缘材料构成的层间绝缘膜55。
在层间绝缘膜55上以规定的图形形成了布线56。这些布线56中的规定的布线经接触孔电连接到驱动用TFT的高浓度杂质区52a上。
布线56被由SiO2或其它的绝缘材料构成的层间绝缘膜57所覆盖。在该层间绝缘膜57上以规定的图形形成了由ITO(铟锡氧化物)构成的阳极58。该阳极58经接触孔和布线56电连接到驱动用TFT的一方的高浓度杂质区52a(源)上。
在阳极58和层间绝缘膜57上层叠了由由SiO2或其它的绝缘材料构成的绝缘膜60和由聚酰亚胺构成的绝缘膜61。在这些绝缘膜60、61中形成了在图2的纸面垂直方向上延伸的槽62。
在槽62的底部的阳极58上形成了有机EL层(发光层)59。在每个子像素区域中个别地形成了阳极58，但在槽62的长度方向上并排的多个子像素区域中形成了有机EL层59。
在绝缘膜61上和槽62内的有机EL层59上形成了例如由Al(铝)/Li(锂)合金构成的阴极63。由阳极58、有机EL层59和阴极63构成了图1中示出的有机EL元件47。
再有，为了提高有机EL层59的发光效率，有时也在阳极58与阴极63之间配置电子输送层、空穴输送层和接触层(用来改善接触性的层)的某1个或2个以上的层。以下，将这些电子输送层、空穴输送层和接触层都称为缓冲层。
在以这种方式构成的有机EL显示装置中，如果在阳极58与阴极63之间施加电压，则有机EL层59以与其材料对应的颜色(红色、绿色或蓝色)发光，使光射出到基板40一侧。
以下，说明本发明的有机EL装置的制造方法的原理。在本发明中，将在基板上形成的槽的前端浸到溶解了有机EL材料的溶液中，利用毛细管现象在槽内充填溶液，以形成有机EL层。
如果将形成了槽的基板的端部浸到对于基板材料具有润湿特性的液体中，则由于毛细管现象的缘故，液体在槽中上升。本申请的发明者们曾经进行了使用形成了槽的SiO2基板和Ziegler-Natta催化剂来制造聚乙炔细线的研究。此时，本申请的发明者在实验上确认了甲苯溶液因毛细管现象而在槽中上升的情况，在以下的论文中示出了该结果。
Nobuo Sasaki，Yoshihiro，and Nagisa Ohsako，Selective Growthof Polyacetylene Narrow Wires Utilizing Capillary Action of CatalystSolusion in Grooves，(利用了槽中的催化剂溶液的毛细管现象的聚乙炔的有选择的生长)，”Japanese Journal of AppliedPhysics，Vol.31，pp.L741-L743(1992).
如图3中所示，在基板11中形成槽12，如果将槽12的前端浸到对于基板11具有润湿特性的液体13中，则由于毛细管现象的缘故，液体13在槽12中上升。
在图3中，在基板11相对于液面为垂直地立起的情况下，如果将液体13在槽12中的进入距离(上升的高度)定为h，将液体13的密度定为ρ，将液体13的表面张力定为γ，将重力加速度定为g，将槽12的宽度定为w，将槽12的深度定为d，将液体13的对于基板11的润湿角定为θ，则在这些参数间存在用下述的(1)式示出的关系。
hρgw＝γ(2d+w)cosθ…(1)例如，在槽12的宽度w为0.5μm、深度d为0.5μm时，液体13的进入距离(高度)h为17m。此外，在槽12的宽度w为3μm、深度d为1μm时，液体13的进入距离(高度)h为4.8m。
但是，这些值是基板11为SiO2、液体13为甲苯、液体13的密度ρ为0.8669g/cm3、液体13的表面张力γ为28.52dyn/cm、液体13的对于基板11的润湿角θ为30度时的计算值。
再有，在将基板11以相对于垂直的状态倾斜了角α浸在液体13中的情况下，用下述的(2)式示出的关系成立。
hρgwcosα＝γ(2d+w)cosθ…(2)从(2)式可明白，通过使基板11倾斜，可增大液体13的进入距离h。
其次，参照
本发明的有机EL装置的制造方法和有机EL装置的具体的实施形态。
