专利名称：半导体晶片中埋入式电阻器的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体器件的制作方法，特别是涉及半导体晶片中埋入式 电阻器的制作方法。
背景技术：
在当前的半导体工业中，需要在衬底上形成导电凸点，具体是在半导 体器件上形成焊料凸点。焊料凸点通常形成在集成电路芯片上，由此形成
可以倒装焊的半导体芯片(Flip chip)，而且，当前通用的半导体芯片倒 装焊技术迅速地取代了芯片面朝上用导电丝连接芯片上的各个焊盘的传 统的丝焊技术。
但是，当高速半导体器件安装到印刷电路板(PCB)中时，需要在输 入输出(Input Output, 10)附近设置大量的电阻器作为终端电阻器，由此 形成防止半导体器件运行速度延迟的滤波结构。随着10数量的增加，印 刷电路板上就没有足够的空间来安装更接近IO的大量的终端电阻器。因 而导致IO速度延迟，从而损坏了整个半导体芯片的性能。
发明内容
为了克服现有的在印刷电路板上没有足够的空间来安装更接近10的 大量的终端电阻器的困难，提出本发明。
本发明的目的是，在半导体晶片上形成具有所限定的大量埋入式电阻 器的导电凸点，代替在栅格焊料球阵列半导体芯片封装印刷电路板(BGP) 上在10附近设置的大量的终端电阻器，大量的埋入式电阻器是在半导体 晶片上形成导电凸点的工艺过程中形成的。
本发明提供在半导体晶片上形成导电凸点的工艺过程中大量埋入式 电阻器的制造方法，按照本发明方法，只需要在半导体晶片上形成导电凸 点的工艺流程中增加一个光刻、刻蚀步骤，就能形成埋入式电阻器。
本发明的半导体晶片中埋入式电阻器的制造方法，包括如下步骤 在已经形成有半导体器件结构以及焊盘的半导体晶片上顺序进行
1) 涂覆第一钝化层，然后顺序进行显影、曝光、固化；
2) 溅射淀积多层金属膜层；
3) 涂覆第一光刻胶层、曝光显影、坚固膜层；
4) 在没有被光刻胶覆盖的位置上电镀金属层；
5) 剥离光刻胶层后进行形成埋入式电阻器进行的第一次刻蚀，刻蚀曾 被光刻胶层保护的多层金属膜层，形成金属导电带；
6) 涂覆第二光刻胶层，确定要刻蚀形成埋入式电阻器的区域，刻蚀要 形成埋入式电阻器区域中的金属层中的顶层电镀金属，确定埋入式电阻 器；
7) 涂覆第二钝化层覆盖电阻器；
8) 溅射金属层作为凸点下金属，形成焊料凸点的下金属层；
9) 涂覆第三光刻胶层、曝光显影、坚固膜层，为下一工艺步骤形成光 刻胶掩模；
10) 电镀凸点金属、剥离光刻胶；
11) 进行凸点下金属UBM刻蚀； 形成焊料凸点和埋入式电阻器。
本发明中在已经形成半导体器件上形成的焊盘是铝。
根据本发明，所述的第一和第二钝化层材料是苯并环丁烯(以下简称 BCB)，或聚酰亚胺(以下简称PI)。
根据本发明，当所述的凸点金属为金时，所述的溅射多层金属膜层是 钛钨/金(TiW/Au)，所述的多层金属膜层是用物理气相淀积方法形成。
根据本发明，当所述的凸点为焊料金属时，所述的多层金属膜层是铬 /铜(Cr/Cu)，所述的多层金属膜层是用物理气相淀积方法形成。而且最 好还包括回流凸点金属和去除助焊剂的步骤。
根据本发明，所述的电镀金属层是(Au或焊料)，所述的凸点下金 属为TiW/Au或Cr/Cu。
根据本发明，所述的凸点下金属为(TiW/Au或Cr/Cu)。
从上述的本发明的技术方案中看到，在半导体晶片上形成埋入式电阻
器的主要技术措施是在刻蚀去除一形成埋入式电阻器的区域中多层金属
层Cr/Cu或TiW/Au中的顶层铜层或顶层金(Au)层的Cu薄膜或金(Au) 薄膜。由于多层金属层Cr/Cu的电阻率小于Cr金属层的电阻率，多层金 属层TiW/Au的电阻率小于多层金属层TiW的电阻率，因此在半导体晶片 中形成了电阻器，所形成的电阻器在随后的步骤中被钝化膜掩埋，从而在 半导体晶片中制造出埋入式电阻器。
