专利名称：局部涂覆分离剂的方法和装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种借助一个蒸发器在一个真空室内给运动的基体局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂的方法，该真空室具有至少一个金属蒸发器，其中，分离剂在第一腔室中被加热蒸发并且以蒸气形态通过至少一个伺服阀被转入一个配备有至少一个对准当时的基体的喷嘴的第二腔室。
背景技术：
在这里涉及在可运动的或正运动的基体上产生分离剂条，以下有时也简称为“油剂”。估计这样的油迹具有与基体边缘相关的预定的不变分布图案以及不变的厚度和宽度。以下还要详细提到其它要求。
DE3922187A1公开了这样的材料，即它们阻碍局部涂覆并且也被称为分离剂，这样的材料在被加热的蒸发器管中被蒸发并且直接从在液体(一般是油)上方的蒸气室中被输入喷嘴，所述喷嘴分别将一股蒸气流对准运动的带材，以便在金属蒸发过程中产生无金属的纵条纹。还公开了一种用于观察金属化过程但不是油涂覆的电视摄象机。
DE4100643C1还公开了，通过以带材速度转动的辊来产生附加的无金属横条纹，蒸气从油蒸气的蒸发室中也被顺利地送入辊中。通过温度传感器，可以监测蒸发器中的油温。
DE4231644A1公开了，这样控制无金属区的分布图案，即在蒸发室上方和缝隙喷嘴之前安装一个可移动的挡板，它具有长度不同的空缺和舌片。但明确提到了总要有一个缝隙喷嘴保持空闲状态。
DE4309771A1也公开了，缝隙喷嘴直接安置在被加热的蒸发器的蒸发室上方并且通过控制油蒸发器的加热功率来调节油层厚度。
EP0966006A2公开了，如此产生层叠电容器，即在一个转动的高亮抛光辊每转动一圈时，先后涂覆一个硬化绝缘的并由单体反应蒸气构成的树脂层、成条纹图案的分离层和也成条纹图案的但与分离层互补的金属层，这些金属层来自铝、铜、锌、镍及其合金和氧化物。这些层构成的壳体通过高达1800的多个螺旋圈产生，直到达到理想的电容器静电容量。随后，多层外壳横向于转动方向地被切断并抬离辊，在加热作用下被压平并又被划分开并配设上电极。也提到了利用激光测量树脂厚度。还提到了通过借助照相机测量反射率和色对比度来测量层宽。尽管提到了用于分离层材料的并配备有喷嘴的蒸气分配器，其中所述分离层材料就是油蒸气，所述油来自脂、甘醇、氟化碳和碳化氢，但没有提到用于控制蒸气量和层厚并用于在设备停机时中断蒸气流的手段和措施。该文献甚至说，不需要在辊每圈转动时确定所有各层的厚度，而且只要最后达到一定的静电容量就够了。例如，在一个在辊最初转动15圈后的测量时刻(检查点)测量层厚也就行了。尽管对于铝给出了300纳米(300埃)的层厚，但对于分离剂只提到必须又通过等离子体放电除去多余的分离剂。但这样一来，尤其是在以卤素化合物为分离剂时，出现了有毒的并对泵机油有害的化合物。对硬化树脂层来说，提到了不超过1微米的厚度。其实谈到的只是绝缘层或树脂层以及金属层的厚度和金属层和分离层的宽度的测量和控制或调整，因为这些参数对电容器电容起到决定性作用。或许还规定了在其它圈数后的某些测量时刻(检查点)重新进行测量。总之，这篇文献没有深入讨论在工作间歇中连续出现油或分离剂的问题以及避免油迹因油蒸发器的温度波动和长度波动而位移的问题。
所列举的分离剂和金属及其合金和化合物原则上也可以被用于本发明的主题。
上述解决方案的缺点是，蒸发器因其不可避免的热惰性而在设备停机时也排出油蒸气，例如当换带时或在作业故障时，因此，明显污染了设备。这种油污染很难除去，尤其是油与其它脏东西构成润滑油。
总之，在现有技术中没有提到另一个严重问题，即在加热和冷却时由热决定的蒸发器长度波动。就是说，如果要减少排油，则必然要调节蒸发器的加热状况并且在重新投入工作中时加热蒸发器。这导致时间损失和或许导致排油量减少。可是，喷嘴和进而油迹沿带的稳定分布对终产品的出色性能是重要的。