(第1实施形态)在全彩色的有机EL显示装置中，使用红色发光有机EL材料、绿色发光有机EL材料和蓝色发光有机EL材料。例如，在红色发光有机EL材料中有共聚(2，5-二-十二烷氧基-1，4-亚苯基亚丁二炔基)(3-十二烷氧基羰基亚噻吩基亚丁二炔基)。此外，在绿色发光有机EL材料中有共聚(2，5-二烷氧基-p-亚苯基亚丁二炔基)(2-烷氧基-间亚苯基亚丁二炔基)。在蓝色发光有机EL材料中有共聚(4，4’-亚联苯基亚丁二炔基)(4-十二烷氧基-间亚苯基亚丁二炔基)。
在本发明的实施形态中，使用将这些有机EL材料溶解在甲苯中的溶液，利用毛细管现象形成带状的有机EL层。溶液中的有机EL材料的浓度例如为2重量％。
以下，参照图2中示出的剖面图和在图4～图17中示出的示意图说明第1实施形态的有机EL装置(显示装置)的制造方法。再有，在以下的说明中，假定在基板40上形成了TFT、布线56、层间绝缘膜55、57和阳极58等(参照图2)。
在层间绝缘膜57上利用ITO形成了阳极58后，在基板40的上侧的整个面上淀积SiO2以形成绝缘膜60，利用该绝缘膜60覆盖阳极58。其后，如图4中所示，在该绝缘膜60中形成红色子像素用槽3R、绿色子像素用槽3G和蓝色子像素用槽3B。
该3条槽3R、3G、3B是这样形成的蓝色子像素用槽3B的前端离基板40的一个边(在图4中，是下侧的边)的距离为最远，按绿色子像素用槽3G的前端、红色子像素用槽3R的前端的顺序接近于基板40的上述一个边。再有，在图4中为了简单起见，分别只示出了1条槽3R、3G、3B，但实际上如图18中所示，在基板40上形成了多条槽3R、3G、3B。
其后，如图5中所示，在红色子像素用槽3R和绿色子像素用槽3G的中途形成阻止有机EL溶液有机EL材料进入到槽3R、3G中用的档块5a、5b。在比档块5b离基板40的一个边远的位置上配置档块5a。使用光致抗蚀剂并经过选择曝光和显影工序来形成这些档块5a、5b。再有，档块5a、5b都在显示区域(被配置子像素的区域)的外侧的基板40上形成。
其次，如图6中所示，准备放入了成为蓝色发光层的高分子类的有机EL溶液(以下称为蓝色溶液)8B的容器。然后，使基板40垂直地将槽3B的前端进入到蓝色溶液8B中。如果这样做，则由于毛细管现象的缘故，蓝色溶液8B进入到液面以上的部分的槽3B内，用蓝色溶液8B充满槽3B的整体。
此时，蓝色溶液8B进入到槽3R、3B中，但由于档块5a、5b的缘故，阻止蓝色溶液8B进入到档块5a、5b之上。
其次，将基板40从蓝色溶液8B中提起，使其干燥，使甲苯从槽中的蓝色溶液8B蒸发。由此，如图7中所示，在槽3B内形成蓝色发光的有机EL层6B。
其次，如图8中所示，准备放入了抗蚀剂剥离液4的容器，将基板40放入抗蚀剂剥离液4中直到绿色子像素用槽3G的档块5b浸入的位置。然后，在剥离了档块5b后提起基板40。由此，如图9中所示，除去剥离液4的液面之下的部分的有机EL层6B。
其次，如图10中所示，准备放入了成为绿色发光层的高分子类的有机EL溶液(以下称为绿色溶液)8G的容器。然后，使基板40垂直地将槽3G的前端进入到绿色溶液8G中。如果这样做，则由于毛细管现象的缘故，绿色溶液8G进入到液面以上的部分的槽3G内，用绿色溶液8G充满槽3G的整体。
此时，由于蓝色子像素用槽3B的前端离开绿色溶液8G的液面，故绿色溶液8G不进入槽3B中。
其次，将基板40从绿色溶液8G中提起，使其干燥，使甲苯从槽中的绿色溶液8G蒸发。由此，如图11中所示，在槽3G内形成绿色发光的有机EL层6G。
其次，如图12中所示，将基板40垂直地浸到抗蚀剂剥离液4中直到红色子像素用槽3R的档块5a浸入的位置，除去档块5a。由此，如图13中所示，除去液面之下的部分的绿色发光层6G。
其次，如图14中所示，准备放入了成为红色发光层的高分子类的有机EL溶液(以下称为红色溶液)8R的容器。然后，使基板40垂直地将槽3R的前端进入到红色溶液8R中。如果这样做，则由于毛细管现象的缘故，红色溶液8R进入到液面以上的部分的槽3R内，用红色溶液8R充满槽3R的整体。
此时，由于蓝色子像素用槽3B和绿色子像素用槽3G的前端离开红色溶液8R的液面，故红色溶液8R不进入槽3B、3G中。
