专利名称：基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法
技术领域：
本发明涉及用于将显示器用基样玻璃、硅基板(薄板)等基板精密定位的基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法。
本申请主张2004年4月5日提出的日本专利申请第2004-110896号的优先权，在此援引其内容。
背景技术：
在对PDP(等离子体显示面板)、液晶显示器这样的显示器所使用的玻璃基板(mother glass基样玻璃)进行贴膜等的设备中，利用专门的机器人(输送装置)，向进行成膜、涂敷抗蚀剂、曝光、蚀刻等处理的多个处理室(chamber腔室)搬入、运出基板，但是鉴于确保搬入处理室内的玻璃基板的定位精度是很重要的，在将进行贴膜等工序流程的玻璃基板搬入处理室之前，载置在设于基板搬入处理室的搬入路径途中[例如，与处理室分体设置的腔室(装卸锁定室)内、设有所述处理室等的真空装置入口附近(大气中)等]的定位工作台上而进行定位，然后，所述机器人从定位工作台取出玻璃基板并搬入处理室中，将处理室内的玻璃基板的位置控制在容许误差范围之内。
以往，作为所述定位工作台，有使该定位工作台上载置的玻璃基板抵碰到定位计而进行定位的结构(例如专利文献1)、或者移动定位计而使其抵碰到定位工作台上的玻璃基板的端面来进行定位的结构等。
另外，玻璃基板向定位工作台的搬送是通过从搬入玻璃基板的搬入台(casset箱)取出玻璃基板而将其载置于定位工作台上的专用移载机器人进行的。作为该移载机器人，具有例如如图5所示，在多根可动臂101上载置玻璃基板102进行搬送的机器人(移载机器人103)；或者如图6所示，用与真空装置连接的吸盘形吸附头104吸附固定玻璃基板102的多处位置而进行搬送的机器人(移载机器人105)。该移载机器人使向定位工作台106搬入的玻璃基板102下降而将其载置在定位工作台106上。另外，也具有将完成贴膜等工艺流程后从处理室返回到定位工作台106上的玻璃基板102从定位工作台106取出并向搬出位置搬送的功能。
定位工作台106具有通过移载机器人使载置的玻璃基板102横向移动的横向进给装置(省略图示)；通过与横向进给装置横向进给的玻璃基板102的外周部的端面抵碰而对玻璃基板102定位的定位计107，通过利用横向进给装置使移载机器人搬入的玻璃基板102移动而与定位计107抵接，由此可以精密地定位玻璃基板102。另外，作为定位工作台106，通过工作台主体108上设置的多个自由滚珠轴承(フリ一ボ一ルベアリング)109支承玻璃基板102，使其可自如地横向移动，由此以较轻的力即可实现玻璃基板102的横向移动。
专利文献1特开平06-183556号公报但是，由于在所述定位工作台上，从载置玻璃基板开始到根据抵碰定位计而进行的定位作业完成需要花费时间，这成为产品的制造效率低的原因，故不理想。另外，在使玻璃基板横向移动、或使定位计抵碰玻璃基板的端面而进行定位的构成中，容易给玻璃基板带来微小的挠曲等的歪曲，出现影响玻璃基板的平面度的尺寸精度的问题。而且，由于需要横向进给装置(或者用于移动测量计的装置)，故使得成本增高，而且这样的装置成为颗粒的发生源，产生容易污染玻璃基板的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述课题而构成的，其目的在于提供一种低成本的基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法，可以在短时间内简单地进行玻璃基板等基板的定位，而且，几乎不给基板带来歪曲，也可以尽量减少颗粒的产生。
为了解决上述课题，本发明提供以下的构成。
