专利名称：一种双扁平无引脚封装件及其生产方法
技术领域：
本发明涉及电子信息自动化元器件制造技术领域，尤其涉及到双扁平无引脚封装
件，本发明还包括该封装件的生产方法。
背景技术：
近年来，移动通信和移动计算机领域的便捷式电子机器市场火爆，直接推动了小 型封装和高密度组装技术的发展；同时，也对小型封装技术提出了一系列严格要求，诸如， 要求封装外形尺寸尽量縮小(尤其是封装高度小于lmm)。封装后的连接可靠性尽可能提 高，适应无铅化焊接(保护环境)和力图降低成本。 DFN(Dual Flat No Package)型集成电路封装技术是近几年发展起来的一种新型 微小形封装技术，是最先进的表面贴装封装技术之一。由于无引脚、贴装占有面积小，安装 高度低等特点，为满足移动通信和移动计算机领域的便捷式电子机器，如PDA、手机、MP3、 MP4等超薄型电子产品发展的需要应用而生并迅速成长起来的一种新型封装技术。目前的 双扁平无引脚封装件，载体外露，塑封料只包封住载体上表面的IC芯片、键合线、载体下表 面一圈和引脚的上表面及侧面，属于单面封装，容易产生翘曲，靠后固化模具加压矫正，仍 存在产生翘曲和离层隐患，并且有载体背面溢料去除不干净的现象。同时，现有的DFN—般 厚度控制在0. 82mm 1. 0mm，满足不了超薄型封装产品的需要。
发明内容
本发明的目的就是针对目前普通双扁平无引脚封装(DFN)单面封装塑封时翘曲， 存在产生离层的隐患和载体背面溢料去除不干净等现象，提供一种载体不外露的双扁平无 引脚封装件，并且提供一种0. 75mm薄型DFN(TDFN)和0. 50mm超薄型DFN(UDFN)封装方法。
本发明的目的通过下述技术方案实现 —种双扁平无引脚封装件，包括引线框架载体、粘片胶、IC芯片、IC芯片上的焊 盘、键合线、框架内引脚及塑封体。所述封装载体设有单载体封装，载体下表面设有凹坑；所 述塑封体包括上塑封体和下塑封体；上塑封体和下塑封体将载体从上、下双面包围封装，不外露。 所述封装载体设有双载体封装；所述塑封体包括上塑封体和下塑封体；上塑封体 和下塑封体将载体从上、下双面包围封装，不外露。 所述双载体的每个载体下表面设有凹坑，两个凹坑之间设一棱。
所述上塑封体包围引线框架载体的上表面及侧面、粘接材料、IC芯片、键合线、内 引脚的上表面、载体间的凹槽；所述下塑封体包围载体下表面的凹坑、内引脚下端的凹坑， 载体的下侧面；上、下塑封体连同被包围的部分构成电路的整体。
上述封装件按下述方法和步骤生产
a、减薄封装成形为0. 75mm，晶圆厚度为70 y m 220 y m。
b、划片 180 ii m 220 y m晶圆划片同普通DFN划片工艺，150 y m及其以下厚度的晶圆采 用双刀划片机及其工艺；
c、上芯、粘片
d、压焊 采用低弧度压焊工艺，弧度在150iim以内；
e、塑封 上塑封体厚0. 30mm 0. 55mm，下塑封体0. 10mm，选择膨胀系数a 1《1，
a 2《3. 5的低应力、吸水率0. 40%的塑封料，并使用自动包封系统的多段注塑程序，调整
控制塑封过程，防止冲线和芯片表面分层。 f 、电镀 采用自动电镀线电镀； g、切割、分离 先沿载体背面中间的棱切割0. llmm士O. 015mm深度，将一个大载体分割成2个小 载体；再切割分离、产品自动入管或入料盘同普通DFN。所述芯片采用堆叠封装时，下层芯片70 ii m 90 ii m，上层芯片130 y m 150 y m ;
上芯时下面芯片采用导电胶或绝缘胶，工艺同普通DFN上芯；上层芯片采用绝缘胶使用上 芯机上芯。 封装成形为0. 5mm时
a、减薄、划片
IC芯片厚度为70 ii m 90 ii m ;
b、划片 划片使用双刀划片机及操作工艺方法；
c、上芯、粘片 粘片厚度在20ym以内，采用绝缘胶或着绝缘胶膜两种工艺；
d、压焊 采用超低弧度压焊工艺，弧高在100 ii m以内。 本发明的特点是载体縮小，不仅节约塑封料成本显著，而且可实现便携式产品薄 型(1.0mm以下)、小型化封装。载体双面封装不外露，克服了翘曲和易产生离层的隐患，解 决了载体溢料去除不干净问题。上下塑封体起到降低或缓解翘曲度的作用。