其次，将基板40从容器内的红色溶液8R中提起，使其干燥，使甲苯从槽中的红色溶液8R蒸发。由此，如图15中所示，在槽3R内形成红色发光层6R。
然后，如图16中所示，将槽3R的前端浸到抗蚀剂剥离液4中，除去前端部分的红色发光层6R。
这样，如图17中所示，在槽3R、3G、3B中分别形成红色发光层6R、绿色发光层6G和蓝色发光层6B。
其后，在整个面上涂敷聚酰亚胺，形成绝缘膜62，在该绝缘膜62中形成有机EL层59(6R、6G、6B)露出的槽(参照图2)。然后，在整个面上例如利用溅射法淀积Al/Li合金，形成阴极63。这样，可制造有机EL显示装置。
按照本实施形态，由于利用毛细管现象使溶解了有机EL材料的溶液进入槽内以形成有机EL层，故有机EL层的形成是极为容易的，可削减制造成本，同时可形成厚度均匀的有机EL层。此外，通过调整槽3R、3G、3B的宽度，也可适用于高解像度的有机EL显示装置。
再有，在上述的实施形态中，说明了使用高分子类有机EL材料作为有机EL层的材料的例子，但本发明不限于高分子类有机EL材料，如果在溶剂中是可溶的，则也可使用低分子类有机EL材料。
此外，在上述的实施形态中，如图19中所示，使基板40相对于有机EL溶液8(8R、8G、8B)的液面垂直地将槽3R、3G、3B的前端浸到溶液8中，但也可如图20中所示使基板40倾斜地浸到浸到溶液8中。此时，与将基板40垂直地插入到溶液8中的情况相比，可增加溶液8因毛细管现象而在槽中上升的距离。
再者，如上述那样，有时在阳极58与阴极63之间配置电子输送层、空穴输送层和接触层等的缓冲层。
图21是示出在阳极58与有机EL层59之间设置了由PEDT/PSS构成的缓冲层(空穴输送层)64的有机EL显示装置的图。与上述的有机EL层的形成方法同样，将PEDT/PSS溶解在异丙醇中，通过利用毛细管现象充填在槽内，可形成该层。
此外，在缓冲层的电阻高的情况下，由于可忽略有机EL元件间的电流的流动，故也可不在每个有机EL元件中形成缓冲层，而是在各有机EL元件中共同地形成缓冲层。此时，在层间绝缘膜57上形成阳极58、再在基板40的上侧整个面上形成了缓冲层64和绝缘膜60后，如上所述那样在绝缘膜60中形成槽，利用毛细管现象在槽内形成有机EL层。
在图21中示出的例子中，利用ITO形成了阳极58，但也可用导电性高分子材料代替ITO来形成阳极58。此时，与上述的有机EL层的形成方法同样，也可通过利用毛细管现象在槽内充填导电性高分子材料溶液来形成。作为电极材料，必须是导电性高的材料，例如，如果使用聚苯胺，则可容易地得到30～200S/cm的电导率。为了进行由聚苯胺的毛细管现象导致的槽内充填，可使用0.5重量％的N-甲基1-2吡咯烷酮溶液。
再者，在上述第1实施形态中，以直线状形成了槽62，但也可以曲折或弯曲的形状来形成槽62。
(第2实施形态)图22是示出本发明的第2实施形态的有机EL显示装置的制造方法的示意图。在本实施形态中，也参照图2的剖面图来说明。
在本实施形态中，与第1实施形态同样，在形成了阳极58和层间绝缘膜60后，对于1个阳极58分别形成多个(在图22中是各4条)槽。但是，这样来形成各槽3R、3G、3B使红色子像素用槽3R的前端离基板40的一个边(在图22中，是下侧的边)最近，按绿色子像素用槽3G、蓝色子像素用槽3B的顺序离基板40的一个边越来越远。
而且，与第1实施形态同样，利用毛细管现象，在红色子像素用槽3R中充填红色溶液，在绿色子像素用槽3G中充填绿色溶液，在蓝色子像素用槽3B中充填蓝色溶液，形成红色发光的有机EL层6R、绿色发光的有机EL层6G、蓝色发光的有机EL层6B。
其后，与第1实施形态同样，形成绝缘膜61，在该绝缘膜61中形成槽以使有机EL层6R、6G、6B露出后，利用Al/Li合金形成阴极63。
在本实施形态中，除了可得到与第1实施形态同样的效果外，还可得到以下示出的效果。
在有机EL层的发光效率因发光色而不同的情况下，通过调整各色的槽的条数，可使红色子像素、绿色子像素和蓝色子像素的发光强度变得均匀。一般来说，由于蓝色有机EL层的发光效率比红色有机EL层和绿色有机EL层的发光效率低，故例如如图23中所示，在每个子像素中使红色子像素用槽3R和绿色子像素用槽3G的条数为3条，在每个子像素中使蓝色子像素用槽3B的条数为5条，可使各子像素的发光强度变得均匀。