EP1035553A1、EP0938971A2公开了用于中断从蒸发器到喷嘴列的蒸气流的各种解决方案。一方面，一些截流阀位于设置在真空室外的蒸发器和在真空室内的喷嘴体之间。
随后的如EP1035553A1所述的现有技术是图7所示的例子。油蒸发器是一个具有两个平行通道的可加热的块体，所述通道通过一道整齐喷出缝相互连通，其中，该块体被加热到位于油沸点之上的温度。在下通道中填充有储备油，上通道配备有喷嘴列以便将蒸气喷向带材，这样一来，就能在带材上产生油迹。没有公开在两个通道之间的截流阀或控制阀，唯一的外部截流阀只设置在一个也在外面的冷油储备容器和用于油液的下侧内储备通道之间。结果，仍然没有阻碍油蒸气在关断截流阀后也通过喷嘴列流入设备的真空室中并且在那里冷凝。也没有提到在温度波动时的油蒸发器的长度波动的问题。但以下说法是重要的，即尽管这样一来可以得到很简单的布置结构，但它以影响分离剂(油)压力波动为前提条件，因而，排出的油量容易变得不稳定。
发明内容
因此，本发明的任务是，在上述类型的方法中，即在一个双腔室蒸发器中储备有液态分离剂并且该蒸发器具有一个蒸气分配室以及在真空室内的喷嘴的方法中，如此进行改善，即尽管蒸发温度保持恒定，来自喷嘴的蒸气量可以明确地改变并且与偶然性无关，流出蒸气实际上也能马上被中断。
在上述方法中，根据本发明来如此完成所提出的任务，即a)尽可能恒定地保持蒸发器温度，b)来自该第一腔室的蒸气通过所述的至少一个伺服阀受控制地被输入该第二腔室里并且在该第二腔室中最初平行于第一腔室地被供给所述的至少一个喷嘴，c)该伺服阀在基体停止或没有基体时被关闭并保持关闭状态。
术语“控制”仍然也包括通过一个或多个封闭的调节环路的调节。
通过这个解决方案，彻底完成了所提出的任务，即通过保持蒸发器温度稳定使蒸发器长度和进而喷嘴和由其产生的油迹的分布图案保持不变，从喷嘴中喷出的蒸气量可以根据方法来控制，蒸气流出实际上或许也能马上被中断，因而，实际上避免了由油冷凝引起的真空室及其复杂分布的内装部件被污染，进而，也能避免平常的、困难的且劳动力大的设备清洗工作。
本发明方法的其它的有利实施形式从其余的方法权利要求和具体说明中得到，尤其是从组合方案和下级组合方案中得到，即*装存在第一腔室中的液态分离剂通过至少一个被浸入的电加热体被保持在恒定温度上，至少该第二腔室的壁和进而所述的至少一个喷嘴通过至少另一个电加热体也保持在一个被选定为高于该分离剂的沸腾温度的恒定温度上，*该第一腔室布置在下面，而该第二腔室安置在一个较高的位置上，蒸气状的分离剂按照一个垂直的方向分量从下方对准一个带状基体。
*该第一腔室布置在上方，而该第二腔室安置在一个较低的位置上，蒸气状的分离剂按照一个垂直的方向分量从上方对准一个板状基体。
*该第二腔室的壁面温度被调整到一个比在该第一腔室内的分离剂温度更高的值。
*该浸入的加热体的温度根据分离剂温度来调节。
*用于所述的至少一个喷嘴的该加热体的加热功率根据喷嘴温度来调节。
*单位时间里从该第一腔室转入该第二腔室的蒸气量通过所述的至少一个比例阀并根据所述至少一个喷嘴所需的分离剂需求量来调节。
*单位时间里从所述至少一个喷嘴中流出的分离剂的蒸气量根据油迹的宽度和层厚以及基体的输送速度来调节。
*所述油迹的层厚按照单位时间内由金属蒸发器蒸发的金属量来调节。
*使所述至少一条油迹经过一个观察区，在该观察区里进行油迹的光学控制。
*对形成分布图案和油迹的所需厚度很重要的工作参数被输送给一个控制系统，在该控制系统里，这些工作参数被转换成用于控制和/或调整分离剂用蒸发器的调节参量。
*对形成金属涂层很重要的工作参数也被输送给控制系统，在该控制系统中，这些工作参数被转换成用于控制和/或调整金属蒸发器的调节参量。