本发明的基板用定位工作台，其具有载置基板的载置台；自由滚珠轴承，其设置在所述载置台外周部的多处位置，通过对从所述载置台的上方下降而载置于所述载置台上的基板的外周部进行引导，使所述基板定位在所述载置台上设定的基板定位区域内，其特征在于，所述自由滚珠轴承由滚珠支承体和自由回转地支承于该滚珠支承体上的滚珠构成，所述滚珠的中心配置在所述载置台支承所述基板的支承面的延长上，或者，设置在所述载置台上载置的基板的板厚度尺寸的范围内比所述支承面靠上的位置，通过所述滚珠的旋转能够将与所述滚珠从所述滚珠支承体突出的部分抵接的基板向由各个自由滚珠轴承的滚珠包围的内侧的所述基板定位区域引导。
在该基板用定位工作台中，所述自由滚珠轴承的滚珠至少表面由导电材料形成，可以采用在所述自由滚珠轴承的滚珠支承体上设有与所述滚珠连接的接地用通电部的结构。
另外，在该基板用定位工作台中，优选采用以下的结构，即，在所述载置台上设有基板支承机构，该基板支承机构对载置在所述载置台上的基板进行支承并允许其在沿所述支承面的方向变位。作为所述基板支承机构，例如可采用自由滚珠轴承。
另外，本发明的基板用定位设备，其具有搬入基板的搬入台；上述本发明的基板用定位工作台；从所述搬入台取出基板并将其载置于所述基板用定位工作台的载置台上的基板移送装置。
本发明的基板的定位方法，在所述载置台的外周部的多处配置的自由滚珠轴承即侧面自由轴承(サイドフリ一ベアリング)的滚珠的上方，使上述本发明的基板用定位工作台的所述载置台上载置的基板，从确保比所述基板定位区域扩展各个侧面自由轴承的滚珠从滚珠支承体的突出量的区域即基板接受区域之上方下降而进入所述基板接受区域，然后，在各个侧面自由轴承的滚珠上引导该基板的同时使其下降，配置在所述基板定位区域。
根据本发明，使基板从载置台的外周部设置的自由滚珠轴承(下面也称侧面自由轴承)的滚珠的上方下降，进入到由各个侧面自由轴承包围的内侧(由从滚珠的滚珠支承体最突出的部分包围的内侧)的基板定位区域并载置于载置台的支承面上，由此即可以所希望的精度对基板进行定位。由于进入基板定位区域的基板是通过各个侧面自由滚珠轴承的滚珠进行定位的，所以能够在基板进入基板定位区域的同时完成基板的定位。因此，可在极短的时间进行定位。
另外，在基板从基板接受区域下降进入基板定位区域时，即使基板的外周部与所述滚珠从所述滚珠支承体突出的部分抵接，由于侧面自由轴承是通过所述滚珠的旋转将与所述滚珠的从所述滚珠支承体突出的部分抵接的基板顺畅地导向基板定位区域的结构，故可在基板进入基板定位区域的同时完成基板的定位。
并且，与通过横向移动定位工作台上载置的基板使其抵碰到定位计而进行定位的结构相比，在本发明中，不易对基板给予部分的挠曲等的歪曲，可以获得能够稳定地维持基板的尺寸精度的优良效果。另外，由于在定位工作台上无需设置横向进给装置等复杂的机构，可以大大减少颗粒的发生源，也可以实现低成本化。
图1是本发明的基板用定位工作台(下面也称定位工作台)的平面图；图2表示图1的定位工作台，是图1的A-A线的剖面向视图；图3是表示图1的定位工作台上设有的侧面自由轴承(サイドフリ一ベアリング)及压力自由轴承(受けフリ一ベアリング)的安装位置关系的放大图；图4是表示具有本发明的基板用定位设备的工艺流程设备的平面示意图；图5是表示现有例的移送机器人的示意图；图6是表示现有例的移送机器人的其他例的示意图。
附图标记1基板用定位工作台 2基板用定位设备 4基板 11载置台 12自由滚珠轴承(侧面自由轴承) 12a滚珠支承体(接地用通电部) 12b滚珠 12f小球(接地通电部) 14自由滚珠轴承(压力自由轴承) 14a滚珠支承体(接地用通电部) 14b滚珠M基板定位区域 U基板接受区域具体实施方式
下面，参照图1～图4对本发明的实施方式进行说明。