再有，如图24中所示，也可使蓝色子像素用槽3B的宽度比红色子像素用槽3R和绿色子像素用槽3G的宽度宽。这样，也可使各色的子像素的发光强度变得均匀。
(变形例)如图22中所示，在1个子像素区域内形成多个有机EL层的情况下，也可在每一个子像素中形成多个驱动用TFT，以使各有机EL层个别地发光。这样，通过使1个子像素内的多个有机EL层个别地发光，中间灰度的显示变得容易。
即，在有源矩阵型有机EL显示装置中，通常通过控制流过驱动用TFT的电流来显示中间灰度。但是，在控制流过驱动用TFT的电流来显示中间灰度的情况下，由于TFT的特性的离散性的缘故，有时发生显示不匀。如上所述，在通过在每一个子像素中形成多个驱动用TFT并个别地控制各有机EL层的发光进行灰度显示的情况下，可防止起因于TFT的特性的离散性的显示不匀的发生。再有，也可用互不相同的宽度来形成1个子像素内的多个槽。
此外，如上所述，通过在每一个子像素中形成多个驱动用TFT并个别地控制各有机EL层的发光，可赋予冗余性，可避免因断线等引起的制造成品率的下降。
(第3实施形态)图25～图36是示出本发明的第3实施形态的有机EL显示装置的制造方法的示意图。在本实施形态中，也参照图2的剖面图来说明。
在本实施形态中，与第1实施形态同样，在形成了阳极58和层间绝缘膜60后，如图25中所示，形成红色子像素用槽3R、绿色子像素用槽3G和蓝色子像素用槽3B。再有，在图25中为了使说明简单起见，分别只示出了1条槽3R、3G、3B，但实际上在基板40上形成了多条槽3R、3G、3B。
此时，槽3R、3G、3B是这样形成的蓝色子像素用槽3B的前端离基板40的一个边(在图25中，是下侧的边)的距离为最远，按绿色子像素用槽3G的前端、红色子像素用槽3R的前端的顺序接近于基板40的上述一个边。此外，使槽3B的另一端离基板40的另一个边(在图25中，是上侧的边)的距离比槽3R、3G的另一端近。
其后，如图26中所示，利用光致抗蚀剂形成阻止有机EL溶液进入到红色子像素用槽3R中用的档块5a其次，如图27中所示，准备放入了成为绿色发光层的高分子类的有机EL溶液(以下称为绿色溶液)8G的容器。然后，使基板40垂直地将槽3G的前端进入到绿色溶液8G中。如果这样做，则由于毛细管现象的缘故，绿色溶液8G进入到液面以上的部分的槽3G内，用绿色溶液8G充满槽3G的整体。
此时，由于槽3B的前端离开绿色溶液8G的液面，故绿色溶液8G不进入槽3B中。此外，在槽3R中绿色溶液8G进入到档块5a的位置。
其次，将基板40从绿色溶液8G中提起，使其干燥，使甲苯从槽中的绿色溶液8G蒸发。由此，如图28中所示，在槽3G内形成绿色发光的有机EL层6G。
其次，如图29中所示，准备放入了抗蚀剂剥离液4的容器，将基板40放入抗蚀剂剥离液4中直到红色子像素用槽3R的档块5a浸入的位置。然后，在剥离了档块5a后提起基板40。由此，如图30中所示，除去剥离液4的液面之下的部分的有机EL层6G。
其次，如图31中所示，准备放入了成为红色发光层的高分子类的有机EL溶液(以下称为红色溶液)8R的容器。然后，使基板40垂直地将槽3R的前端进入到红色溶液8R中。如果这样做，则由于毛细管现象的缘故，红色溶液8R进入到液面以上的部分的槽3R内，用红色溶液8R充满槽3R的整体。
此时，由于蓝色子像素用槽3B和绿色子像素用槽3G的前端离开红色溶液8R的液面，故红色溶液8R不进入槽3B、3G中。
其次，将基板40从容器内的红色溶液8R中提起，使其干燥，使甲苯从槽中的红色溶液8R蒸发。由此，如图32中所示，在槽3R内形成红色发光层6R。
然后，如图33中所示，将槽3R的前端浸到抗蚀剂剥离液4中，除去前端部分的红色发光层6R。在图34中示出除去了槽3R内的红色发光层6R的前端部分的状态。
其次，如图35中所示，准备放入了成为蓝色发光层的高分子类的有机EL溶液(以下称为蓝色溶液)8B的容器。然后，使基板40垂直地将槽3B的前端进入到蓝色溶液8B中。如果这样做，则由于毛细管现象的缘故，蓝色溶液8B进入到液面以上的部分的槽3B内，用蓝色溶液8B充满槽3B的整体。