本发明也涉及一种完成同一任务的装置。该装置从以下的现有技术特征出发，即一种用于借助一个可被加热的蒸发器在真空室里给运动的基体局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂的装置，该真空室有至少一个金属蒸发器，其中该分离剂蒸发器具有一个带有至少一个用于分离剂蒸发的加热体的第一腔室以及一个其走向平行于该第一腔室并与该第一腔室相连的第二腔室，该第二腔室具有至少一个对准当时的基体的喷嘴，还设有至少一个用于截止分离剂输送的伺服阀。
在这样的装置中，根据本发明如此完成所提出的任务，即a)所述的至少一个伺服阀是一个比例阀，它安置在该第一腔室和该第二腔室之间；b)该伺服阀安置在分离剂蒸发器的各一条通道里，所述通道使该该第一腔室与该第二腔室连通；c)该伺服阀是这样构成的，即该分离剂的蒸气流不仅在量方面可明确地调节，而且能被完全中断。
本发明装置的其它有利实施形式见其余的装置权利要求以及具体描述，尤其是也从组合方案和下级组合方案中得到，即*该第一腔室布置在下面，而该第二腔室安置在较高的位置上，蒸气状分离剂可以按照一个垂直的方向分量从下侧对准一个带状基体。
*该第一腔室布置在上面，而该第二腔室安置在较低位置上，蒸气状分离剂可以按照一个垂直的方向分量从上侧对准一个带状基体。
*在用于液态分离剂的第一腔室中设有至少一个电加热体，至少该第二腔室的壁和进而所述的至少一个喷嘴处于与至少另一个电加热体的热接触中。
*该分离剂蒸发器具有一个带有一底面和侧凸缘的长方体形腔室，一个中间盖被紧固到所述凸缘上，该中间盖在其最长延伸方向上具有一个朝上敞开的中央空缺，在中央空缺的两侧有一些槽，所述的至少另一个加热体安装在这些槽里，在该中间盖上紧固着一个喷嘴板，该喷嘴板在其最长延伸方向上具有一个朝下敞开的空缺，其中，这些空缺在形成该第二腔室的情况下彼此连通，所述的至少一个喷嘴起始于第二腔室。
*a)该分离剂蒸发器具有一个有一底面和侧凸缘的第一腔室，一个第一封盖被紧固在所述凸缘上，b)第二腔室具有一个第二封盖，该第二封盖在其最长延伸方向上具有一个朝下敞开的中央空缺，在中央空缺的两侧设有一些槽，所述的至少另一个加热体安装在这些槽里，在第二封盖的底面上紧固着一个喷嘴板，该喷嘴板在其最长延伸方向上具有一个朝上敞开的空缺，其中，这些空缺在形成该第二腔室的情况下彼此连通，所述的至少一个喷嘴起始于第二腔室。
*该喷嘴板被构造成可以被换上一个具有不同的喷嘴横截面和/或不同的喷嘴分布图案的喷嘴板。
*在该蒸发器的第一腔室里，在一个根据结构而预定的液面的下方设有一个用于测量分离剂温度的温度传感器。
*该喷嘴板具有一个有一端面的空缺，一个用于测量喷嘴板温度的温度传感器贴在该端面上。
*在该分离剂蒸发器的上面设有一个用于预定出一带状基体的运动路线和至少一个在该基体上的并由所述喷嘴产生的油迹的走向的转向辊，给该转向辊配备有用于求出基体速度的信号机构。
*在该分离剂蒸发器的下面设有一个用于板状基体的和至少一个在基体上的并由所述喷嘴产生的油迹的走向的输送路线，给该输送路线配备有用于求出基体速度的信号机构。
*给具有所述至少一条油迹的该基体的运动路线配备一个观察区，通过光学装置扫描该观察区。
*用于温度、单位时间的蒸气量、分布图案的形成和油迹厚度的传感器的测量信号被接入一个控制系统里，在该控制系统中，这些测量信号被转换成用于控制和/或调整用于分离剂的蒸发器的调节参量。
*给控制系统接入一个测量调节机构以便通过金属蒸发器来控制金属涂层。
*给该控制系统配备一个用于控制指令和/或工作参数的理论值的输入键盘。
*给该控制系统配备一个用于测量值、控制指令和/或工作参数的理论值的屏幕。