图1、图2是表示本发明的基板用定位工作台1(下面也称为定位工作台)的图，图1是平面图，图2是图1的A-A线的剖面向视图，图3是定位工作台1上设有的自由滚珠轴承(后述的侧面自由轴承(サイドフリ一ベアリング)及压力自由轴承(受けフリ一ベアリング))的安装位置关系的放大图，图4是表示具有本发明的基板用定位设备2(下面也称定位设备)的工艺流程设备3的平面示意图。
其中，在该实施方式中，作为基板4，使用显示器用的玻璃基板(基样玻璃，下面也称玻璃基板)为例进行说明，但是作为适用本发明的基板4并不局限于玻璃基板，例如，可以采用硅基板、陶瓷基板、金属基板等进行精密加工的各种基板。另外，基板4在此为长方形板状，但是并不局限于此，该基板4的形状也可以是例如圆形或者椭圆形等。
在本实施方式中，如图4所示，本发明的定位工作台1设置在构成工艺流程设备3的真空装置31中设有的装卸锁定室32内。
在图4中，真空装置31由装卸锁定室32、传输室33及第1～3处理室34a、34b、34c(腔室)构成。符号35a是在装卸锁定室32上设置的大气阀门，在将基板4从真空装置31之外搬入装卸锁定室32时、或将基板4从装卸锁定室32向真空装置31外搬出时，该大气阀门开关。另外，35b是将装卸锁定装置32与传输室33之间开闭的阀门，35c、35d、35e是将第1～3处理室34a、34b、34c与传输室33之间开闭的阀门。在传输室33内设有用于移动基板4的机器人36(基板移送装置，下面也称为真空机器人)，通过该真空机器人36将基板4在装卸锁定装置32内的定位工作台1与处理室34a、34b、34c之间进行移送。另外，伴随着贴膜等的处理工序，在将从处理室取出的基板4搬入到其他处理室(或者搬入到原来的处理室)时，从处理室取出的基板4暂时经过在定位工作台1的定位后再进入到其他的处理室。
工艺流程设备3是由设置在真空装置31外的箱37、机器人38(基板移送装置，下面也称大气机器人)及上述真空装置31组成。大气机器人38从箱37取出基板4并经过大气阀门35a将其载置到定位工作台1，由此将基板4从真空装置31外向装卸锁定室32内的定位工作台1搬入。大气机器人38也进行将定位工作台1上的基板4向真空装置31外搬出的作业。
在此，大气机器人38与参照图5说明的移送机器人103同样，在将基板4载置于可在XYZ方向上移动的可动臂38a(参照图2)的状态下对基板4进行输送，但并不局限于此，可以采用各种结构的机器人。
另外，箱37起到将实施处理的基板4搬入的搬入台的功能。
箱37、定位工作台1及大气机器人38构成本发明的基板定位设备。
如图1、图2所示，定位工作台1包括载置基板4的载置台11；自由滚珠轴承12(下面也称侧面自由轴承)，其设置在该载置台11外周部的多处位置上，通过与所述载置台11上载置的基板4的端面41抵接而使所述基板4定位在所述载置台11上所希望的位置上。
所述载置台11具有工作台主体13和安装在该工作台主体13的上面13a上的突出的多个自由滚珠轴承14(下面，也称压力自由轴承)，通过所述多个压力自由轴承14把该载置台11上载置的基板4支承在水平或者大致水平的支持面F(假想面)上。另外，在工作台主体13的外周围部上向工作台主体13上方突出而设有用于安装侧面自由轴承12的安装台15，所述压力自由轴承14安装在工作台主体13上，使自由旋转的滚珠14b向位于所述安装台15包围的内侧的工作台主体上面13a的上方突出。
另外，图示例的载置台11的工作台主体13平面看为长方形状(参照图1)，但是在本发明中并不局限于此，例如，也可以采用平面看为圆形、椭圆形等形状。
所述侧面自由轴承12具有滚珠支承体12a(支架)和由该滚珠支承体12a自由回转地支承的滚珠12b，并且将所述滚珠支承体12a固定安装在载置台11外周部的安装台15上。该侧面自由轴承12安装在工作台主体13的安装台15的内面15a侧(与安装台15包围的内侧空间S相对的一侧)，所述滚珠12b从滚珠支承体12a突出的部分位于比安装台内面15a更靠内侧的空间S侧。另外，如图3所示，该侧面自由轴承12的滚珠12b的中心配置在所述载置台11支承所述基板4的支承面F的延长上。因此，侧面自由轴承12的滚珠12b使滚珠12b从滚珠支承体12a突出的突出量最大的部分与支承面F一致而进行定位。
