专利名称：器件处理器的制作方法
技术领域：
本发明涉及器件处理器(device handler)，尤其涉及根据检测结果在晶片状态的 器件中，将合格的器件装载于窝伏尔组件的器件处理器。
背景技术：
器件(半导体芯片)是指由导电率高于非导体、低于像金属一样的导体的半导体 构成的集成电路，芯片原来是指薄片碎片，但是现在用作指代半导体电路的用语。器件是在宽、高约为Icm左右的薄的硅片(silicon wafer)上集成晶体管电阻电 容器等各种器件而成。器件作为制造现代电脑的基本部件，是执行计算处理、存储数据、控制其他芯片等 功能的核心，是电子产业的重要的依托。如上所述的器件都有CPU、SDRAM(内存半导体)、flash RAM等等，最近还有像 COG (Chip On Glass)、COF (Chip On Film) 一样的 DDI (Display Drive IC)等多种。如上所述的器件在出厂之前，为了提高稳定性，检测外观状态，并挑出不良器件之 后，仅出厂合格的器件。尤其，在器件的制造工序中，可以执行多次对器件的检测工序；尤其，在晶片状态 下切割成各个器件之后可以予以执行，根据各个检测结果可以显示在器件。并且，如上所述，完成检测工序的器件中，为了出厂或者后续工序，只有合格的器 件才可以装载于窝伏尔组件的分类装置。而且，随着在如上所述的器件的制造工序中增加检测工序和分类工序，根据检测 装置或者分类装置可以左右器件的生产速度。但是，用于将器件装载于窝伏尔组件的现有的器件处理器在把晶片装载于窝伏尔 组件的过程中，如果在窝伏尔组件填满了器件，则需要卸载填满的窝伏尔组件，并载入空的 窝伏尔组件。但是，以空的窝伏尔组件进行交替的期间无法执行对器件的装载，因此额外地需 要窝伏尔组件的交替时间，从而对把晶片载入窝伏尔组件的时间进行减少时有所受限。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述问题，提供了通过减少向窝伏尔组件装载完器件后 以空的窝伏尔组件进行交替的窝伏尔组件的交替时间，从而能够更迅速地把晶片载入窝伏 尔组件的器件处理器。为了实现上述目的，本发明公开了一种器件处理器，可以包括切片载入部，载入 装载有器件的切片；切片移动台，接收从所述切片载入部供给的所述切片，移动装载有器件 的所述切片；捡起工具，从所述切片移动台上的所述切片中捡起合格的器件；以及器件卸 载部，其包括第一窝伏尔组件移送部，移动第一窝伏尔组件并进行卸载，其中所述第一窝 伏尔组件安放有由所述捡起工具捡起的器件；以及第二窝伏尔组件移送部，与通过所述第一窝伏尔组件移送部移送的第一窝伏尔组件进行联动，移动第二窝伏尔组件并进行卸载， 其中所述第二窝伏尔组件安放有由所述捡起工具捡起的器件。所述器件卸载部可以包括窝伏尔组件载入部，层叠有多个窝伏尔组件，并依次供 给所述窝伏尔组件；以及至少一个窝伏尔组件移送工具，从所述窝伏尔组件载入部移送所 述窝伏尔组件，并传递给所述第一窝伏尔组件移送部或所述第二窝伏尔组件移送部。所述窝伏尔组件移送工具可以包括第一窝伏尔组件移送工具，向第一方向移送 所述窝伏尔组件；以及第二窝伏尔组件移送工具，通过所述第一窝伏尔组件移送工具将所 述窝伏尔组件移送完毕之后，向第二方向移送所述窝伏尔组件，并传递给所述第一窝伏尔 组件移送部或所述第二窝伏尔组件移送部。所述第一窝伏尔组件移送部和所述第二窝伏尔组件移送部，分别通过第一导向部 和第二导向部依次卸载所述窝伏尔组件；所述第一窝伏尔组件移送工具，通过所述第二导 向部和第三导向部，依次移送所述窝伏尔组件；所述第二窝伏尔组件移送工具，通过所述第 二导向部和第四导向部，依次移送所述窝伏尔组件；从而传递给所述第一窝伏尔组件移送 部或所述第二窝伏尔组件移送部。根据所述窝伏尔组件的尺寸，以不同宽度和长度的部件可以交替所述第二导向部。