专利名称：：玻璃基板蚀刻装置的制作方法
技术领域：
：本发明属于平板显示器(FPD)工程领域，特别涉及一种玻璃基板的蚀刻装置。
背景技术：
：在信息化快速发展的现代社会里，FPD技术正在日益革新，同时紧锣密鼓地推进着其繁衍产品事业的研究工作。因此，在制作FPD装置时不可缺少的玻璃基板厚度变薄的技术也在不断地发展着。以前的制作FPD板变薄的技术，是通过机械的研磨方法和利用酸性粉药液的化学性湿蚀方法。随着信息化社会的不断发展，与之一起发展的
技术领域：
是移动FPD领域，而且越来越需求超薄型、超节电型、超美观型的先进的FPD板。对于上述的化学性湿蚀方式，参考图1，以前的技术是以在玻璃板105侧面布置喷嘴104而喷射到玻璃面的蚀刻装备为主，即将玻璃基板垂直固定住，从侧面往玻璃面上垂直喷射的方式。由于该方式是给玻璃基板面上施加垂直打击力，因此很薄的玻璃自身强度下降，从而破损几率大，同时从实际测试值来看无法进行0.5mm以下的蚀刻作业，因此制作超薄型板时受到限制。图2为现有化学性湿蚀蚀刻装备的药液循环回路图。在进行化学反应的反应室IOO里反应出来的蚀刻药液和副产物污泥，通过管道集结到存储罐101，其大部分污泥都会集结在这里。蚀刻药液可再生利用，因此通过移送泵102重新送回到反应室100。此时，在管道之间安装过滤装置103，大量的污泥则会在这里被过滤掉。
发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种可实现0.3mm超薄型玻璃基板的蚀刻作业、玻璃基板强度高、不会破损的玻璃基板蚀刻装置。为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案-一种玻璃基板蚀刻装置，包括反应室、位于反应室内用于将玻璃基板垂直固定住的固定装置、与反应室相通的药液存储罐和与药液存储罐相通的药液循环系统，药液循环系统包括若干个喷嘴，其中所述喷嘴在每块玻璃基板的上方均布成一排。本发明的玻璃基板蚀刻装置，其中所述药液循环系统还包括进口与药液存储罐相通的总输入管路、过滤系统和总输出管路，过滤系统包括第一输入管路和第二输入管路，总输入管路的出口分别与第一输入管路的进口、第二输入管路的进口相连，第一输入管路上依次串联有阀门VA、第一过滤装置组、阀门VC,第二输入管路上依次串联有阀门VB、第二过滤装置组、阀门VD,第一输入管路的出口、第二输入管路的出口与总输出管路的进口相连，位于每块玻璃基板相应位置处的上方设有一根与总输出管路相连的分支输出管路，所述喷嘴安装在分支输出管路上。本发明的玻璃基板蚀刻装置，其中所述过滤系统还包括过滤装置再生回路，所述过滤装置再生回路包括反洗输入管路和反洗输出管路，所述反洗输入管路通过串联有阀门VE的管路与阀门VC和第一过滤装置组之间的第一输入管路相连，反洗输入管路通过串联有阀门VF的管路与阀门VD和第二过滤装置组之间的第二输入管路相连，第一过滤装置组与阀门VA之间的第一输入管路通过串联有阀门VG的管路与反洗输出管路相连，第二过滤装置组与阀门VB之间的第二输入管路通过串联有阀门VH的管路与反洗输出管路相连。本发明的玻璃基板蚀刻装置，其中所述第一过滤装置组和第二过滤装置组中的过滤装置并联设置。本发明的玻璃基板蚀刻装置，其中所述第一过滤装置组和第二过滤装置组中的过滤装置的数量分别为15个。本发明的玻璃基板蚀刻装置，其中所述固定装置包括支架，支架由相对设置的横梁、纵梁和竖杆组装而成，竖杆的中下部还固定有中横梁，底部的横梁之间均匀固定有若干个与纵梁相平行的支撑梁，每个支撑梁上均匀固定有若干个支撑座，支撑座的顶部开有用于放置玻璃基板的凹槽；顶部的每根横梁上在与每块玻璃基板相对应的位置处、每根中横梁上在与每块玻璃基板相对应的位置处分别固定有固定板，固定板上在每块玻璃基板的两侧分别固定有一根固定杆，固定杆与玻璃基板之间具有间隙。