本发明的埋入式电阻器按照集成电路中的薄层电阻器的设计原则设 计，即，电阻值等于一个正方形导电层的薄层电阻值R。 (Q/口)与构成电 阻器的导电带的长度除以导电带的宽度所获得的正方形(□)数量的乘积， 即"R。 (Q/口) x口的数量"。构成埋入式电阻器的导电带的薄层电阻值R。 (Q/口)取决于导电带的构成材料和膜层厚度。
按本发明的埋入式电阻器的电阻值的范围是50 75Q (欧姆)。构成 埋入式电阻器的导电带的宽度12 20nm。构成埋入式电阻器的导电带的长 度是240~600,。
用本发明方法只是在半导体晶片上形成必不可少的导电凸点的工艺 过程中增加了一个刻蚀去除要形成埋入式电阻器的区域中的多层金属层 的顶层子层的步骤，即步骤6。所用的刻蚀方法是本行业通用的刻蚀方法， 增加一个工艺步骤所造成的成本增加极少。但是用本发明方法，将要安装 在封装印刷电路板上的终端电阻器直接制造在半导体晶片中，减少了高速 半导体器件在封装印刷电路板上占据的空间，提高了封装密度，防止延迟 高速半导体器件的运行速度，能保证高速半导体器件的性能不受到损坏。
通过结合附图进行的以下描述可以更好地理解本发明目的和本发明 的优点，附图是说明书的一个组成部分，附图与说明书的文字部分一起说 明本发明的原理和特征，附图中显示出代表本发明原理和特征的实施例。 附图中
图1是根据本发明的第一实施例，在形成有铝焊盘的晶片上形成钝化
层的半导体晶片结构的剖视图2是根据本发明的第一实施例，在钝化层上形成了 Cr/Cu层的半导
体晶片结构的剖视图3是根据本发明的第一实施例，形成第一光刻胶图案后的半导体晶
片结构的剖视图4是根据本发明的第一实施例，在没有光刻胶保护的区域电镀金属 后的半导体晶片结构的剖视图5是根据本发明的第一实施例，剥离光刻胶后刻蚀曾被光刻胶保护 的金属层后的半导体晶片结构的剖视图6A是根据本发明的第一实施例，刻蚀形成电阻器后的半导体晶片 结构的剖视图6B是根据本发明的第一实施例，制造的半导体晶片上的导电带结 构的局部视图6C是根据本发明的第一实施例，制造的半导体晶片上的埋入式电 阻器结构的局部视图7是根据本发明的第一实施例，电阻器被钝化层覆盖的半导体晶片 结构的剖视图8是根据本发明的第一实施例，溅射凸点下金属后的半导体晶片结 构的剖视图9是根据本发明的第一实施例，形成第三光刻胶图案后的半导体晶 片结构的剖视图IOA是根据本发明的第一实施例，电镀形成焊料凸点金属后的结构 剖视图IOB是根据本发明的第一实施例，剥离光刻胶和进行凸点下金属刻 蚀后的结构剖视图IOC是根据本发明的第一实施例，进行回流和去除助焊剂后形成的 焊料凸点和埋入式电阻器的结构剖视图IIA是根据本发明的第二实施例，制造的半导体晶片中电镀形成金 凸点后的结构剖视图IIB是根据本发明的第二实施例，剥离光刻胶和进行凸点下金属刻 蚀后形成的金凸点和埋入式电阻器的结构剖视图12是根据本发明的第一实施例在形成焊料凸点的工艺中形成的电
阻器的平面图13A是根据本发明的另一实施例的埋入式电阻器的平面设计图；和 图13B是根据本发明的另一实施例的埋入式电阻器在电路图中的示 意图。
附图标记说明
1
2焊盘
3钝化层
4第一铬铜(Cr/Cu)层
41铬层
42 铜层
5光刻胶图案
6电镀金属层
7电阻器
71电阻器
72电阻器
8钝化层
9第二铬铜(Cr/Cu)层
10第三光刻胶
11电镀铜
12电镀镍
13焊料凸点金属
4'第一钛钨/金(TiW/Au)层
4"多层金属层
9'第二钛钩/金(TiW/Au)层
11'电镀金
13'金凸点金属
具体实施例方式
以下用具体实施例说明本发明的在半导体晶片中制造埋入式电阻器 的方法。本发明方法是在半导体晶片上形成导电凸点的工艺过程中制造埋 入式电阻器。
实施例 1
本实施例中，是在半导体晶片上形成焊料凸点的工艺过程中在半导体 晶片中制造埋入式电阻器。其制作过程如下