图1双扁平无引脚封装单载体产品剖视图；
图2双扁平无引脚封装双载体产品剖视图；
图3双扁平无引脚封装双载体产品图背面图。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明进行详细说明 —种双扁平无引脚封装件，包括引线框架载体、粘片胶、IC芯片、IC芯片上的焊
5盘、键合线、框架内引脚及塑封体。本发明封装载体设有单载体封装，或双载体封装两种形 式。单载体封装的载体1下表面设有凹坑9 ;所述塑封体包括上塑封体8和下塑封体15，将 载体从上、下双面包围封装，不外露。 单载体封装由引线框架载体1通过粘片胶3粘接IC芯片4， IC芯片4上的焊盘通 过键合线6与引线框架的内引脚5相连，构成电路的电流和信号通道。粘片胶3可以是导 电胶或导电胶膜、绝缘胶或绝缘胶膜。上塑封体8包围IC芯片4、粘片胶3的侧面、引线框 架载体1的上表面、内引线脚5的上表面及IC芯片4上的焊盘与内引线脚5上表面的键合 线6 ;下塑封体13包围载体1下表面的凹坑9及侧面、以及内引线脚5底面的凹槽7。上塑 封体8和下塑封体15及其包围部分构成了电路的整体。 双载体封装设有载体1、载体2封装；载体1下表面设有凹坑9，载体2下表面设有 凹坑13，凹坑9和13之间设一棱14，棱14在切割时被切割线16切开，将载体1和载体2 分开。塑封体包括上塑封体8和下塑封体15 ;上塑封体8和下塑封体15将载体从上、下双 面包围封装，不外露。 双载体封装由引线框架载体1和载体2通过粘片胶3和粘片胶10粘接IC芯片4 和IC芯片11， IC芯片4和IC芯片11上的焊盘通过键合线6与引线框架的内引脚5相连， 构成电路的电流和信号通道。上塑封体8包围IC芯片4和IC芯片11、粘片胶3和粘片胶 10的侧面、引线框架载体1和载体2的上表面、内引线脚5的上表面及IC芯片4和IC芯片 11上的焊盘与内引线脚5上表面的键合线6 ;下塑封体13包围载体的下表面的凹坑9及侧 面、载体2的下表面凹坑13及其侧面，以及内引线脚5底面的凹槽7，载体1和载体2之间 的凹槽12。上塑封体8和下塑封体15及其包围部分构成电路的整体。
塑封体的作用是对IC芯片以及键合线起到保护和支撑的作用。并且上塑封体8 和下塑封体13起到降低塑封翘曲度作用，内引脚5底面的凹槽7及其它凹坑、凹槽增加了 塑封料与框架的结合力，起到了防离层作用，同时避免了普通QFN载体背面溢料去除不干 净的问题。双载体1和2切割分离前是连在一起的，切割分离时先将载体1和载体2间的 棱14切割分离开，保证不要短路。
本发明的生产方法如下
a、减薄封装成形为0. 75mm时，晶圆减薄厚度为70 y m 220 y m，其中芯片堆叠封装上 层芯片厚度70 ii m 90 ii m，下层芯片厚度130 y m 150 y m，普通封装晶圆减薄厚度为 180 ii m 220 ii m。采用先粗磨，后细磨的防翘曲、防碎片减薄工艺。
b、划片 180iim 220iim晶圆划片同普通DFN划片工艺，而对于150 y m及其以下厚度的
晶圆要采用双刀划片机及其工艺。
c、上芯 对于O. 75mm普通封装，上芯同一般DFN封装上芯，而芯片堆叠封装(Stackdie Package)，底层芯片为130 y m 150 y m，使用导电胶(或绝缘胶)，上层芯片70 y m 90 y m，采用绝缘胶或绝缘胶膜，上芯的设备应该使用具备胶膜片上芯和精确定位的上芯设 备。 d、压焊
6
对于0. 75mm厚度的普通封装，采用一般低弧度压焊工艺，弧度控制在150 y m以 内；对于芯片堆叠封装(Stack die Package)的压焊，选择柱状劈刀和适合的内角角度，采 用高低弧和低弧反打键合方式。
e、塑封 上塑封体厚0. 30mm 0. 55mrn，下塑封体仅为0. lOmm，选用选择膨胀系数
a 1《1， a 2《3. 5的低应力、低吸水率(小于0. 30% )、高粘度、低翘曲的塑封料，使用自
动包封系统的多段注塑程序，调整控制塑封过程，防止冲线和芯片表面分层。 f 、电镀 采用自动电镀线。 g、切割、分离先沿载体背面中间的棱(14)精确切割0. llmm士O. 015mm深度，将一个大载体分割 成2个小载体；再进行切割分离、产品自动入管或入料盘同普通DFN。