在该定位工作台1中，由各个侧面自由轴承12的滚珠12b(详细地说，滚珠12b从滚珠支承体12a突出的突出量最大的部分)包围的内侧区域是配置该定位工作台1的载置台11上载置的基板4的基板定位区域M，通过将载置台11上载置的基板4配置在基板定位区域M，由该定位工作台1的各个侧面自由轴承12的滚珠12b以所希望的精度相对定位工作台1进行定位。
如图2、图3所示，基板定位区域M的尺寸L(具体地说，XY尺寸。图2的尺寸L是表示Y方向的尺寸)比基板4的尺寸t[具体地说，纵横尺寸。图2的尺寸t表示长方形板状的基板4的纵方向(短边)的尺寸]稍大，根据基板定位区域M的尺寸L与基板4的尺寸t之差(L-t)，决定基板定位区域M配置的基板4相对定位工作台1的定位精度。对于在基板定位区域M配置的基板4，该定位精度基于沿着以基板定位区域M的目标位置(以下称为基准位置，误差为0)为基准的支承面F的方向上的基板4的位置偏差容许范围(图2所示的尺寸c1、c2)而设定。另外，图2所示的尺寸c1及尺寸c2都是基准位置配置的基板4的端面41与相对该端面41的位置配置的侧面自由轴承12的滚珠12b(滚珠12b从滚珠支承体12a(后述)突出的最大部分(点))之间的距离。
基板4相对定位工作台1的定位精度，例如可以设定到±0.1～0.7mm左右，也可以设定成比这更微小的级别。
侧面自由轴承12能够起到通过所述滚珠12b的旋转将与所述滚珠12b从所述滚珠支承体12a突出的部分的上方抵接的基板4向基板定位区域M引导的功能。因此，当基板4从载置台11的上方下降进入基板定位区域M时，则在下降途中即使基板4的端部与侧面自由轴承12的滚珠12b抵接，通过滚珠12b的旋转也能够将基板4顺畅地导向基板定位区域M，配置在基板定位区域M。
通过大气机器人38(参照图4)把基板4搬入到定位工作台1进行定位的动作(基板的定位方法)如下进行，即，从箱37中取出基板4，移动载置该基板4的可动臂38a，如图2所示，将基板4配置在定位工作台1的基板定位区域M的上方，接着，降下可动臂38a，将基板4放置于基板定位区域M中。
伴随着可动臂38a从定位工作台1的上方的下降，载置于可动臂38a上的基板4也随之下降，但是，基板4在抵接到载置台11的压力自由轴承14的滚珠14b时(指到达支承面F)停止下降。由于将基板4放置在基板定位区域M，可通过基板定位区域M周围的各个侧面自由轴承12(详细地，滚珠12b)以所希望的精度进行定位(沿着支承面F的方向的定位)。另一方面，可动臂38a在基板4停止下降之后继续下降，进入工作台主体13上形成的臂收纳槽13b时停止下降。由此，可动臂38a不与压力自由轴承14上支承的基板4接触，可动臂38a不影响在压力自由轴承14上的基板4的定位。
另外，如前所述，即使在下降途中基板4的端部从基板定位区域M偏离而与侧面自由轴承12的滚珠12b抵接，由于通过滚珠12b的旋转而将基板4向基板定位区域M引导，故能够顺畅地进行基板4向基板定位区域M的配置。
另外，作为大气机器人38，在从载置台11的上方将基板4搬入基板定位区域M时，采用不约束基板4在可动臂38a上的横向移动、不产生由于与侧面自由轴承12的滚珠12b的接触而对基板4的定位带来的不良影响的结构。作为大气机器人38，可以采用通过可动臂38a以外的输送部件输送基板4的构成，但需要不产生由于与侧面自由轴承12的滚珠12b的接触而对基板4的定位带轮的不良影响。