在己经形成有半导体器件器件结构以及铝焊盘2的半导体晶片1上顺 序进行
1) 如图l所示，涂覆苯并环丁烯材料作为钝化层3，然后顺序进行曝 光、显影、固化；
2) 如图2所示，用物理气相淀积方法，溅射淀积多层金属膜层铬/铜 (Cr/Cu)层4，其中，先淀积络层41，然后淀积铜层42;
3) 如图3所示，涂覆第一光刻胶层5，进行曝光、显影、坚固膜层， 为下一工艺步骤形成光刻胶图案；
4) 如图4所示，在没有被光刻胶覆盖的位置上镀金属膜层6 (铜层)， 其他部分被光刻胶层保护；
5) 如图5所示，剥离第一光刻胶层5后，进行形成埋入式电阻器进行 的第一次刻蚀，刻蚀金属层4的曾被第一光刻胶层5保护的部分，形成金 属导电带，请参见图6B中的6;
6) 如图6A所示，进行另一个光刻工艺，确定要刻蚀形成埋入式电阻 器的区域，刻蚀要形成埋入式电阻器区域中的金属层Cr/Cu层4中的顶层 铜，去除Cr/Cn多层金属层中的铜(Cu)层中的铜薄金属膜，经过该步骤 确定埋入式电阻器的形状确定埋入式电阻器7，请同时参见图6C中的7;
7) 如图7所示，再涂覆苯并环丁烯材料作为第二钝化层8，覆盖电阻 器7，形成埋入式电阻器；
8) 如图8所示，再溅射金属(Cr/Cu)作为凸点下金属层9，形成焊料 凸点的下金属层；
9) 如图9所示，涂覆第三光刻胶层IO，进行曝光、显影、坚固膜层， 为下一工艺步骤形成光刻胶掩模；
10) 如图10A所示，电镀焊料13及需要时的助焊剂后，剥离光刻胶， 并对凸点下金属9进行刻蚀，如图10B所示；
11) 对焊料凸点进行回流和去除助焊剂，由此形成焊料凸点和埋入式 电阻器。
按本实施例制作的埋入式电阻器的电阻值的范围是50 75Q (欧姆)。 构成埋入式电阻器的导电带的宽度12 20Mm。构成埋入式电阻器的导电带 的长度是240 600|am。
实施例2
本实施例中，是在半导体晶片上形成金凸点的工艺过程中，在半导体 晶片中制造埋入式电阻器，其制作过程如下
在已经形成有半导体器件结构以及铝焊盘2的半导体晶片1上顺序进
行
1) 可以参考实施例1的图1所示，涂覆苯并环丁烯或聚酰亚胺材料作 为钝化层3，然后顺序进行曝光、显影、固化；
2) 可以参考实施例1的图2所示，只是与实施例1的淀积的材料不同，
本实施例是用物理气相淀积方法，溅射淀积多层金属膜层钛钩/金
(TiW/Au)层4'，其中，先淀积钛钨，然后淀积金；
3) 参考实施例1的图3所示，涂覆第一光刻胶层5，进行曝光、显影、 坚固膜层，为下一工艺步骤形成光刻胶图案；
4) 参考实施例1的图4所示，在没有被光刻胶覆盖的位置上电镀金 (Au)膜层6'，其他部分被光刻胶层保护；
5) 参考实施例1的图5所示，剥离第一光刻胶层5后，进行形成埋入 式电阻器进行的第一次刻蚀，刻蚀金属层4'的曾被第一光刻胶层5保护 的部分，形成金属导电带，也可参考图6B中的6;
6) 参考实施例1的图6A所示，进行另一个光刻工艺，确定要刻蚀形 成埋入式电阻器的区域，刻蚀要形成埋入式电阻器区域中的金属层 TiW/Au层4'中的顶层金，去除TiW/Au多层金属层中的金(Au)层中的 金薄金属膜，经过该步骤确定埋入式电阻器的形状确定埋入式电阻器7， 也可参考图6C中的7;
7) 参考实施例1的图7所示，再涂覆苯并环丁烯或聚酰亚胺材料作为 第二钝化层8，覆盖电阻器7，形成埋入式电阻器；
8) 参考实施例1的图8所示，只是所用材料不同，在本实施例中，溅 射金属Au/TiW作为凸点下金属层9'，形成焊料凸点的下金属层；
9) 参考实施例1的图9所示，涂覆第三光刻胶层10，进行曝光、显影、 坚固膜层，为下一工艺步骤形成光刻胶掩模；
10) 如图IIA所示，电镀金材料13'后，剥离光刻胶10，并对未被 金凸点覆盖的凸点下金属9'进行刻蚀，如图11B所示；
由此形成金凸点和埋入式电阻器。