本发明的玻璃基板蚀刻装置，其中所述固定杆采用高分子树脂材料制成。本发明的玻璃基板蚀刻装置，其中所述固定杆与玻璃基板之间的间隙为11.5mm。本发明的玻璃基板蚀刻装置，其中所述固定板的两个角处分别开设斜向玻璃基板的通孔，所述每根固定杆的一端插入通孔内且与固定板粘贴固定，所述每根固定杆的另一端斜向延伸至玻璃基板的一侧。本发明的玻璃基板蚀刻装置将喷嘴设置在玻璃基板的上方，从上方进行喷射，通过喷嘴在下方的玻璃基板上形成均匀喷射的药液，使蚀刻药液顺着玻璃侧面流淌，该方式可实现0.3mra超薄型板的蚀刻作业，蚀刻过程中不会削弱玻璃基板的强度，也不会对玻璃基板造成破损。图1为现有玻璃基板蚀刻装置喷射方式的示意图2为现有玻璃基板蚀刻装置药液循环回路图3为本发明玻璃基板蚀刻装置的主视结构示意图4为图3中固定装置及喷嘴部分的侧视图5为图4的俯视图6为图5中A处放大局部剖视图7为固定杆处的立体图8为固定杆处的俯视结构示意图9为本发明玻璃基板蚀刻装置喷施方式的示意图IO为药液循环系统的回路图。具体实施例方式如图3、图4和图10所示，本发明的玻璃基板蚀刻装置，包括反应室1、位于反应室1内用于将玻璃基板2垂直固定住的固定装置3、通过管路与反应室1底部相通的药液存储罐4和与药液存储罐4相通的药液循环系统。药液循环系统包括进口与药液存储罐4相通的总输入管路5、过滤系统11和总输出管路56,过滤系统11包括第一输入管路52和第二输入管路53，总输入管路5上串联有泵51，总输入管路5的出口分别与第一输入管路52的进口、第二输入管路53的进口相连，第一输入管路52上依次串联有阀门VA、第一过滤装置组54、阀门VC，第二输入管路53上依次串联有阀门VB、第二过滤装置组55、阀门VD，第一输入管路52的出口、第二输入管路53的出口与总输出管路56的进口相连，位于每块玻璃基板2相应位置处的上方设有一根与总输出管路56相连的分支输出管路57,每根分支输出管路57上均匀设有若干个喷嘴58。过滤装置再生回路包括反洗输入管路61和反洗输出管路62，反洗输入管路61通过串联有阀门VE的管路63与阀门VC和第一过滤装置组54之间的第一输入管路52相连，反洗输入管路61通过串联有阀门VF的管路64与阀门VD和第二过滤装置组55之间的第二输入管路53相连，第一过滤装置组54与阀门VA之间的第一输入管路52通过串联有阀门VG的管路65与反洗输出管路62相连，第二过滤装置组55与阀门VB之间的第二输入管路55通过串联有阀门VH的管路66与反洗输出管路62相连。反洗输入管路61的入口可以与水或蚀刻药液相接。第一过滤装置组54和第二过滤装置组55中的过滤装置并联设置，每组过滤装置的数量可以根据流量需要设置，如为15个。本实施例图示为3个。在反应室1中与玻璃基板2反应后的蚀刻药液和副产物污泥通过管道集结到存储罐4，存储罐4中的药液通过总输入管路5可进入第一输入管路52或第二输入管路53，当进入第一输入管路52时，阀门VA、VC打开，使用第一过滤装置组54进行过滤，使用过程中阀门VE、VG处于关闭状态。当进入第二输入管路53时，阀门VB、VD打开，使用第二过滤装置组55进行过滤，使用过程中阀门VF、VH处于关闭状态。不论使用哪一个过滤装置组，随着时间推移都会出现因为堆积污泥而堵塞的现象，此时应通过顺序控制或者手动作业，将阀门管道变更到己准备好的另一个过滤装置组。当使用第一过滤装置组54时，可对第二过滤装置组55进行反洗；当使用第二过滤装置组55时，可对第一过滤装置组54进行反洗，通过反洗输出管路排出堆积的污泥，以此实现使用过的过滤装置的在线再生利用，延长过滤装置的使用时间。