所述第一窝伏尔组件移送部和所述第二窝伏尔组件移送部可以分别包括第一窝 伏尔组件增压部件和第二窝伏尔组件增压部件，分别支撑窝伏尔组件的前端和后端，以固 定窝伏尔组件；移动机体，安装有所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增 压部件，分别支撑所述窝伏尔组件的底面；以及机体驱动部，沿着机体导向部件分别移动各 个所述移动机体。所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增压部件可以设置有滚轮， 其与窝伏尔组件的前端和后端接触的状态下，能够旋转。所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增压部件中的至少一个，可 以设置于所述移动机体。所述移动机体可以包括固定机体，沿着所述机体导向部件能够移动地设置；支 撑机体，与所述固定机体一起，能够上下移动地设置。所述器件卸载部还可以设置有图像获取部，其用于执行在器件安放状态的可视检 测以及对器件上面的可视检测中的至少一个，获取安放于窝伏尔组件的器件的图像。本发明器件处理器具有通过轮换移送窝伏尔组件的一双窝伏尔组件移送部，从而 在先行的窝伏尔组件填满器件之后，连续地移送后续的窝伏尔组件，从而完成器件装载后， 以空的窝伏尔组件进行交替，从而显著地减少了窝伏尔组件的交替时间，进而能够更迅速 地执行从晶片到窝伏尔组件的载入。
图1为本发明器件处理器的结构示意图；图加及图2b为图示各个切片的结构的立体图和截面图；图3为用于图1的器件处理器的窝伏尔组件立体示意图；图4为图示在图1中从切片载入部至器件卸载部的器件的移动过程的概念图fe至图5c为晶片载入部的工作过程平面示意图；图6a至图6d为器件卸载部的工作过程的平面示意图；图7a至图7d为窝伏尔组件载入部和窝伏尔组件卸载部的工作过程示意图；图8为窝伏尔组件移送部的结构示意图；以及图9a至图9d为器件卸载部的窝伏尔组件移送部的工作过程侧面示意图。
具体实施例方式以下，参考附图，详细说明本发明的器件处理器。图1为本发明器件处理器的结构示意图；图加及图2b为图示各个切片的结构的 立体图和截面图；图3为用于图1的器件处理器的窝伏尔组件立体示意图；图4为图示在图 1中从切片载入部至器件卸载部的器件的移动过程的概念图；图fe至图5c为晶片载入部 的工作过程平面示意图；图6a至图6d为器件卸载部的工作过程的平面示意图；图7a至图 7d为窝伏尔组件载入部和窝伏尔组件卸载部的工作过程示意图；图8为窝伏尔组件移送部 的结构示意图；图9a至图9d为器件卸载部的窝伏尔组件移送部的工作过程侧面示意图。如图1至图4所示，本发明的器件处理器包括切片载入部100，载入切片(Wafering)20，所述切片20装载有完成检测工序的器 件；切片移动台200，接收从切片载入部100供给的切片20，以将装载有器件10的各个切片 20移动至导出位置PO ；捡起工具(pick up tool) 300，在切片移动台200上的切片20中捡 起合格的器件10 ；以及器件卸载部400，将由捡起工具300传送的合格的器件10安放于窝 伏尔组件(waffle pack) 30，以卸载器件10，所述窝伏尔组件30形成有多个用于安放各个 器件10的安放槽31。所述器件10是构成像COG (Chip On Glass) ,COF (Chip On Film) 一样的作为显示 器驱动芯片的DDI (Display Drive IC)等IC芯片，LED器件等的器件，是完成所谓的半导 体工序和切割工序(以及检测工序、分类工序)的晶片。并且，如图加和图2b所示，在完 成切割工序后，以将所述器件10装载于切片20的状态，对其进行移送。所述切片20作为用于装载器件10并进行移送的结构，可以采用多种结构。如图 加和图2b所示，所述切片20可以包括粘接带21，为了使得各个器件10附着于其上面，其 表面具有粘接性；第一结合环22，结合有粘接带21 ；以及第二结合环23，针对结合于第一结 合环22的粘接带21向外径方向施加张力，使得粘接带21向外径方向出现变形，从而细微 地隔离各个器件10。其中，所述切片20还可以只包括粘接带，为了使得各个器件10附着 于其上面，其表面具有粘接性；以及一个结合环，结合有粘接带。所述切片20可以为圆形、四边形等多种形状，可以由双重结合环构成，还可以由
