专利名称：：表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁和其制造方法
技术领域：
：本发明涉及即使在进行了严酷的热循环试验后，与粘接对象之间也能够保持优异的粘接强度的、表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁及其制造方法。
背景技术：
：以Nd-Fe-B系烧结磁铁为代表的R-Fe-B系烧结磁铁采用资源丰富且廉价的材料，且因为具有高的磁特性，所以目前在各种领域中使用，但因为其含有反应性高的稀土类金属R，所以具有在大气中容易被氧化腐蚀的特征。因此，在大多数情况下，R-Fe-B系烧结磁铁在其表面上形成耐腐蚀性被膜后供给实用。作为形成于R-Fe-B系烧结磁体表面的耐腐蚀性被膜，以金属被膜为首已知有各种被膜，但其中，铝蒸镀被膜不仅耐腐蚀性优异，而且与在组装零件时所需的粘接剂的粘接可靠性优异(在直至粘接剂达到本质上所具有的破坏强度为止，在被膜和粘接剂之间难以发生剥离)，因此，表面具有铝蒸镀被膜的稀土类永久磁铁例如被组装于各种电动机等而使用(专利文献1)。但是，在各种电动机中，组装于汽车用电动机的表面具有铝蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁因为使用环境的温度变化非常剧烈，所以，例如要求即使在进行了_40'C~12(TC这样的热循环试验后与粘接对象之间也能够保持良好的粘接强度，但目前为止满足该要求并不容易。其主要的理由是，由于R-Fe-B系烧结磁铁对于热产生的膨胀收6.5xl(T7。C，在垂直方向上为-1.6x1(T7。C)，因此，在对表面具有铝蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁进行热循环试验时，R-Fe-B系烧结磁铁对于受热历程的行为和其表面形成的铝蒸镀被膜对于受热历程的行为不同，由此，两者间的剥离强度(peelingstrength)因磁铁和被膜的界面产生的变形及应力而显著劣化，随之因引起界面破坏而产生粘接强度的降低。因此，期望用于解决该问题的方法，但这种方法至今仍未提出。专利文献l:特开2003-224944号公报
发明内容因此，本发明的目的在于，提供一种表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁及其制造方法，即使在进行了严酷的热循环试验后，所述磁铁也能够在与粘接对象之间保持优异的粘接强度。本发明人鉴于上述点而反复进行专心研究的结果发现，在R-Fe-B系烧结磁铁的表面形成铝或其合金的蒸镀被膜时，在成膜前期和成膜后期分别控制平均成膜速度，在达到规定的时刻之前较慢，在此之后加快，由此，可以将所形成的被膜制成具有具备下述特征的組织结构的被膜，即，可以緩和或吸收基于在磁铁和被膜之间的由热循环试验所引起的对受热历程的行为的差异而在两者的界面产生的变形及应力。基于上述见解，本发明第一方面提供一种磁铁，其是表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁，其特征在于，铝或其合金的蒸镀被膜包含从磁铁体表面向外表面宽幅地成长的柱状结晶组织，在被膜的厚度方向的从磁铁体表面至1/3的区域，具有在被膜的横向方向每lOjum存在5个~30个宽度0.01jam-1jum的晶间空隙的部分。另外，本发明第二方面在第一方面的基础上，提供一种磁铁，其特征在于，具有下述这样部分，其中，在被膜的厚度方向的磁铁体表面至l/3的区域，柱状结晶组织的结晶宽度为0.ljumljjm，在剩余的2/3的区&戈为1jutn5jam。本发明第三方面在第一或第二方面的基础上，提供一种磁铁，其特征在于，铝或其合金的蒸镀被膜的厚度为3|um~20|im。另外，本发明提供一种本发明第一方面所述的表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁的制造方法，其特征在于，在向R-Fe-B系烧结磁铁的表面进行铝或其合金的蒸镀被膜的形成时，直到达到所希望的被膜厚度的1/3的厚度为止，使平均成膜速度为0.1jim/分钟0.4jLim/分钟，在此之后使平均成膜速度为0.2jim/分钟lHim/分钟(其中，后者总是比前者快)。