根据该定位工作台1，将从该定位工作台1的上方降下的基板4收放到基板定位区域M的同时，通过基板定位区域M周围的各个侧面自由轴承12(详细地，滚珠12b)完成基板4的定位，由此，能够大大缩短基板4的定位所需时间，可以大幅度地提高定位效率。另外，不需要以往使用的用于横向移动基板的横向进给装置，由于可通过非常简单的构成实现基板4的定位，故可以大幅度地减少定位工作台1的定位工序中颗粒的发生，具有保持设置定位工作台1的腔室(装卸锁定室32)内的高清洁度的优点。
另外，在本发明中，采用由导电性树脂材料形成的滚珠12a和具有与所述滚珠12a接触的接地用通电部的滚珠支承体12a构成的所述侧面自由轴承12，也可以防止在基板4与滚珠12a接触时由于基板4所带的静电而产生电火花。
如图3所示，侧面自由轴承12，在筒状盒12d和盖12e组成的滚珠支承体12a的内部收纳滚珠12b的一半程度，另外，构成在滚珠支承体12a收纳多个与滚珠12b相接的转动自由的小球12f的结构。作为侧面自由轴承12的构成部件，例如，采用由导电性树脂材料形成的滚珠12b、由不锈钢等的导电金属形成的小球12f、由不锈钢等的导电金属形成的或者收纳电线等构成的通电电路(包括与小球12f相接来确保导电的接触部)的筒状盒12d、以及由小球12f和筒状盒12d构成的接地用通电部。通过将侧面自由轴承12外部的接地用电路与接地用通电部连接，可以防止基板4与滚珠12b接触时产生电火花。
由于产生电火花是造成基板4损伤的原因，故通过采用上述结构的侧面自由轴承12，可以防止由电火花引起的基板4的损伤，可以实现产品成品率的提高等。
而且，作为形成滚珠12b的导电性树脂材料，可以采用在基础树脂中分散混入导电金属填充物的材料，或者在基础树脂中添加防止带电的聚合物的材料等，通过这些材料而使滚珠12b具有103～×1010Ω/口的表面电阻率。作为基础树脂，可以采用PAI(聚酰胺亚胺)、PBI(聚苯并咪唑)、PCTFE(聚氯三氟乙烯)、聚醚醚酮、PEI(聚醚酰亚胺)、PI(聚酰亚胺)、PPS(聚苯硫醚)、蜜胺树脂及芳香族聚酰胺树脂(芳族聚酰胺树脂)等。另外也可以使用LCP(液晶聚合物)、PBT(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PES(聚醚砜)等其他的树脂。考虑相对真空装置内的环境的特性稳定性等的方面，优选ベスペル(デユポン公司的芳香族聚酰胺的注册商标)或者PBI。
另外，在本发明中，具有可以缓和大气机器人38要求的定位精度(通过大气机器人38输送基板4的输送精度)的优点。
即，若为上述构成的定位工作台1，通过大气机器人38的可动臂38a的移动而将基板4从各个侧面自由轴承12的滚珠12b的上方下降时，由于基板4的外周部只要载置在侧面自由轴承12的滚珠12b从滚珠支承体12a突出的部分的上面即可通过滚珠12b的旋转而将基板4导向基板定位区域M，故无需将下降到侧面自由轴承12的滚珠12b附近的基板4的位置收放到基板定位区域M的范围中。大气机器人38在将从各个侧面自由轴承12的滚珠12b的上方下降的基板4放置到比所述基板定位区域M扩展各个侧面自由轴承12的滚珠12b从滚珠支承体12a突出量(突出尺寸P)的范围(基板接收区域U)的状态下，只要使该基板下降到基板定位区域M即可，故与为了放置于基板定位区域M的范围中而保持基板4的定位精度不变地移动基板4的情况相比，可以缓和输送精度。
在图2中，所述基板接受区域U是由载置台11上的各个侧面自由轴承12的滚珠支承体12a(详细地说，各个滚珠支承体12a相对基板定位区域M的一侧的端面12c。更详细地说，滚珠支承体12a的盖12e的端面)包围的内侧区域，位于各个侧面自由轴承12的滚珠12b的上方。另外，换言之，各基板接受区域是由各个侧面自由轴承12的滚珠12b从滚珠支承体12a(收纳滚珠12b的一半程度)突出的部分的最顶部(点)包围的内侧区域。