以下，结合图1-图4来详细描述本发明主题的两个实施例及其工作原理，附图所示为图1表示用于垂直向上的分离剂出口的蒸发器一端的一个轴向截面，该图也是所属转向辊和涂有条形分离剂的带材的局部侧视图，同时也是用于获得测量值以及将控制调节信号转发给通过测量机构来检测的各组成部分的非常示意性的框图；图2表示在用于喷出分离剂的其中一个喷嘴的区域里的图1所示主题的垂直横截面图；图3是与图2相似的、在用于测量液态分离剂温度和喷嘴板的温度传感器的区域里的垂直横截面图；图4是与图2相似的但蒸气喷出方向掉转即向下的垂直横截面图。
具体实施例方式
图1表示一个用于分离剂(以下简称为油)的蒸发器1。蒸发器1设置在一个未示出的真空室里并且具有一大致成长方体形的并用于储备待蒸发的油的下腔室2。在底面2a附近有一个在纵向上连贯的电加热体3，该电加热体在一端上借助螺丝3a被紧密地装上一根电线3b。一个用于掌握油温的温度传感器4浸在油中，该温度传感器例如被调到110摄氏度。蒸发器1的另一端可以有相似的结构，但没有螺丝3a。
100摄氏度值适用于常见的分离剂，例如由全氟聚醚(它也被用作真空泵油)构成的分离剂，例如被称为“Fomblin”。这样的油是高分子的并且是惰性的，即便是相对强腐蚀性介质来说，它也是惰性的，并且是热稳定的和不可燃烧的(ROEMPP Chemie Lexikon，1995，Georg Thieme Verlag，斯图加特和纽约，第1421和3276页，关键词“Fomblin”和“Perfluropolyether”)。就是说，其混合成必须有的真空泵的泵机油也是毫无问题的。
例如在制造有铝衬层的电容器时，相对金属涂覆材料的对基体如塑料膜和纸幅的分离作用涉及到精确的油层厚度，在基体上的油膜通过冷凝的金属蒸气被加热，其中，油被蒸发并且通过油的蒸发分子的粒子流阻碍了金属沉积。如果涂覆太少的油，则分离作用太弱并且在要保持无金属的基体条材上涂上了一层薄薄的金属，因为在在金属沉积结束之前，在基体上的储油已用尽了。如果涂上的油太多，则油层留在基体上，它在卷绕带材时留在两层之间，结果，油被涂在部分金属化的材材的大部分区域上。就是说，被迫事先规定精确稳定的分离剂的剂量，但这很难做到。
在腔室2上方，密封地设有一个中间盖5，在中间盖之中和之上有一个通道形上腔室6，它的走向平行于下腔室2并且它起到油蒸气的分配通道的作用。在腔室6(仍然是密封的)上方设有一个喷嘴板7，它在纵向上并按照预定的分布图案有多个喷嘴8。腔室6由两个直线的空缺6a、6b构成，它们彼此相通地形成在中间盖5里和在喷嘴板7里(见图2)。
在喷嘴板7上方并与之平行略微间隔开地设有一个转向辊9，该转向辊将待涂覆的带材10即一塑料膜或纸条从一个原料卷上重卷到一个成品卷上，原料卷和成品卷都未示出。移动方向由垂直箭头表示。
下腔室2通过至少一个通道11与上腔室6连通，该通道通过一个螺纹塞11a对外封闭，其中，可以通过一个带有阀体12a的电控比例阀12来控制过渡横截面并进而控制单位时间里的蒸气量，该阀体装在通道11里。这样的压力控制用比例阀12例如由德国的Buerkert公司销售。
由于腔室6与所有喷嘴8的横截面之合相关地具有比较大横截面，所以由各喷嘴8喷出的蒸气量总是相等的。蒸气流在移动的带材10上产生条纹形等宽等间距的分离剂或油迹13，其作用已描述过了。喷嘴板7保持在如120摄氏度的不变温度上，因此，在喷嘴板上和喷嘴板中都没有出现可能改变横截面的油冷凝。
图2用与以前相同的标记表示长方体形腔室2，该腔室具有侧凸缘2b、2c和待蒸发的储备油14，油达到了液面15。中间盖5通过螺钉17并在中间安放密封件16的情况下完全一致地与腔室2的凸缘2b、2c拧接在一起，图中只示出了一个。在中间安置密封件16a的情况下，喷嘴板7借助螺钉18和一个绝热的螺纹套18被拧在中间盖5上，只能看到其中一个。还能看到，上腔室6至少基本上通过铣削而形成在中间盖5和喷嘴板7中。