在进行连续生产时，阀门操作采用先后顺序方式较为妥当。表l所示为顺序控制的阀门开闭状态表。<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table>随着时间推移，玻璃基板与蚀刻药液发生反应而逐渐变薄，玻璃基板会因其自身重量而向一侧倾倒，因此进行蚀刻作业时需要使用固定装置将玻璃基板垂直固定住，以防止其向一侧倾倒，使药液能够均匀喷射到玻璃基板的两侧面。一般采用将玻璃基板底端和左右两端固定住的方式，固定方式可以有多种，如采用夹具夹住玻璃基板2的底端和左右两侧面。本发明提供了一种优选的固定方式，该固定方式结构简单，拆装快捷，便于根据玻璃基板2的大小进行调节，稳定可靠，且既可以防止玻璃基板向一侧倾倒，又不影晌药液和污泥的流动。如图3、图4所示，该固定装置3包括支架，支架由相对设置的横梁31、纵梁32和竖杆33通过螺栓组装而成，竖杆33的中下部还固定有中横梁34和中纵梁35，底部的横梁31之间均匀固定有若干个与纵梁32相平行的支撑梁(图中未示出)，每个支撑梁上均匀固定有三个支撑座36，支撑座36的顶部开有凹槽37，用于放置玻璃基板2。如图5、图6所示，顶部的每根横梁31上在与每块玻璃基板2相对应的位置处、每根中横梁34上在与每块玻璃基板2相对应的位置处分别固定有固定板38，固定板38上在每块玻璃基板2的两侧分别固定有一根固定杆39。固定杆39与玻璃基板2之间具有间隙，如此设置，使固定杆39既可以将玻璃基板2的位置限制住，防止其向一侧倾倒，又可以使其不影响药液和污泥的流速，消除了由于流速变化产生的不均衡蚀刻从而导致的玻璃基板表面粗糙及厚度偏差大。该间隙一般应保持在11.5咖，固定杆39采用高分子树脂材料制成，可以防止蚀刻药液与玻璃基板2反应所产生的污泥的影响。固定杆39的固定方式有多种，图7和图8给出了一种优选的方式，在固定板38的两个角处分别开设斜向玻璃基板2的通孔21,每根固定杆39的一端插入通孔21内且与固定板38粘贴固定，每根固定杆39的另一端斜向延伸至玻璃基板2的一侧。本发明玻璃基板蚀刻装置与现有蚀刻装置相比，具有以下优点1、如图9所示，将喷嘴设置在玻璃基板的上方，从上方进行喷射，通过喷嘴在下方的玻璃基板上形成均匀喷射的药液，使蚀刻药液顺着玻璃侧面流淌，该方式可制作由以前的垂直喷射玻璃板面方式无法实现的超薄型玻璃板，可实现0.3mm超薄型板的蚀刻作业，蚀刻过程中不会削弱玻璃基板的强度，也不会对玻璃基板造成破损。2、现有药液循环回路随着时间的推移，过滤装置由于收集污泥导致气孔被堵塞，从而流量减小，流量的变化影响玻璃基板的粗糙度，当流量达到限制点时，则必须更换过滤装置，整个作业过程停止，待更换完后再启动，生产成本高，效率低。本发明药液循环系统采用两个过滤装置组交替使用，可以稳定地进行蚀刻作业，始终保持一定的压力状态，流量稳定，玻璃基板光滑，无需更换过滤装置，可连续作业，提高了生产效率，降低了生产成本；此外，设置了过滤装置的在线反洗回路，可以对使用过的过滤装置组进行在线再生，延长了过滤装置的使用时间。以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。权利要求1、一种玻璃基板蚀刻装置，包括反应室、位于反应室内用于将玻璃基板垂直固定住的固定装置、与反应室相通的药液存储罐和与药液存储罐相通的药液循环系统，药液循环系统包括若干个喷嘴，其特征在于所述喷嘴在每块玻璃基板的上方均布成一排。