通过大气机器人38使基板4从各个侧面自由轴承12的滚珠12b的上方下降时，若确保将基板4可靠地放置于基板接受区域U的范围内的定位精度(输送精度)，则基板4不与侧面自由轴承12的滚珠支承体12a等接触，可以使基板4下降到基板定位区域M，基板4能够以相对于定位工作台1的希望的定位精度配置在基板定位区域M。
具体实施例若基板定位区域M中的基板4的水平方向的定位精度为±0.5mm(图2的c1及c2为0.5mm)，侧面自由轴承12的滚珠12b的突出尺寸P为2.5mm，则通过大气机器人38把基板4搬入基板接受区域U时的基板4的水平方向位置的容许误差范围为±3.0mm。换句话说，使基板4的水平方向位置收纳在±3.0mm地通过大气机器人38把基板4搬入接受区域U后，如果下降基板4，则相对定位工作台1能够以±0.5mm的精度对基板4进行定位。
近年来，显示器用的基样玻璃等的玻璃基板4的大型化不断地在发展。广泛使用的基样玻璃的尺寸在用作液晶显示器时为1500mm×1800mm，厚度为0.3～0.7mm左右，并且有进一步大型化的趋向。
这样，用机器人输送薄且大型的玻璃基板4并由定位工作台进行定位时，需要有防止玻璃基板4挠曲的措施。例如，如图2例所示，本实施方式的大气机器人38的结构为在插入到玻璃基板4的下面的可动臂38a上载置玻璃基板4进行输送，但是即使充分地确保机器人自身的输送精度，也很难消除由于玻璃基板4的挠曲产生的定位误差。另外，如图5所示，在通过与定位计抵碰来对玻璃基板进行定位的定位工作台上，由于向定位计的碰触力而使玻璃基板发生部分的挠曲，可能会影响玻璃基板的平面度。
对此，在本发明中，通过各个侧面自由轴承12的滚珠12b将从载置台11周围的各个侧面自由轴承12的滚珠12b的上方下降的基板4一边从基板接受区域U导出一边引入基板定位区域M，载置到载置台11上的支承面F上，仅仅由此即可使基板4以所希望的精度相对载置台11(即定位工作台1)定位，故能够吸收由于玻璃基板的挠曲而产生的精度误差，简单地实现高精度的定位。如果将下降到基板定位区域M的基板4定位在所述基板接受区域U的范围内，则能够通过下降简单地实现高精度的定位，即使存在由于玻璃基板的挠曲产生的误差，也可以简单且可靠地实现高精度的定位。另外，仅仅通过各个侧面自由轴承12的滚珠12b一边导向一边把基板4下降到基板定位区域M，即可完成定位，所以可以解消由于抵碰定位计的碰触力而使玻璃基板产生部分挠曲所造成的不良情况，可以维持稳定玻璃基板的平面度。
在本发明的定位工作台1中，由于通过压力自由轴承14对载置台11的支承面F上载置的玻璃基板4进行支承，故即使可动臂38a上的玻璃基板4在挠曲的状态下降到支承面F上，通过一边旋转压力自由轴承14的滚珠14b一边消除挠曲而将玻璃基板4载置到支承面F上，最终在几乎完全消除挠曲的状态下载置在支承面F上。由此，在定位区域M的定位完成时，确保玻璃基板4的高平面度。由于对载置在支承面F上的玻璃基板4并非施加用于横向进给的外力等，故可以稳定维持玻璃基板的平面度。
在此，压力自由轴承14作为对载置在该载置台11上的基板4进行支承并允许其在沿所述支承面F的方向上变位的基板支承机构而起作用。但是，作为基板支承机构并不限于压力自由轴承14，例如，可以采用如下结构等，即，载置台上多处突出设置的支板(包括压力自由轴承)的上面载置基板4，通过从载置台上面开设的排气口排出的空气，利用在基板4与载置台上面之间形成空气层(比大气压稍高的高压)支承基板4的一部分载重，由此不约束支板上支承的基板4的横向移动(沿着由多个支板支承基板4的面即支承面F(假想面)的方向移动)。
在真空装置31内的贴膜等工序中，将从处理室取出的基板4载置在装卸锁定室31(参照图4)内设置的定位工作台上并重新定位后，向进行下一个工序的处理室搬入时，通过本发明的定位工作台1也能简单且短时间得到高的定位精度，并且也可以维持基板4的平面度。