在中间盖5和喷嘴板7之间的一个分界缝19的下方，在中间盖5内有用于加热体20的槽5a、5b，加热体的主要作用是将喷嘴板7加热到所需温度并保持在该温度上。
图3又用与以前相同的标记表示一个与图2相似的按照实际的区域截面，在该区域中设有一个用于掌握喷嘴板7温度的温度传感器21。温度传感器21以其封闭壳体21a固定在一个肘形件22上并借助一个压簧21b被压到在喷嘴板7中的一个孔的端面7a上。还能看到用于油的温度传感器4及其封闭壳体4a。23表示一个可封闭的油加装管接头。
从图1、2、3的概述中得到了以下的用于调节、控制和/或调整蒸发器的重要参数的可能性，图1很示意地示出了一个控制系统24。该控制系统先通过温度传感器4获得一个油温的测量值，由此，加热体3可借助一个在电线3b中的功率调节器3c并通过线路25被调整到稳定不变的温度值。用于喷嘴板7的温度传感器21(在此仅示意表示)也将其测量值发送给控制系统24，这样，加热体20的功率如图2所示地通过线路26得到调节，确切地说，它也被调整到一个稳定不变的温度。
通过线路27来控制比例阀12尤其重要。为此，转向辊配备有一个在此非常示意性示出的转速发送器28，它可以是一个用于测量在转向辊9上的条纹图案的光学传感器，或者是一个用于环绕磁铁的磁力传感器，或者一个转速测量仪蹭擦着转向辊9的一个未示出的轴。由于每个喷嘴的单位时间里的油量基本上应与带速成比例，所以，由此得到一个用于优化蒸气流和油层厚度的理想的可行方案。当转向辊9停止时，比例阀12由此进入其关闭位置。为了同样的目的并且在作业出现故障时，也可以设置一个紧急断路开关，它被整合到控制系统24中。
油层厚度的一个附加的光学控制或目测控制可以在观察区29中进行，油迹13经过该观察区。这个区域例如可以被视频摄象机扫过，或者它可以通过一条线路30将在光学传感器和光源之间的反射光用于人工控制或自动调节。
所有的措施可以单独采用或按照任何组合方式采用，不过在这里，在工作过程中，或是在调节后或是通过用于保持油迹13的调整来保持恒定的油温和喷嘴板7的温度并且在设备停机时尽快中断从喷嘴8中喷出的蒸气流，这些是很重要的。
控制系统2适当地具有一个用于控制指令和/或理论值的输入键盘31和一个LCD显示器和/或一个用眼观看的屏幕。
还按照非常缩小的比例示出了一个金属蒸发器33，它包括一个通过流通电流被加热的石墨蒸发舟34，在该石墨蒸发舟里有熔液35如铝水。金属蒸发器33至少遍及带材10的整个宽度范围里。对应地设有一个测量调节机构36，它例如通过线路37从控制系统24那里获得如用于加热功率的控制信号。众所周知的是，单位时间里蒸发的金属量与加热功率或温度至少基本成比例。温度和/或加热功率的响应通过一条通向控制系统24的线路38来完成。这样一来，单位时间里蒸发的油量和金属量可以通过控制系统24而最佳地相互协调，因为油量和金属量又成比例地相互对应。
图4表示与图2相似的垂直横截面，但蒸气喷出方向相反即向下。采用了尽量相同的标记，尤其是图4的主题尽可能由与图1-3相同的部件组成。
在这种情况下，第一腔室2即上腔室通过第一封盖39被封闭。在分离剂14(油)上方的蒸发室14a在这里也与一通道11连通，该通道在这里成弯曲管路12的形式并且在该通道中有上述比例阀12。在这里，第二腔室6设置在第一腔室2的下方并且在一定程度上是“头朝下”。在这里，如图1-3所示的中间盖5成封盖40的形式，通道11通过第二封盖40通入第二腔室6，第二腔室又由两个彼此相通的空缺6a、6b构成。至少一个喷嘴8的蒸气喷出方向朝下地对准基体10，该基体是抗弯的并且可以是由玻璃构成的板或圆盘，例如以便随后用作LCD盘。可以位于闸门或存放库之间的输送路线41由多个输送辊42限定。