另外，本发明第五方面在第四方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，使用以送丝方式进行铝或其合金的蒸镀源向蒸镀材料的蒸发部的供给，且以电阻加热方式进行在蒸发部的铝或其合金的蒸镀源的蒸发的蒸镀被膜形成装置进行。根据本发明，可以提供一种表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁及其制造方法，即使进行了严酷的热循环试验后，所述磁铁也能够在与粘接对象之间保持优异的粘接强度。图1是适用于制造本发明的表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁的蒸镀被膜形成装置的一实施方式的真空处理室的内部的示意正面图(局部透视图)；图2是实施例1中在磁铁体试验片表面上形成的铝蒸镀被膜的截面照片。符号说明1真空处理室2舟皿(蒸发部)3支承载物台4舟皿支承台5圆筒形滚筒6旋转轴7支承部件8支承轴9蒸镀材料的丝10绕线盘11耐热性保护管12切口窗13输送齿轮30^皮处理物具体实施例方式本发明的表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁，其特征是，铝或其^^金的蒸镀被膜包含从磁铁体表面向外表面宽幅地成长的柱状结晶组织，在被膜的厚度方向的从磁铁体表面至1/3的区域，具有在被膜的横向方向每10jam存在5个~30个宽度0.01Um~1jam的晶间空隙的部分。在形成于R-Fe-B系烧结磁铁表面的铝或其合金的蒸镀被膜的至少一部分，通过使铝或其合金的柱状结晶从磁铁体表面向外表面宽幅(向末端变宽)地成长，换言之，使被膜的下部(靠近磁铁体表面的一侧)的铝或其合金的柱状结晶的幅宽比被膜的上部(靠近外表面的一侧)的铝或其合金的柱状结晶的幅宽窄，由此，通过使被膜的下部存在许多晶间空隙使该区域成为粗的组织结构，可以緩和或吸收基于磁铁与被膜之间的由热循环试验引起的对于受热历程的行为的差异而在两者的界面产生的变形或应力，由此，能够阻止磁^i和被膜之间的剥离强度的劣化及随之产生的界面破坏，即使在进行了热循环试验后也能够在与粘接对象之间保持优良的粘接强度。在被膜的厚度方向的从磁铁体表面至1/3的区域(从被膜的磁铁体表面至厚度1/3的区域)存在的宽度0.01jam~1iam的晶间空隙的个数过少的情况下，可能不能有效地緩和或吸收因热循环试验而在磁铁和被膜的界面产生的变形及应力，另一方面，个数过多的情况下，可能会对被膜对于磁铁表面的剥离强度带来不良影响。理想的是，在被膜的厚度方向从磁铁体表面至61/3的区域存在的宽度0.Olpm-ljam的晶间空隙的个数为被膜的横向方向每10jam有10个至25个。超过1ym的晶间空隙可能会对被膜对于磁铁的耐腐蚀性赋予效果带来不良影响，因此，期望这种晶间空隙不存在。另一方面，通过使被膜的上部的铝或其合金的柱状结晶成为宽幅的结晶，使该区域形成致密的组织结构，由此，可以阻止酸及碱及水分等从外部的入侵，由此，可以对磁铁发挥优异的耐腐蚀性赋予效果(为了提高该效果，期望对被膜的表面进行喷砂处理)。被膜的厚度方向的从磁铁体表面剩余的2/3的区域存在的0.01jnmljam的晶间空隙的个数以比至1/3的区域存在的0.01jum~1jam的晶间空隙的个数少为前提，被膜的横向方向每10jLira至多10个，优选为5个以下，由此，被膜对磁铁发挥优异的耐腐蚀赋予效果。另外，对于0.01jam~1jam的晶间空隙个数的测定，只要通过利用使用了场致发射型扫描显微镜等的观察对铝或其合金的蒸镀被膜的任意纵截面上的任意横向方向的10pm范围内存在的个数计数来进行即可。例如，被膜的厚度方向的从磁铁体表面至1/3的区域内存在的个数只要在该区域的厚度方向的中央部附近(即从磁铁体表面至1/6附近)测定即可，剩下的2/3区域内存在的个数只要在该区域的厚度方向的中央部附近(即从磁铁体表面至4/6附近)测定即可。在测定时，优选事先通过离子束截面加工等被膜的截面不变形的加工方法进行截面力口工。