此时，由于红色子像素用槽3R和绿色子像素用槽3G的另一端的端部离开蓝色溶液8B的液面，故蓝色溶液8B不进入槽3R、3G中。
其次，将基板40从容器内的蓝色溶液中提起，使其干燥，使甲苯从槽中的蓝色溶液8B蒸发。由此，如图36中所示，在槽3B内形成绿色发光的有机EL层6B。
其后，与第1实施形态同样，形成绝缘膜61，在该绝缘膜61中形成槽以使有机EL层6R、6G、6B露出后，利用Al/Li合金形成阴极63。
在本实施形态中，也可得到与第1实施形态同样的效果。此外，在本实施形态中，只在红色子像素用槽3R中形成档块5a即可，具有可只进行1次剥离档块的工序的优点。
权利要求
1.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，具有下述工序在基板上的绝缘膜上形成槽的工序；在上述槽中充填溶解了有机EL元件材料的溶液的工序；以及使上述溶液干燥的工序。
2.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，具有下述工序在基板上的绝缘膜上形成第1和第2槽并使这些槽的一方的端部的位置互相错开的工序；形成阻止溶液进入到上述第1槽中的档块的工序；将上述第1和第2槽的上述一方的端部浸到溶解了第1有机材料的第1溶液中并一边用上述档块阻止上述第1溶液进入到上述第1槽中、一边在上述第2槽中充填上述第1溶液的工序；除去上述档块的工序；以及在使上述第2槽离开了溶解了第2有机材料的第2溶液的状态下，将上述第1槽的上述一方的端部浸到上述第2溶液中以在上述第1槽中充填上述第2溶液的工序。
3.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，具有下述工序在基板上的绝缘膜上形成第1和第2槽并使这些槽的一方的端部的位置以及另一方的端部的位置互相错开的工序；在使上述第1槽离开了溶解了第1有机材料的第1溶液的状态下，将上述第2槽的上述一方的端部浸到上述第1溶液中以在上述第2槽中充填上述第1溶液的工序；以及在使上述第2槽离开了溶解了第2有机材料的第2溶液的状态下，将上述第1槽的上述另一方的端部浸到上述第2溶液中以在上述第1槽中充填上述第2溶液的工序。
4.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，具有下述工序在基板上的绝缘膜上形成第1、第2和第3槽并使这些槽的一方的端部的位置互相错开的工序；形成阻止溶液进入到上述第1和第2槽中的第1和第2档块的工序；准备溶解了第1发光色的有机材料的第1溶液的工序；将上述第1、第2和第3槽的上述一方的端部浸到上述第1溶液中并一边用上述第1和第2档块阻止上述第1溶液进入到上述第1和第2槽中、一边在上述第3槽中充填上述第1溶液的工序；除去上述第2档块的工序；准备溶解了第2发光色的有机材料的第2溶液的工序；在使上述第3槽离开了上述第2溶液的状态下，将上述第1和第2槽的上述一方的端部浸到上述第2溶液中并一边用上述第1档块阻止上述第2溶液进入到上述第1槽中、一边在上述第2槽中充填上述第2溶液的工序；准备溶解了第3发光色的有机EL材料的第3溶液的工序；以及在使上述第2和第3槽离开了上述第3溶液的状态下，将上述第1槽的上述一方的端部浸到上述第3溶液中以在上述第1槽中充填上述第3溶液的工序。
5.如权利要求4中所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于对于1个像素，各形成多条上述第1、第2和第3槽。
6.如权利要求5中所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于对于上述1个像素，以与其它的槽的条数不同的条数形成上述第1、第2和第3槽中的至少1个槽。
7.如权利要求4中所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于以与其它的槽不同的宽度形成上述第1、第2和第3槽中的至少1个槽。