第二腔室6通过接板43与第一腔室2连接，腔室2、6构成一个包括平行腔室2、6的结构单元。由于第二腔室6通常具有比第一腔室2更高的工作温度，所以设置隔热层44是适当的。
当然，分离剂蒸发器1的空间位置可以根据基体输送路线的不同被选得不同，只要第一腔室2即蒸发器室始终具有工作能力就行。不仅倾斜放置是可行的，而且腔室6和喷嘴板7也可以安置在腔室2的旁边，以便例如能够涂覆垂直移动的带材。在一定程度上，本发明的主题构成一个积木式结构体系，它几乎可以任意改装，如尤其象参照图2、4所示的那样。
附图标记一览表1-蒸发器；2-第一腔室；2a-底面；2b-凸缘；2c-凸缘；3-加热体；3a-螺丝；3b-电线；3c-功率调节器；4-温度传感器；4a-连接外壳；5-中间盖；5a-槽；5b-槽；6-第二腔室；6a-空缺；6b-空缺；7-喷嘴板；7a-端面；8喷嘴；9-转向辊；10-基体；11-通道；11a-螺纹塞；12-比例阀；12a-阀体；13-油迹；14-油；14a-蒸发室；15-液面；16-密封件；16a-密封件；17-螺钉；18-螺钉；18a-螺纹套；19-分界缝；20-加热体；21-温度传感器；21a-连接外壳；21b-压簧；22-肘形件；23-加装管接头；24-控制系统；25-线路；26-线路；27-线路；28-转速发送器；29-观察区；30-线路；31-输入键盘；32-屏幕；33-金属蒸发器；34-石墨蒸发舟；35-熔液；36-测量调节机构；37-线路；38-线路；39-第一封盖；40-第二封盖；41-输送路线；42-输送辊；43-接板；44-隔热层。
权利要求
1.一种借助一个蒸发器(1)在蒸发室中给运动的基体(14)局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂(14)的方法，该蒸发室有至少一个金属蒸发器(33)，其中，该分离剂(14)在一个第一腔室(2)里通过加热被蒸发并且以蒸气形态通过至少一个伺服阀(12)被转入一个配备有至少一个对准当时的基体(10)的喷嘴(8)的第二腔室(6)中，其特征在于，a)尽可能恒定地保持蒸发器温度，b)来自该第一腔室(2)的蒸气通过所述的至少一个伺服阀(12)受控制地被输入该第二腔室(6)里并且在该第二腔室中最初平行于第一腔室(2)地被供给所述的至少一个喷嘴(8)，c)该伺服阀(12)在基体(10)停止或没有基体时被关闭并保持关闭状态。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，装存在该第一腔室(2)中的液态分离剂(14)通过至少一个被浸入的电加热体(3)被保持在恒定温度上，至少该第二腔室(6)的壁和进而所述的至少一个喷嘴(8)通过至少另一个电加热体(20)也保持在一个被选定为高于该分离剂(14)的沸腾温度的恒定温度上。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，该第一腔室(2)布置在下方，而该第二腔室(6)安置在一个较高的位置上，蒸气状的分离剂(14)按照一个垂直的方向分量从下方对准一个带状基体(10)。
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，该第一腔室(2)布置在上方，该第二腔室(6)安置在一个较低的位置上，蒸气状的分离剂(14)按照一个垂直的方向分量从上方对准一个板状基体(10)。
5.至少如权利要求1-4之一所述的方法，其特征在于，该第二腔室(6)的壁面温度被调整到一个比在该第一腔室(2)内的分离剂温度更高的值。
6.至少如权利要求1-5之一所述的方法，其特征在于，该浸入的加热体(3)的温度根据分离剂温度来调节。
7.至少如权利要求1-6之一所述的方法，其特征在于，用于所述至少一个喷嘴(8)的加热体(20)的加热功率根据喷嘴温度来调节。