形成于R-Fe-B系烧结磁铁的表面的铝或其合金的蒸镀被膜的至少一部分的柱状结晶组织的结晶宽度在被膜的厚度方向的从磁铁体表面至1/3的区域，为0.1jam~1jum，在剩余的2/3的区域为1jum~5jLim,这在可以有效地緩和或吸收由于热循环试验在磁铁和被膜的界面所产生的变形及应力方面是优选的。具有以上这样的特征的组织结构的铝或其合金的蒸镀被膜可以通过例如直到达到所希望的被膜厚度的1/3的厚度为止，使平均成膜速度为0.1jam/分钟0.4mm/分钟，在此之后使平均成膜速度为G.2ym/分钟1jum/分钟，优选0.3um/分钟0.6um/分钟(其中，后者总是比前者快)，形成于R-Fe-B系烧结磁铁的表面。这样，通过在成膜前期和成膜后期分别控制平均成膜速度，进行所希望的成膜的理由被推测为如下。即，成膜马上开始之前的R-Fe-B系烧结磁铁的表面通过经由事先的加工及清洗工序，具有Ra为0.8|ara~1.5jam程度的凹凸。另夕卜，R-Fe-B系烧结磁铁的表面组织包含R2FeHB相的部分和R-富(rich)相的部分，R2Fe14B相的部分和R-富相在被氧化的容易度方面有差异，R-富相容易被氧化。在铝蒸镀被膜的形成过程中，通过在磁铁的表面依次堆积铝粒子，在铝合金蒸镀被膜的形成过程中，通过在磁铁的表面依次堆积构成铝合金的铝粒子和其它金属粒子，由此，柱状结晶成长，但由于磁铁的表面如上述那样无论形状还是组织方面都不均匀，因此，在平均成膜速度慢的成膜前期，产生铝粒子(及其它金属粒子)稳定地堆积的部分和不稳定的部分，铝粒子(及其它金属粒子)优先堆积于凸部及R2Fe14B相的部分上，与之相对，在凹部及R-富相的部分上难以堆积，其结果是，凸部及R2FenB相的部分上成长的铝或其合金的柱状结晶宽度窄，在凹部及R-富相的部分上适度的晶间空隙增多。另一方面，在平均成膜速度比成膜前期快的成膜后期，由于已成长的柱状结晶上迅速且大量地堆积铝粒子(及其它金属粒子)，因此，结晶宽度逐渐加宽，晶间空隙只减少该加宽的量。因此，这样形成的铝或其合金的蒸镀被膜的组织结构在下部粗，在上部致密。向上述R-Fe-B系烧结磁铁的表面形成铝或其合金蒸镀被膜的方法例如可使用下述蒸镀被膜形成装置容易地实施，即，以送丝方式进行铝或其合金的蒸镀源向蒸镀材料的蒸发部的供给，在蒸发部的铝或其合金的蒸镀源的蒸发以电阻加热方式进行的蒸镀被膜形成装置，例举一例时，提供特开2001-335921号公报中所记载的蒸镀被膜形成装置，其在真空处理室内具备蒸镀材料蒸发部、和用于收容在其表面蒸镀蒸镀材料的被处理物的由网状物形成的筒形滚筒，其中，在以水平方向的旋转轴线为中心旋转自如的支承部件的旋转轴线的圆周方向的外方公转自如地支承筒形滚筒，通过使支承部件旋转，使以支承部件的旋转轴线为中心进行公转运动的筒形滚筒和蒸发部之间的距离可变自如，同时，将丝状蒸镀材料边向加热的蒸发部连续地供给边使其蒸发，由此，可在^皮处理物的表面形成蒸镀被膜。图1是特开2001-335921号公报中记载的上述蒸镀被膜形成装置的一个实施方式的真空处理室的内部的示意正面图(局部透视图)。在与图略的真空排气系流连接的真空处理室1的内部上方并设有两个以水平方向的旋转轴线上的旋转轴6为中心旋转自如的支承部件7，在该支承部件7的旋转轴6的圆周方向的外方，利用支承轴8公转自如地环状支承有6个由不锈钢制的网状金属网形成的圆筒形滚筒5。另外，在真空处理室1的内部下方，在立设于支承载物台3上的舟皿支承台4上配设有多个作为使蒸镀材料蒸发的蒸发部的舟亚2。在支承栽物台3的下方内部，在绕线盘IO上巻绕保持有蒸镀材料的丝9。蒸镀材料的丝9的前端通过面向舟皿2的内面的耐热性保护管11引导至舟皿2的上方。在保护管11的局部设置有切口窗12，与该切口窗12对应设置的输送齿轮13与蒸镀材料的丝9直接接触，通过输送蒸镀材料的丝9,不断地向舟皿2内供给蒸镀材料，通过调节蒸镀材料的丝9的输送速度，可以自如地控制蒸镀被膜的成膜速度。另外，当使支承部件7以旋转轴6为中心旋转时(参照图1中箭头)，在支承部件7的旋转轴6的圆周方向外方通过支承轴8支承的圆筒形滚筒5与其对应地以旋转轴6为中心进行公转运动。