单一结合环构成。如图3所示，所述窝伏尔组件30形成有多个用于安放器件10的安放槽31，并且可 以具有矩形等多种形状。上下层叠窝伏尔组件30时，为了防止受损，优选地，所述安放槽31的深度设置成 大于器件10的高度。所述切片载入部100可以包括卡盒载入部110，载入切片卡盒(wafering cassette) 111，其中所述切片卡盒111装载有多个切片20，所述切片20装载有器件10 ；晶片移动工具120，为了相互替换第一个切片20和第二个切片20在切片卡盒111和切片移动 台200之间移动切片20，其中，所述第一个切片20为将要导出器件10的切片，所述第二个 切片20为将器件10导出完毕的切片。所述切片卡盒111是用于层叠多个切片20的装置，其中所述切片20装载有器件 10，只要是能够层叠装载切片20的结构均可采用。作为一个实施例，其设置成可上下移动 的结构，从而能够依次导出层叠的切片20。并且，如图1所示，所述切片载入部100还可以包括晶片缓冲部130，用于将第一 个切片20传送至切片移动台200之前，从切片移动台200接收所传送的第二个切片20，第 一个切片10向切片移动台200传送完毕之后，临时保管第二切片20，以将第二切片20传送 至切片卡盒111的空位，其中所述第一个为将要导出器件10的切片，所述第二个切片20为 将器件10导出完毕的切片。所述晶片缓冲部130是用于临时保管切片20的装置，只要是用于支撑切片20的 结构均可采用。所述晶片移动工具120是在切片卡盒111和切片移动台200之间用于移送切片20 的装置，其可以采用多种结构。如图fe至图5c所示，根据该结构可以实现从切片卡盒111 导出第一个切片20时，将第一个切片20移动至切片移动台200的同时，推动位于切片移动 台200的第二个切片20，以将第二个切片20移动至晶片缓冲部130，切片移动台200移动 至导出位置之后，位于晶片缓冲部130的第二个切片20移动至切片卡盒111。所述切片移动台200是将从切片卡盒111导出的切片20移动至导出位置Po的装 置，其中所述导出位置Po是由捡起工具300可以导出器件10的位置，其可以采用多种结 构。如图1所示，其可以进行X-Y移动或者X-Y-θ移动。其中，X-Y代表以切片20的水平 面为基准的垂直坐标系的坐标轴，θ代表以Z轴中心进行旋转。如图4所述，导出位置Po的下侧还可以设置有至少一个加压针脚210，所述切片移 动台200将切片20移动至导出位置Po时，为了便于器件10的捡起，对其进行向上侧的移 动，从而对切片20的粘接带21进行加压。其中，根据器件10的尺寸，所述加压针脚210的 数量有所不同。此时，如果所述加压针脚210是根据器件10的导出位置Po移动的结构时，还需要 增加用于移动的装置，从而增加了制造成本。因此作为优选方案，将其进行固定，进而优选 地将器件10的导出位置Po进行固定。并且，所述切片移动台200的上侧还可以设置有用于获取切片20的图像以检测 器件10的安放状态的第一图像获取部330，例如相机等，从而在本实施例中，通过旋转切片 移动台200，以旋转切片20，进而将器件10的切片20上的安放状态调节为可以安放于窝伏 尔组件30的安放槽31的状态。其中，所述第一图像获取部330可以执行在对器件10安放状态的可视检测以及对 器件10上面的可视检测中的至少一个。一方面，所述捡起工具300是用于移送器件10的装置，其根据捡起方式可以采用 多种结构，其可以包括吸附头(未图示)，随着上下移动(Ζ方向移动)用于产生真空压力 以吸附器件10，从而实现捡起。并且，所述捡起工具300从切片移动台200直接移送至器件卸载部400时，其可以只包括一个捡起工具310。