当封装成形为0. 5mm时
a、减薄、划片 IC芯片厚度为70iim 90iim，采用防翘曲、防碎片减薄工艺。晶圆减薄厚度在 100iim 130iim。
b、划片 划片使用双刀划片机其操作方法；
c、上芯 对于0. 75mm普通封装，上芯同一般DFN封装上芯，而芯片堆叠封装，底层芯片为 130 ii m 150 ii m，使用导电胶或绝缘胶，上层芯片70 y m 90 y m，采用绝缘胶或绝缘胶膜， 使用上芯机上芯。
d、压焊 对于0. 75mm厚度的普通封装，采用一般低弧度压焊工艺，弧度控制在150 y m以 内；对于芯片堆叠封装的压焊，选择柱状劈刀和适合的内角角度，采用高低弧和低弧反打键 合方式。 实施例1 封装成形为0. 75mm : 1、减薄、划片 芯片厚度为220iim，采用通用减薄划片工艺。
2、上芯 上芯同一般DFN封装上芯。
3、压焊 采用低弧度压焊，弧度150 ii m以内。
4、塑封 上塑封体厚0. 30mm，下塑封体为0. 10mm，选用选择膨胀系数a 1《1， a 2《3. 5 的低应力、吸水率小于0. 15%、低翘曲度高粘度的塑封料，普通后固化，采用固化夹具矫正，
防止翘曲。
5、电镀
采用自动电镀线。 6、切割、分离 先沿载体背面中间的棱切割O. 095mm深度，将一个大载体分割成2个小载体；再切
割分离、产品自动入管或入料盘同普通DFN。 实施例2 封装成形为0. 75mm : 1、减薄、划片 芯片厚度为220ym，采用防翘曲、防碎片减薄工艺； 采用通用减薄划片工艺。 2、上芯 上芯同一般DFN封装上芯； 3、压焊 采对于O. 75mm厚度的普通封装，采用一般低弧度压焊工艺，弧度控制在150iim以 内。 4、塑封 上塑封体厚O. 55mm，下塑封体为0. 10mm，选用低应力、低吸水率、低翘曲度的塑封
料，采用多段注塑软件控制注塑过程，防止冲丝，背面出现反包或空洞现象。后固化同普通
DFN，采用专用DFN固化夹具矫正，防止翘曲。 5、电镀 采用自动电镀线。 6、切割、分离 先沿载体背面中间的棱切割O. 125mm深度，将一个大载体分割成2个小载体；再切
割分离、产品自动入管或入料盘同普通DFN。 实施例3 封装成形为0. 5mm时 1、减薄 IC芯片厚度为70 ii m，采用先粗磨、后细磨、抛光的超薄型减薄工艺，晶圆减薄厚 度100iim。 2、划片 使用双刀划片机及其工艺划片。 4、上芯 上芯粘片厚度在20iim以内，采用绝缘胶； 5、压焊 采用超低弧度压焊工艺，弧高在100iim以内。 其它工序同实施例l。 实施例4 封装成形为O. 5mm时 1、减薄 IC芯片厚度为90ym，采用本公司开发的先粗磨、后细磨、抛光的超薄型、防裂片、 防翘曲减薄工艺，晶圆减薄厚度在130 ii m。
其它工序同实施例3。
权利要求
一种双扁平无引脚封装件，包括引线框架载体、粘片胶、IC芯片、IC芯片上的焊盘、键合线、框架内引脚及塑封体，其特征在于所述封装载体设有单载体(1)封装，载体(1)下表面设有凹坑(9)；所述塑封体包括上塑封体(8)和下塑封体(15)；上塑封体(8)和下塑封体(15)将载体从上、下双面包围封装，不外露。
2. 根据权利要求l所述的一种双扁平无引脚封装件，其特征在于所述上塑封体(8)包 围引线框架载体(1)的上表面及侧面、粘接材料(3)、IC芯片(4)、键合线(6)、内引脚(5)的 上表面；所述下塑封体(15)包围载体(1)下表面的凹坑(9)、内引脚(5)下端的凹坑(7)， 载体(1)的下侧面；上、下塑封体连同被包围的部分构成电路的整体。
3. —种双扁平无引脚封装件，包括引线框架载体、粘片胶、IC芯片、IC芯片上的焊盘、 键合线、框架内引脚及塑封体，其特征在于所述封装载体设有双载体(1)、 (2)封装；所述塑封体包括上塑封体(8)和下塑封体 (15);上塑封体(8)和下塑封体(15)将载体从上、下双面包围封装，不外露。
4. 根据权利要求3所述的一种双扁平无引脚封装件，其特征在于所述双载体的载体(I) 下表面设有凹坑(9)，载体(2)下表面设有凹坑(13)，凹坑(9)和(13)之间设一棱(14) 。