其结果是，各圆筒形滚筒和配置于支承部件下方的蒸发部之间的距离发生变动，发挥以下效果。即，位于支承部件7下部的圆筒形滚筒接近蒸发部。因此，对于在该圆筒形滚筒内收容的被处理物30，在其表面有效地形成蒸镀被膜。另一方面，被收容于距蒸发部远的圆筒形滚筒内的被处理物从加热状态释放并冷却与远离蒸发部的距离对应的量。因此，在该期间形成于其表面的蒸镀被膜的软化被抑制。这样，若使用该蒸镀被膜形成装置，则可以同时实现蒸镀被膜的有效形成和所形成的蒸镀被膜的软化抑制。形成于R-Fe-B系烧结磁铁表面的铝或其合金的蒸镀被膜的厚度优选为3|am~20|am。厚度小于3jara时，可能不能得到对于磁铁的优异的耐腐蚀性赋予效果等，另一方面，厚度超过20jum时，成膜所需的时间变长，由此，形成于被膜下部的宽度窄的铝或其合金的柱状结晶向横向方向成长，其结果是被膜下部的晶间空隙减少，可能破坏^a的组织结构。另外，本发明的R-Fe-B系烧结磁铁只要是至少包含R和Fe和B作为构成成分的烧结磁铁，则没有特别限定。另外，在形成于其表面的蒸镀被膜为铝合金蒸镀被膜的情况下，铝以外的金属成分的含量优选为10质量°/。以下。例如含有3质量％~7质量°/。的镁作为铝以外的金属成分的铝合金蒸镀被膜在耐盐水性优异这一点上是理想的。铝或其合金的蒸镀被膜中也可以含有不可避免地混入的微量成分。实施例下面，通过实施例对本发明进行更详细说明，但并不解释为本发明只限于此。另外，以下的实施例和比较例例如美国专利4770723号公报及美国专利4792368号公报中所记载，使用下述烧结磁铁进行，即，将公知的铸造坯料粉碎，并在微粉碎后进行成形、烧结、热处理、表面力口工，由此得到Nd"Fe"B6Cch組成(ato/o)的长50mmx宽20mmx厚2腿尺寸的烧结磁铁(以下称作磁铁体试验片)。实施例1(表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片的制造)使用图1所示的蒸镀被膜形成装置如下进行。另外，配置于真空处理室内的12个圆形滚筒使用直径110mmx长600mm，由不锈钢制网状金属网(开口率约80%、网眼形状一边为10mm的正方形、线宽2mm)制作的滚筒。对于磁铁体试验片进行喷砂加工，除去前工序的表面加工中生成的试验片表面的氧化层。将除去了该氧化层的磁铁体试验片分别以表1所示的个数收容于圆筒形滚筒内，将真空槽内真空排气到全压达到5xl(T卬a以下后，导入Ar气体以使全压达到1Pa，之后，使滚筒的旋转轴以5.Orpm旋转，同时在偏压-0.3kV的条件下进行15分钟辉光放电，将磁铁体试验片的表面清洁化。接着，在Ar气体压力lPa、偏压-O.3kV的条件下，使滚筒的旋转轴以5.Orpm旋转，同时以铝蒸镀被膜的成膜速度为表1所示的速度的方式调节铝丝的输送速度，将铝丝向蒸发部连续供给，并将其加热蒸发并离子化，进行离子镀，在磁铁体试验片的表面形成铝蒸镀被膜。(表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片的评价)对如上操作得到的表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片进行玻璃喷砂处理，使被膜的表面致密化，之后使用粘接剂粘接于磁轭材料，得到热循环试验用粘接试验体。另外，磁轭材料使用对表面进行了喷砂加工的碳钢S45C，粘接剂使用热固化型环氧粘接剂XNR3628(六力'七少厶亍少夕义社制)。粘接剂的厚度通过在磁轭材料和表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片之间夹设d)200mm的镍铬耐热合金线来规定。对于粘接试验体的热循环试验使用气相型冷热冲击试验机NT510(楠本化成社制)以120。C30分钟-40°C30分钟为一循环进行。粘接试验体的温度通过向粘接试验体插入热电偶来确认。通过对在进行热循环试验前和进行了200循环后的粘接试验体的粘接强度进行比较，进行形成于磁铁体试验片表面的铝蒸镀被膜的性能评价。