其中，根据器件的移送方式，所述捡起工具300可以采用多种结 构，其还可以设置成能够实现X-Y方向移动、X方向移动、旋转移动等多种方式的移动的结 构。尤其，如图1所示，所述捡起工具300，对窝伏尔组件30进行装载时，需要X方向移 动，则采用可进行χ方向移动的结构。如图1、图6a至图6d所示，所述器件卸载部400包括第一窝伏尔组件移送部501， 移动第一个窝伏尔组件30，以进行卸载，其中第一个窝伏尔组件30安放有被捡起工具310 捡起的器件10 ；以及第二窝伏尔组件移送部502，与被第一窝伏尔组件移送部501移动的 第一窝伏尔组件进行联动，移动第二个窝伏尔组件30，以进行卸载，其中第二个窝伏尔组件 30安放有被捡起工具310捡起的器件10。所述第一窝伏尔组件移送部501和所述第二窝伏尔组件移送部502是具有将被捡 起工具300移送的器件10安放于窝伏尔组件30的安放槽、并且用于移送窝伏尔组件30的 装置，其还可以采用其他多种结构。并且，所述第一窝伏尔组件移送部501和所述第二窝伏尔组件移送部502除了配 置以及窝伏尔组件30的位置有所不同之外，其余结构实际上相同。如图8、图9a至图9d所 示，其可以分别包括第一窝伏尔组件增压部件510和第二窝伏尔组件增压部件520，以各 个窝伏尔组件30的移送方向为基准，分别支撑窝伏尔组件30的前端和后端，以固定窝伏尔 组件30 ；移动机体530，安装有第一窝伏尔组件增压部件510和第二窝伏尔组件增压部件 520，支撑窝伏尔组件30的底面；以及机体驱动部550，沿着机体导向部540对移动机体530 进行移动。所述第一窝伏尔组件增压部件510和所述第二窝伏尔组件增压部件520是可以移 送窝伏尔组件30的、通过支撑窝伏尔组件30的前端和后端以固定窝伏尔组件30的装置， 其可以采用其他多种结构。如图9a和图9b所示，为了能够随意设置窝伏尔组件30的位置， 将第一窝伏尔组件增压部件510和第二窝伏尔组件增压部件520中的至少一个，沿着机体 导向部540可移动地设置于移动机体530。所述第一窝伏尔组件增压部件510和所述第二窝伏尔组件增压部件520中的至少 一个的移动可以由气压泵以及弹簧(spring)等多种组合来实施。并且，为了能够随意设置窝伏尔组件30的位置，所述第一窝伏尔组件增压部件 510和第二窝伏尔组件增压部件520还设置有在与窝伏尔组件30的前端和后端接触的状态 下可以旋转的滚轮(roller)511和滚轮521。一方面，所述第一窝伏尔组件移送部501和第二窝伏尔组件移送部502相互交换 第一个窝伏尔组件30和第二个窝伏尔组件30并移送的过程中，第一窝伏尔组件增压部件 510和第二窝伏尔组件增压部件520可以横向移动第一个窝伏尔组件30或第二个窝伏尔组 件30。并且所述第一窝伏尔组件增压部件510和所述第二窝伏尔组件增压部件520，为了 将窝伏尔组件30移送至将要后述的窝伏尔组件卸载部460之后移送新的窝伏尔组件30，横 向移动窝伏尔组件30至用于接收所传送的新的窝伏尔组件30的位置。进而，在所述第一窝伏尔组件增压部件510和所述第二窝伏尔组件增压部件520 横向移动窝伏尔组件30时，为了使其移动不受干涉，优选地向下侧移动。所述第一窝伏尔组件增压部件510和第二窝伏尔组件增压部件520向下侧移动的机构可以有多种。如图8所示，为了支撑所述第一窝伏尔组件增压部件510和第二窝伏尔组件增压 部件520而设置的移动机体530可以包括固定机体532，沿着机体导向部540可移动地设 置；支撑机体531，与固定机体532 —同可上下移动地设置；以及上下驱动部(未图示)，相 对于固定机体532，上下驱动支撑机体531。因此，第一窝伏尔组件增压部件510和第二窝 伏尔组件增压部件520可以向下侧移动。所述固定机体532，沿着机体导向部540移动地设置，并且与移动部件560结合而 成，其中所述移动部件560，沿着传送带(belt) 570可移动地设置；由驱动装置(未图示)驱 动传送带570。