8.至少如权利要求1-7之一所述的方法，其特征在于，单位时间里从该第一腔室(2)转入该第二腔室(6)的蒸气量通过所述的至少一个比例阀(12)并根据所述至少一个喷嘴(8)所需的分离剂需求量来调节。
9.至少如权利要求1-8之一所述的方法，其特征在于，单位时间里从所述至少一个喷嘴(8)中流出的分离剂(14)的蒸气量根据油迹(13)的宽度和层厚以及基体(10)的输送速度来调节。
10.至少如权利要求1-9之一所述的方法，其特征在于，该油迹(13)的层厚按照单位时间里由金属蒸发器(33)蒸发的金属量来调节。
11.至少如权利要求1-10之一所述的方法，其特征在于，使所述至少一条油迹(13)经过一个观察区(29)，在该观察区里进行油迹(13)的光学控制。
12.至少如权利要求1-11之一所述的方法，其特征在于，对形成分布图案和油迹(13)的所需厚度很重要的工作参数被输送给一个控制系统(24)，在该控制系统里，这些工作参数被转换成用于控制和/或调整分离剂(14)用蒸发器(1)的调节参量。
13.至少如权利要求1-12之一所述的方法，其特征在于，对形成金属涂层重要的工作参数也被输入控制系统(24)，在该控制系统中，这些工作参数被转换成用于控制和/或调整金属蒸发器(33)的调节参量。
14.一种用于借助一个可被加热的蒸发器(1)在真空室里给运动的基体(10)局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂(14)的装置，该真空室有至少一个金属蒸发器(33)，其中，该分离剂蒸发器(1)具有一个带有至少一个用于分离剂(14)的蒸发的加热体(3)的第一腔室(2)以及一个其走向平行于该第一腔室(2)并与该第一腔室相连的第二腔室(6)，该第二腔室具有至少一个对准当时的基体(10)的喷嘴(8)，还设有至少一个用于截止分离剂输送的伺服阀(12)，其特征在于，a)所述的至少一个伺服阀(12)是一个比例阀，它安置在该第一腔室(2)和该第二腔室(6)之间；b)该伺服阀(12)安置在分离剂蒸发器(1)的各一条通道(11)里，所述通道(11)使该该第一腔室(2)与该第二腔室(6)连通；c)该伺服阀(12)是这样构成的，即该分离剂(14)的蒸气流不仅在量方面可明确地调节，而且能被完全中断。
15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，该第一腔室(2)布置在下面，而该第二腔室(6)安置在较高的位置上，蒸气状分离剂(14)可以按照一个垂直的方向分量从下侧对准一个带状基体(10)。
16.如权利要求14所述的装置，其特征在于，该第一腔室(2)布置在上面，而该第二腔室(6)安置在较低位置上，蒸气状分离剂(14)可以按照一个垂直的方向分量从上侧对准一个带状基体(10)。
17.至少如权利要求14-16之一所述的装置，其特征在于，在用于液态分离剂(14)的该第一腔室(2)中设有至少一个电加热体(3)，至少该第二腔室(6)的壁和进而所述的至少一个喷嘴(8)处于与至少另一个电加热体(20)的热接触中。
18.至少如权利要求14、15和17之一所述的装置，其特征在于，该分离剂蒸发器(1)具有一个带有一底面(2a)和侧凸缘(2b，2c)的长方体形腔室(2)，一个中间盖(5)被紧固到所述凸缘上，该中间盖在其最长延伸方向上具有一个朝上敞开的中央空缺(6a)，在中央空缺的两侧有一些槽(5a，5b)，所述的至少另一个加热体(20)安装在这些槽里，在该中间盖(5)上紧固着一个喷嘴板(7)，该喷嘴板在其最长延伸方向上具有一个朝下敞开的空缺(6b)，其中，这些空缺(6a，6b)在形成该第二腔室(6)的情况下彼此连通，所述的至少一个喷嘴(8)起始于第二腔室。