5. 根据权利要求3所述的一种双扁平无引脚封装件，其特征在于所述上塑封体(8)包 围引线框架载体(1)和载体(2)的上表面及侧面、粘接材料(3)和(10)、 IC芯片(4)和(II) 、键合线(6)、内引脚(5)的上表面、载体(1)和载体(2)间的凹槽(12);所述下塑封体(15) 包围载体(1)下表面的凹坑(9)和载体(2)下表面的凹坑(13)、内引脚(5)下端的凹 坑(7)，载体(1)和载体(2)的下侧面；上、下塑封体连同被包围的部分构成电路的整体。
6. —种生产如权利要求1所述双扁平无引脚封装件的方法，其特征在于按下述方法和 步骤生产a、 减薄、封装成形为0. 75mm时，晶圆减薄厚度为70 y m 220 y m，芯片堆垒封装，上 层芯片厚度70iim 90iim，下层芯片厚度130 y m 150 y m，普通封装晶圆减薄厚度为 180iim 220iim;采用先粗磨，后细磨的防翘曲、防碎片减薄工艺，其中芯片堆叠封装b、 划片180 ii m 220 ii m晶圆划片同普通DFN划片工艺，150 y m及其以下厚度的晶圆采用双 刀划片机及其工艺；c、 上芯、粘片d、 压焊采用低弧度压焊工艺，弧度在150 ii m以内；e、 塑封上塑封体厚0. 30mm 0. 55mm，下塑封体0. lOmm，选择膨胀系数a 1《1， a 2《3. 5 的低应力、吸水率0. 40%的塑封料，并使用自动包封系统的多段注塑程序，调整控制塑封 过程，防止冲线和芯片表面分层；f、 电镀采用自动电镀线电镀；g、 切割、分离先沿载体背面中间的棱切割O. llmm士O. 015mm深度，将一个大载体分割成2个小载体； 再切割分离、产品自动入管或入料盘同普通DFN。
7. 根据权利要求6所述的一种生产双扁平无引脚封装件的方法，其特征在于所述芯片 采用堆叠封装时，下层芯片70 ii m 90 ii m，上层芯片130 y m 150 y m ;上芯时下面芯片采 用导电胶或绝缘胶，工艺同普通DFN上芯；上层芯片采用绝缘胶使用上芯机上芯。
8. 根据权利要求7所述的一种生产双扁平无引脚封装件的方法，其特征在于所述上层 芯片采用绝缘胶膜片使用上芯机上芯。
9. 根据权利要求6所述的一种生产双扁平无引脚封装件的方法，其特征在于所述堆叠 封装的划片，使用双刀划片机及其工艺。
10. 根据权利要求6所述的生产方法，其特征在于所述封装成形为0. 5mm时a、 减薄、划片IC芯片厚度为70 ii m 90 ii m ;b、 划片划片使用双刀划片机及其操作方法；c、 上芯、粘片粘片厚度在20ym以内，采用绝缘胶或着绝缘胶膜两种工艺；d、 压焊采用超低弧度压焊工艺，弧高在100 ii m以内；e、 塑封上塑封体厚0. 30mm 0. 55mm，下塑封体0. 10mm，选择膨胀系数a 1《1， a 2《3. 5 的低应力、吸水率0. 40%的塑封料，并使使用自动包封系统的多段注塑程序，调整控制塑 封过程，防止冲线和芯片表面分层；f、 电镀采用自动电镀线电镀；g、 切割、分离先沿载体背面中间的棱切割O. llmm士O. 015mm深度，将一个大载体分割成2个小载体； 再切割分离、产品自动入管或入料盘同普通DFN。
全文摘要
一种双扁平无引脚封装件及其生产方法，其封装载体设有单载体封装，或双载体封装两种形式；所述塑封体包括上塑封体和下塑封体；上、下塑封体将载体从上、下双面包围封装不外露。上塑封体包围载体上表面及侧面、粘接材料、IC芯片、键合线、内引脚的上表面、载体间的凹槽；下塑封体包围载体下表面的凹坑、内引脚下端的凹坑及载体的下侧面。经过减薄、划片、上芯、压焊、塑封、电镀、切割等工艺程序加工生产。本发明的特点是载体缩小，不仅节约塑封料成本显著，而且可实现便携式产品薄型、小型化封装。载体双面封装不外露，克服了翘曲和易产生离层的隐患，解决了载体溢料去除不干净问题。上下塑封体起到降低翘曲度作用。
文档编号H01L23/495GK101694838SQ20091011751
公开日2010年4月14日 申请日期2009年10月17日 优先权日2009年10月17日
发明者慕蔚, 郭小伟 申请人:天水华天科技股份有限公司;