并且所述固定机体532可以设置有至少一个导轨53 ，用于导向支撑机体531的 移动。所述上下驱动部，根据其驱动方式，可以采用多种结构。即，可以采用与第一窝伏 尔组件增压部件510和第二窝伏尔组件增压部件520中的至少一个的驱动方式类似的结 构，例如可以采用由气压泵以及弹簧(spring)等多种组合来实施。一方面，所述第一窝伏尔组件移送部501和所述第二窝伏尔组件移送部502分别 通过第一导向部411和第二导向部412可以依次卸载窝伏尔组件30。所述第一导向部411和第二导向部412是用于导向通过第一窝伏尔组件移送部 501和第二窝伏尔组件移送部502移送的窝伏尔组件30的装置，其可以采用其他多种结构。 其设置成Y轴方向，Y轴方向垂直于捡起工具300的移动方向(X轴)。并且，所述第一导向部411和所述第二导向部412可以以宽度和长度不同的其他 部件进行交替，从而根据窝伏尔组件30的尺寸可以调节长度和宽度，即与第一导向部411 之间的长度和宽度。一方面，所述器件卸载部400可以包括窝伏尔组件载入部450，层叠有多个窝伏 尔组件30，并依次供给窝伏尔组件30 ；以及一个以上的窝伏尔组件移送工具470、480，从窝 伏尔组件载入部450移送窝伏尔组件30，并传递给第一窝伏尔组件移送部501或第二窝伏 尔组件移送部502。只要是层叠有多个窝伏尔组件30并依次供给窝伏尔组件30的结构，所述窝伏尔 组件载入部450均可采用。如图1、图6a至图6d、图7a至图7d所示，窝伏尔组件载入部 450可以包括一个以上的垂直框架451，支撑窝伏尔组件30的侧面以导向上下移动；上下 移动部453，沿着垂直框架451上下移动窝伏尔组件30 ；以及限位器452，为了让将要后述 的第一窝伏尔组件移送工具470导出窝伏尔组件30，用于支撑最下端的窝伏尔组件30的底 面，使其与上下移动部453之间维持间隔。所述垂直框架451是用于维持窝伏尔组件30的层叠状态，并用于导向上下移动的 装置，其可以采用多种结构。为了适应多种尺寸的窝伏尔组件30，其可以采用可调节宽度和 长度的结构。如图7a至图7d所示，所述上下移动部453是支撑窝伏尔组件30的底面或侧面以 向上侧移动，并且向下侧移动时予以支撑的结构，其可以采用多种其他结构。如图7a所示，所述限位器452通过支撑部件45 支撑最下端的窝伏尔组件30的 底面或侧面；如图7b所示，上升上下移动部453，在支撑窝伏尔组件30的状态下，通过线形驱动部452b线形移动支撑部件452a，从而解除对其的支撑。并且，如图7c所示，支撑所述窝伏尔组件30的上下移动部453向下侧下降。此时， 线形移动支撑部件45 ，以支撑位于上侧的窝伏尔组件30。如图7d所示，所述第一窝伏尔 组件移送工具470通过对被上下移动部453支撑的窝伏尔组件30进行加压以将其导出。一方面，所述器件卸载部400还可以包括窝伏尔组件卸载部460，设置于移动路 径MP另一端，依次层叠有窝伏尔组件30，其中所述窝伏尔组件30装载有器件10。所述窝伏尔组件卸载部460的结构及工作，与窝伏尔组件载入部450的结构及工 作类似，因此省略详细说明。其中，与窝伏尔组件载入部450的结构相关，以窝伏尔组件移送部500代替第一窝 伏尔组件移送工具470 ；针对上下移动部453的结构，除了还包括用于移动窝伏尔组件移送 部500的结构外，其余结构几乎相同。图7a至图7d中，附图标记461、462、462a、462b以及463分别为垂直框架、限位 器、支撑部件、线形驱动部以及上下移动部。并且，与所述窝伏尔组件载入部450相关，窝伏尔组件载入部450和窝伏尔组件卸 载部460可以相互平行设置。所述第一窝伏尔组件移送工具470、第二窝伏尔组件移送工具480是将窝伏尔组 件30从窝伏尔组件载入部450传送至第一窝伏尔组件移送部501或第二窝伏尔组件移送 部502的结构，其还可以采用其他多种结构。