该评价如下进行，对于进行热循环试验前和进行了200循环后的粘接试验体，使用万能试验机AG-IOTB(岛津制作所制)以十字头速度2mm/分钟测定抗剪强度，将进行了200循环后相对于进行热循环试验前的抗剪强度降低率作为粘接强度降低率进行评价。将结果示于表2。另外，表2中一并表示测定了抗剪强度后的断裂面的外观的样子。由表2清楚地显示，通过在成膜前期和成膜后期分别控制形成子磁铁体试验片表面的铝蒸镀被膜的成膜速度，粘接强度降低率停留在谨为6%，粘接试验体显示非常良好的耐热循环性。另外可知，测定了抗剪强度后的断裂面的外观呈现出粘接剂的凝集破坏引起的样态，因此，磁铁体试验片和铝蒸镀被膜的剥离强度、及铝蒸镀被膜和粘接剂的粘接强度分别为非常高。另外，对表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片用离子束断面加工装置SM09010(日本电子社制)进行断面加工后，用场致发射型扫描电子显微镜S-4300(日立制作所社制)观察其加工断面。图2显示形成于磁铁体试验片表面的铝蒸镀被膜的断面照片。由图2清楚地显示，在形成于磁铁体试验片表面的铝蒸镀被膜的厚度方向的从磁铁体试验片表面至1/3的区域，存在许多结晶宽度窄至0.lnmlpm的铝柱状结晶，并且被膜横向方向每10ym存在10个~15个宽度0.01|Lim~1jam的晶间空隙的部分多，另一方面，构成剩余的2/3区域的铝柱状结晶的结晶宽度宽达1|am~5|am,宽度0.01jam~1mm的晶间空隙完全不存在，或即使存在，也是被膜横向方向每10jum最多5个程度的部分多。因此，该实施例中得到的表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片如上所述，即使在进行了热循环试验后，在与磁轭材料之间也保持优异的粘接强度，另外，认为发挥优异的耐腐蚀性(通过另外的标准的耐腐蚀性试验确认)是形成于磁铁体试验片表面的铝蒸镀被膜的这种特征的组织结构所带来的。比较例1从开始到结束以表1所示的成膜速度在磁4失体试验片表面进行铝蒸镀被膜的形成，得到表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片，与实施例1同样地进行其评价。将结果示于表2。由表2清楚地显示，该比较例中得到的表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片，由于进行热循环试验，粘接强度显著降低，另外，测定了抗剪强度后的断裂面的外观呈现粘接剂的凝集破坏以及粘接剂和被膜的界面破坏带来的样态。根据与实施例1同样地进行的磁铁体试验片的表面所形成的铝蒸镀被膜的断面观察，该被膜在整个厚度上由致密的组织结构形成，该组织结构包含窄的铝柱状结晶，晶间空隙几乎不存在。因此，认为该比较例中得到的表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片的性能比实施例1中得到的表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片的性能差(但耐腐蚀性相同)是磁铁体试验片的表面所形成的铝蒸镀被膜的组织结构的差异所带来的。比较例2从开始到结束以表1所示的成膜速度在磁铁体试验片表面进行铝蒸镀被膜的形成，得到表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片，与实施例1同样地进行其评价。将结果示于表2。由表2清楚地显示，该比较例中得到的表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片，由于进行热循环试验，粘接强度显著降低，另外，测定了抗剪强度后的断裂面的外观呈现粘接剂的凝集破坏以及粘接剂和被膜的界面破坏带来的样态。根据与实施例1同样地进行的磁铁体试验片的表面所形成的铝蒸镀被膜的断面观察，该被膜在整个厚度上由致密的组织形造构成，该组织结构包含宽的铝柱状晶，晶间空隙几乎不存在。因此，认为该比较例中得到的表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片的性能比实施例1中得到的表面具有铝蒸镀被膜的磁铁体试验片的性能差(但耐腐蚀性相同)是磁铁体试验片的表面所形成的铝蒸镀被膜的组织结构的差异所带来的。