8.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，具有下述工序在基板上的绝缘膜上形成第1、第2和第3槽并使这些槽的一方的端部的位置互相错开且使第3槽的另一方的端部的位置与上述第1和第2槽的端部错开的工序；形成阻止溶液进入到上述第1槽中的档块的工序；准备溶解了第1发光色的有机材料的第1溶液的工序；在使上述第3槽离开了上述第1溶液的状态下，将上述第1和第2槽的上述一方的端部浸到上述第1溶液中并一边用上述档块阻止上述第1溶液进入到上述第1槽中、一边在上述第2槽中充填上述第1溶液的工序；除去上述档块的工序；准备溶解了第2发光色的有机材料的第2溶液的工序；在使上述第2和第3槽离开了上述第2溶液的状态下，将上述第1槽的上述一方的端部浸到上述第2溶液中以在上述第1槽中充填上述第2溶液的工序；准备溶解了第3发光色的有机EL材料的第3溶液的工序；以及在使上述第1和第2槽离开了上述第3溶液的状态下，将上述第3槽的上述另一方的端部浸到上述第3溶液中以在上述第3槽中充填上述第3溶液的工序。
9.如权利要求8中所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于对于1个像素，各形成多条上述第1、第2和第3槽。
10.如权利要求9中所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于对于上述1个像素，以与其它的槽的条数不同的条数形成上述第1、第2和第3槽中的至少1个槽。
11.如权利要求8中所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于以与其它的槽不同的宽度形成上述第1、第2和第3槽中的至少1个槽。
12.一种有机EL装置，其特征在于，具有基板；在上述基板上形成的第1绝缘膜；在上述第1绝缘膜上形成的第1电极；在上述第1绝缘膜上形成并在与上述第1电极对应的位置上设置了槽的第2绝缘膜；在上述槽内形成且其一个面与上述第1电极电连接的有机EL层；以及电连接到上述有机EL层的另一个面上的第2电极。
13.如权利要求12中所述的有机EL装置，其特征在于在1个像素区域内设置多组上述槽，在各组槽内形成的有机EL层的发光色互不相同。
14.如权利要求13中所述的有机EL装置，其特征在于各组槽中至少1组槽的条数比其它组的槽的条数多。
15.如权利要求13中所述的有机EL装置，其特征在于各组槽中至少1组槽的宽度比其它组的槽的宽度宽。
16.如权利要求12中所述的有机EL装置，其特征在于在上述第1电极与上述有机EL层之间以及在上述有机EL层与上述第2电极之间的至少一方设置有缓冲层。
17.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，具有下述工序在基板上的绝缘膜上形成槽的工序；在上述槽中充填溶解了有机EL层与电极之间的缓冲层材料的溶液的工序；以及使上述溶液干燥的工序。
18.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，具有下述工序在基板上的绝缘膜上形成槽的工序；在上述槽中充填溶解了电极材料的溶液的工序；以及使上述溶液干燥的工序。
全文摘要
在基板(40)上形成与红色、绿色、蓝色对应的槽(3R)、(3G)、(3B)，以使各自的槽(3R)、(3G)、(3B)的前端按上述顺序离基板(40)的边越来越远的方式形成上述的槽(3R)、(3G)、(3B)。将槽(3R)、(3G)、(3B)的前端浸在各自对应的颜色的有机EL溶液(8R)、(8G)、(8B)中，利用毛细管现象在槽(3R)、(3G)、(3B)内充填各自对应的颜色的有机EL溶液(8R)、(8G)、(8B)，来制造全彩色的有机EL显示装置。
文档编号H01L51/56GK1543754SQ01823528
公开日2004年11月3日 申请日期2001年8月30日 优先权日2001年8月30日
发明者佐佐木伸夫 申请人:富士通株式会社