19.至少如权利要求14、16和17之一所述的装置，其特征在于，a)该分离剂蒸发器(1)具有一个有一底面(2a)和侧凸缘(2b，2c)的第一腔室(2)，一个第一封盖(39)被紧固在所述凸缘上，b)第二腔室(6)具有一个第二封盖(40)，该第二封盖在其最长延伸方向上具有一个朝下敞开的中央空缺(6a)，在中央空缺的两侧设有一些槽(5a，5b)，所述的至少另一个加热体(20)安装在这些槽里，在第二封盖(40)的底面上紧固着一个喷嘴板(7)，该喷嘴板在其最长延伸方向上具有一个朝上敞开的空缺(6b)，其中，这些空缺(6a，6b)在形成该第二腔室(6)的情况下彼此连通，所述的至少一个喷嘴(8)起始于第二腔室。
20.如权利要求18或19所述的装置，其特征在于，该喷嘴板(7)被构造成可以被换上一个具有不同的喷嘴(8)横截面和/或不同的喷嘴(8)分布图案的喷嘴板。
21.如权利要求14所述的装置，其特征在于，在该蒸发器(1)的第一腔室(2)里，在一个根据结构而预定的液面(15)的下方设有一个用于测量分离剂(14)温度的温度传感器(4)。
22.如权利要求18或19所述的装置，其特征在于，该喷嘴板(7)具有一个有一端面(7a)的空缺，一个用于测量喷嘴板温度的温度传感器(21)贴在该端面上。
23.如权利要求14所述的装置，其特征在于，在该分离剂蒸发器(1)的上面设有一个用于预定出一带状基体(10)的运动路线和至少一个在该基体(10)上的并由所述喷嘴(8)产生的油迹(13)的走向的转向辊(9)，给该转向辊(9)配备有用于求出基体速度的信号机构。
24.如权利要求14所述的装置，其特征在于，在该分离剂蒸发器(1)的下面设有一个用于板状基体(10)的和至少一个在基体(10)上的并由所述喷嘴(8)产生的油迹(13)的走向的输送路线(41)，给该输送路线(41)配备有用于求出基体速度的信号机构。
25.至少如权利要求15和16之一所述的装置，其特征在于，给具有所述至少一条油迹(13)的该基体(10)的运动路线配备一个观察区(29)，通过光学装置扫描该观察区。
26.至少如权利要求14-25之一所述的装置，其特征在于，用于温度、单位时间的蒸气量、分布图案的形成和油迹(13)厚度的传感器的测量信号被接入一个控制系统(24)里，在该控制系统中，这些测量信号被转换成用于控制和/或调整用于分离剂(14)的蒸发器(1)的调节参量。
27.如权利要求26所述的装置，其特征在于，给该控制系统(24)接入一个测量调节机构(36)以便通过金属蒸发器(33)来控制金属涂层。
28.如权利要求26所述的装置，其特征在于，给该控制系统(24)配备一个用于控制指令和/或工作参数的理论值的输入键盘(31)。
29.如权利要求26所述的装置，其特征在于，给该控制系统(24)配备一个用于测量值、控制指令和/或工作参数的理论值的屏幕(32)。
全文摘要
本发明涉及借助蒸发器在真空室内给运动的基体局部涂上一层阻碍涂覆的分离剂的方法和装置，该真空室具有至少一个金属蒸发器，分离剂在第一腔室里被加热蒸发并以蒸气形态通过至少一个伺服阀被转入一个配备有至少一个对准当时的基体的喷嘴的第二腔室。为了在这种情况下能将所蒸发的图形、宽度和层厚保持在小极限范围里并能立即中断蒸气流出而规定a)尽可能恒定地保持蒸发器温度；b)来自第一腔室的蒸气通过至少一个伺服阀受控制地被输入第二腔室并在第二腔室中最初平行于第一腔室地被供给至少一个喷嘴；c)伺服阀在基体停止或没有基体时被关闭并保持关闭状态。至少一个伺服阀最好是比例阀，它被安置在第一腔室和第二腔室之间。
文档编号H01G13/00GK1576385SQ20041004568
公开日2005年2月9日 申请日期2004年4月30日 优先权日2003年7月4日
发明者S·海恩 申请人:应用菲林股份有限两合公司