另外，作为适用于本发明的基板，并不局限于液晶显示器用的玻璃基板(基样玻璃)，也可以是，例如PDP用的玻璃基板、硅基板、陶瓷基板、金属基板。
本发明的定位工作台的设置位置不限于装卸锁定室内，只要根据基板定位的必要性适当设定即可，没有特别限制。例如，可以设置在基板搬入处理室的搬入路径或者搬出路径的途中(例如，在所述真空装置31外(大气中)、基板搬入真空装置31的搬入口(大气阀门)附近等)或处理室等。另外，本发明的定位工作台，例如也可以在向大气中的加工装置搬入的基板的定位或基板在收纳于搬送盒前的定位等中利用。
以上，对本发明的优选实施例进行了说明，但是本发明并不局限于这些实施例。在不脱离本发明的宗旨的范围内，可以进行构成的附加、省略、置换及其他变更。本发明并不局限于上述说明，仅依据所述的权力要求范围限定。
产业上的可利用性根据本发明的基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法，可以精密地、短时间且简单地进行显示器用基样玻璃、硅基板(薄板)等基板的定位。
权利要求
1.一种基板用定位工作台，其具有载置基板的载置台；自由滚珠轴承，其设置在所述载置台外周部的多处位置，通过对从所述载置台的上方下降而载置于所述载置台上的基板的外周部进行引导，使所述基板定位在所述载置台上设定的基板定位区域内，其特征在于，所述自由滚珠轴承由滚珠支承体和自由旋转地支承于该滚珠支承体上的滚珠构成，所述滚珠的中心配置在所述载置台支承所述基板的支承面的延长上，或者，设置在所述载置台上载置的基板的板厚度尺寸的范围内比所述支承面靠上方的位置，可以通过所述滚珠的旋转将与所述滚珠从所述滚珠支承体突出的部分抵接的基板引导到由各个自由滚珠轴承的滚珠包围的内侧的所述基板定位区域。
2.如权利要求1所述的基板用定位工作台，其特征在于，所述自由滚珠轴承的所述滚珠至少表面由导电性材料形成，在所述自由滚珠轴承的所述滚珠支承体上设有与所述滚珠连接的接地用通电部。
3.如权利要求1所述的基板用定位工作台，其特征在于，在所述载置台上设有基板支承机构，该基板支承机构对载置于所述载置台上的基板进行支承并允许其在沿着所述支承面的方向上变位。
4.如权利要求3所述的基板用定位工作台，其特征在于，所述基板支承机构是自由滚珠轴承。
5.一种基板用定位设备，其特征在于，具有搬入基板的搬入台；权利要求1所述的基板用定位工作台；从所述搬入台取出基板并将其载置于所述基板用定位工作台的载置台上的基板移送装置。
6.一种基板的定位方法，其特征在于，在所述载置台的外周部的多处配置的自由滚珠轴承即侧面自由轴承的滚珠的上方，使权利要求1所述的基板用定位工作台的所述载置台上载置的基板，从确保比所述基板定位区域扩展各个侧面自由轴承的滚珠从滚珠支承体的突出量的区域即基板接受区域之上下降而进入所述基板接受区域，然后，在各个侧面自由轴承的滚珠上引导该基板的同时使其下降，配置在所述基板定位区域。
全文摘要
一种基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法。该基板用定位工作台具有载置基板的载置台；自由滚珠轴承，其设置在所述载置台外周部的多处位置，通过对从所述载置台的上方下降而载置于所述载置台上的基板的外周部进行引导，使所述基板定位在所述载置台上设定的基板定位区域内。所述自由滚珠轴承由滚珠支承体和自由旋转地被该滚珠支承体支承的滚珠构成，而且，所述滚珠的中心配置在所述载置台支承所述基板的支承面的延长上，或者，设置在所述载置台上载置基板的板厚度尺寸的范围内比所述支承面更上方的位置。
文档编号H01L21/687GK1938843SQ200580009849
公开日2007年3月28日 申请日期2005年4月4日 优先权日2004年4月5日
发明者井口薰, 内田卓朗, 西之宫秀树 申请人:株式会社井口机工制作所