按本实施例制作的埋入式电阻器的电阻值的范围是50iK欧姆)到75fl (欧姆)。构成埋入式电阻器的导电带的宽度12pm到2(Him。构成埋入式 电阻器的导电带的长度是240pm到600nm。
其他实施例
根据对埋入式电阻器的电阻值的具体要求可以设计构成埋入式电阻 器的导电带的图形，如图13A及图13B所示，是另两个实施例的结果，其 中埋入式电阻器71、 72都是折弯形，用这种方式可以得到具有较高电阻 值的埋入式电阻器。
以上用在半导体晶片上形成焊料凸点和金凸点的工艺过程中形成埋 入式电阻器的方法说明了在半导体晶片中制造埋入式电阻器的方法。但是 本发明不限于本文中的详细描述。本行业的技术人员应了解，在不脱离本 发明的精神和范围的前提下，本发明能以其他的形式实施，本发明还可以 有各种改进和变化，这些改进和变化都落入本发明要求保护的范围内。因 此，按本发明的全部技术方案，所列举的实施方式只是用于说明本发明而 不是限制本发明，并且，本发明不局限于本文中描述的细节。本发明要求 保护的范围由所附的权利要求书界定。
权利要求
1.半导体晶片中埋入式电阻器的制作方法，包括如下步骤在已经形成有半导体器件结构以及焊盘的半导体晶片上顺序进行1)涂覆第一钝化层材料，然后顺序进行显影、曝光、固化；2)溅射淀积多层金属膜层；3)涂覆第一光刻胶层、曝光显影、坚固膜层；4)在没有被光刻胶覆盖的位置上电镀金属层；5)剥离光刻胶层后进行形成埋入式电阻器进行的第一次刻蚀，刻蚀曾被光刻胶层保护的多层金属膜层，形成金属导电带；6)涂覆第二光刻胶层，确定要刻蚀形成埋入式电阻器的区域，刻蚀要形成埋入式电阻器区域中的金属层中的顶层电镀金属，确定埋入式电阻器；7)涂覆第二钝化层覆盖电阻器；8)溅射金属层作为凸点下金属，形成焊料凸点下金属层；9)涂覆第三光刻胶层、曝光显影、坚固膜层，为下一工艺步骤形成光刻胶掩模；10)电镀凸点金属、剥离光刻胶；11)进行凸点下金属UBM刻蚀；形成焊料凸点和埋入式电阻器。
7. 根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述的多层金属 膜层是用物理气相淀积方法形成。
8. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的电镀金属层是 钛鸨/金或铬/铜。
9. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当凸点金属为金时， 所述的凸点下金属为钛钩/金。
10. 根据权利要求l所述的方法，其特征在于，当凸点金属为焊料金 属时，所述的凸点下金属为铬/铜。
11. 根据权利要求1所述的方法形成的埋入式电阻器的导电带长度为 240 600pm，宽度为12~20pm。
12. 根据权利要求1所述的方法形成的埋入式电阻器的电阻为 50 75Q 。
全文摘要
本发明提供一种在半导体晶片中埋入式电阻器的制作方法，具体是在半导体晶片上形成导电凸点的工艺过程中埋入式电阻器的制作方法。在工艺过程中增加一个要形成埋入式电阻器的区域中的多层导电层的顶层子金属层的刻蚀步骤，去除了顶层金属子层后的金属层的电阻率大于没有去除顶层金属子层的金属层的电阻率，由此在半导体晶片中形成电阻器，该电阻器在随后的工艺步骤中被钝化层覆盖，由此形成埋入式电阻器。所制成的埋入式电阻器代替了安装到半导体器件封装印刷电路板上的终端电阻器。提高了封装密度，保证了高速半导体器件的特性不受损坏。
文档编号H01L21/02GK101114599SQ20061002951
公开日2008年1月30日 申请日期2006年7月28日 优先权日2006年7月28日
发明者丁万春, 吴明鸿, 张璋炎 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司