2、根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述药液循环系统还包括进口与药液存储罐相通的总输入管路、过滤系统和总输出管路，过滤系统包括第一输入管路和第二输入管路，总输入管路的出口分别与第一输入管路的进口、第二输入管路的进口相连，第一输入管路上依次串联有阀门VA、第一过滤装置组、阀门VC，第二输入管路上依次串联有阀门VB、第二过滤装置组、阀门VD,第一输入管路的出口、第二输入管路的出口与总输出管路的进口相连，位于每块玻璃基板相应位置处的上方设有一根与总输出管路相连的分支输出管路，所述喷嘴安装在分支输出管路上。3、根据权利要求2所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述过滤系统还包括过滤装置再生回路，所述过滤装置再生回路包括反洗输入管路和反洗输出管路，所述反洗输入管路通过串联有阀门VE的管路与阀门VC和第一过滤装置组之间的第一输入管路相连，反洗输入管路通过串联有阀门VF的管路与阀门VD和第二过滤装置组之间的第二输入管路相连，第一过滤装置组与阀门VA之间的第一输入管路通过串联有阀门VG的管路与反洗输出管路相连，第二过滤装置组与阀门VB之间的第二输入管路通过串联有阀门VH的管路与反洗输出管路相连。4、根据权利要求2或3所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述第一过滤装置组和第二过滤装置组中的过滤装置并联设置。5、根据权利要求4所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述第一过滤装置组和第二过滤装置组中的过滤装置的数量分别为15个。6、根据权利要求卜3任一项所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述固定装置包括支架，支架由相对设置的横梁、纵梁和竖杆组装而成，竖杆的中下部还固定有中横梁，底部的横梁之间均匀固定有若干个与纵梁相平行的支撑梁，每个支撑梁上均匀固定有若干个支撑座，支撑座的顶部开有用于放置玻璃基板的凹槽；顶部的每根横梁上在与每块玻璃基板相对应的位置处、每根中横梁上在与每块玻璃基板相对应的位置处分别固定有固定板，固定板上在每块玻璃基板的两侧分别固定有一根固定杆，固定杆与玻璃基板之间具有间隙。7、根据权利要求6所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述固定杆采用高分子树脂材料制成。8、根据权利要求7所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述固定杆与玻璃基板之间的间隙为11.5mm。9、根据权利要求7所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述固定板的两个角处分别开设斜向玻璃基板的通孔，所述每根固定杆的一端插入通孔内且与固定板粘贴固定，所述每根固定杆的另一端斜向延伸至玻璃基板的一侧。全文摘要一种玻璃基板蚀刻装置，包括反应室、位于反应室内用于将玻璃基板垂直固定住的固定装置、与反应室相通的药液存储罐和与药液存储罐相通的药液循环系统，药液循环系统包括若干个喷嘴，其中所述喷嘴在每块玻璃基板的上方均布成一排。本发明的玻璃基板蚀刻装置将喷嘴设置在玻璃基板的上方，从上方进行喷射，通过喷嘴在下方的玻璃基板上形成均匀喷射的药液，使蚀刻药液顺着玻璃侧面流淌，该方式可实现0.3mm超薄型板的蚀刻作业，蚀刻过程中不会削弱玻璃基板的强度，也不会对玻璃基板造成破损。文档编号H01L21/00GK101630635SQ20091016932公开日2010年1月20日申请日期2009年8月25日优先权日2009年8月25日发明者南重根,孔正镐申请人:满纳韩宏电子科技(南京)有限公司;烟台韩宏电子科技有限公司