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>实施例2除使用含有5质量％的镁的铝合金丝(按照JISA5356)以外，与实施例1同样操作，在磁铁体试验片的表面形成含有5质量％的镁的铝合金蒸镀被膜，进行与实施例1相同的评价。其结果是，粘接强度降低率停留在谨为8%，粘接试验体显示非常良好的耐热循环性。另外可知，测定了抗剪强度后的断裂面的外观呈现出粘接剂的凝集破坏引起的样态，因此，磁铁体试验片和铝蒸镀被膜的剥离强度、及铝蒸镀被膜和粘接剂的粘接强度分别为非常高。根据形成于磁铁体试验片表面的铝合金蒸镀被膜的断面观察，在形成于磁铁体试验片表面的铝合金蒸镀被膜的厚度方向的从磁铁体试验片表面至1/3的区域，存在许多结晶宽度窄至0.1jam~1jam的铝合金柱状结晶，并且被膜横向方向每10jam存在10个~15个宽度0.01|am~1um的晶间空隙的部分多，另一方面，构成剩余的2/3区域的铝合金柱状结晶的结晶宽度宽达lpra5jam，宽度0.01jlim~1jum的晶间空隙完全不存在，或即使存在，也是被膜横向方向每10jum最多5个程度的部分多，具有与实施例l中形成于磁铁体试验片表面的铝蒸镀被膜的组织结构相同的组织结构。产业上的应用可能性本发明在可提供表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁及其制造方法方面具有产业上的应用可能性，该R-Fe-B系烧结磁铁，即使在进行了严酷的热循环试验后，也能够在与粘接对象之间保持优异的粘接强度。权利要求1、一种磁铁，为表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁，其特征在于，铝或其合金的蒸镀被膜包含从磁铁体表面向外表面宽幅地成长的柱状结晶组织，在被膜的厚度方向的从磁铁体表面至1/3的区域，具有在被膜的横向方向每10μm存在5个～30个宽度0.01μm～1μm的晶间空隙的部分。2、如权利要求1所述的磁铁，其特征在于，具有下述这样的部分，其中，在被膜的厚度方向的从磁铁体表面至1/3的区域，柱状结晶组织的结晶宽度为0.l|Lim~1/am,在剩余的2/3的区域为ljam~5|um。3、如权利要求1或2所述的磁铁，其特征在于，铝或其合金的蒸镀4皮膜的厚度为3nim~20|nm。4、权利要求1所述表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁的制造方法，其特征在于，在向R-Fe-B系烧结磁铁的表面进行铝或其合金的蒸镀被膜的形成时，直到达到所希望的被膜厚度的1/3的厚度为止使平均成膜速度为0.ljum/分钟0.4jum/分钟，之后使平均成膜速度为0.2lam/分钟lium/分钟，其中，后者总是比前者快。5、如权利要求4所述的制造方法，其特征在于，使用以送丝方式进行铝或其合金的蒸镀源向蒸镀材料的蒸发部的供给，且以电阻加热方式进行在蒸发部的铝或其合金的蒸镀源的蒸发的蒸镀被膜形成装置进行。全文摘要本发明提供一种表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁及其制造方法，即使进行了严酷的热循环试验后，所述磁铁也能够在与粘接对象之间保持优异的粘接强度。作为其解决方式的本发明的表面具有铝或其合金的蒸镀被膜的R-Fe-B系烧结磁铁的特征在于，铝或其合金的蒸镀被膜包含从磁铁体表面向外表面宽幅地成长的柱状结晶组织，在被膜的厚度方向的从磁铁体表面至1/3的区域，具有在被膜的横向方向每10μm存在5个～30个宽度0.01μm～1μm的晶间空隙的部分。该制造方法，在R-Fe-B系烧结磁铁的表面形成铝或其合金的蒸镀被膜时，在成膜前期和成膜后期分别控制平均成膜速度，在达到规定的时刻之前较慢，在此之后加快。文档编号H01F7/02GK101681712SQ20088002057公开日2010年3月24日申请日期2008年5月9日优先权日2007年5月9日发明者三角信弘,吉村公志,栃下佳己,菊川笃,蒲池政直申请人:日立金属株式会社