其可以包括第一窝伏尔组件移送工具470， 以第一方向LPl进行移送；以及第二窝伏尔组件移送工具480，通过第一窝伏尔组件移送工 具470将窝伏尔组件30移送完毕后，以第二方向LP2进行移动窝伏尔组件30，并传递给第 一窝伏尔组件移送部501或第二窝伏尔组件移送部502。所述第一窝伏尔组件移送工具470和所述第二窝伏尔组件移送工具480是用于移 送窝伏尔组件30的结构，其还可以采用其他多种结构，其还可以包括增压部件471、增压 部件481，对窝伏尔组件30的一侧增压；以及驱动部(未图示)，通过增压部件471、增压部 件481向各个方向，即LP1、LP2，移送窝伏尔组件30。其中，所述第一窝伏尔组件移送工具470和所述第二窝伏尔组件移送工具480的 增压部件471、增压部件481可以形成为分别用于导向窝伏尔组件30的移送的导向部的一 部分。一方面，第一窝伏尔组件移送工具470，通过第二导向部412和第三导向部413，依 次移送窝伏尔组件30 ；第二窝伏尔组件移送工具480，通过第二导向部412和第四导向部 414，依次移送窝伏尔组件30，从而将其传递给第一窝伏尔组件移送部501或第二窝伏尔组 件移送部502。其中，如上所述，所述第三导向部413通过与第二导向部412交替，可以根据窝伏 尔组件30的尺寸调节第一载入路径LPl的宽度和长度，即与第三导向部413之间的宽度和 长度。一方面，所述窝伏尔组件30的移送路径上设定有装载位置，即与捡起工具300的 移动方向LL(X轴)相互交叉的装载地点中，用于将通过捡起工具300移送的器件10安放 于窝伏尔组件30的安放槽31的位置。其中，为了确认器件10是否稳定地安放于窝伏尔组 件30的安放槽31内，所述装载位置的上部可以设置有第二图像获取部350，例如相机。
以下，对具有上述结构的器件卸载部400的工作进行详细说明。通过如图7a至图7d所示的步骤，由第一窝伏尔组件移送工具470依次从窝伏尔 组件载入部450导出将要装载器件10的多个窝伏尔组件30。如图6a所示，由第一窝伏尔组件移送工具470沿着第一方向LPl移送从所述窝伏 尔组件载入部450被导出的窝伏尔组件30。此时，所述第二窝伏尔组件移送工具480等待 导向部的一部分，其用于导向通过第一窝伏尔组件移送工具470移送的窝伏尔组件30。如图6b所示，通过所述第一窝伏尔组件移送工具470的窝伏尔组件30的移送完 成之后，第二窝伏尔组件移送工具480，沿着第二方向LP2移送窝伏尔组件30，以将其传递 给预先等待的第一窝伏尔组件移送部501或第二窝伏尔组件移送部502。此时，第一窝伏尔 组件移送工具470等待导向部的一部分，其用于导向通过第二窝伏尔组件移送工具480移 送的窝伏尔组件30。则如图6c所示，如果所述窝伏尔组件30传送给第一窝伏尔组件移送部501或第 二窝伏尔组件移送部502，则第一窝伏尔组件移送部501或第二窝伏尔组件移送部502移送 窝伏尔组件30，并且移送至与先前被移送的窝伏尔组件30相邻的位置后，与先行的窝伏尔 组件30的移动进行联动，从而实现移送。一方面，先行的窝伏尔组件30，通过第一窝伏尔组件移送部501或第二窝伏尔组 件移送部503，经过与捡起工具300的移送方向LL (X轴)相互交叉的装载地点时，被填满器 件10，然后向窝伏尔组件卸载部460移送。并且，移送先行的窝伏尔组件30的同时，通过另外的窝伏尔组件移送部，即第二 窝伏尔组件移送部502或者第一窝伏尔组件移送部501，紧随其后的窝伏尔组件30经过装 载地点。如上所述，向与捡起工具300的移送方向LL(X轴)相互交叉的装载地点，不断地 移送用于装载器件10的窝伏尔组件30，因此器件卸载部400可以更迅速地执行器件10的 卸载过程。一方面，填满器件10的窝伏尔组件30，通过窝伏尔组件移送部500，移送至窝伏尔 组件卸载部460之后，通过与如图7a至图7d所示的过程相反的过程，层叠于窝伏尔组件卸 载部460，从而实现装载。以上为能够实现本发明的较佳实施例，因此本发明并不限于上述的实施例，采用 了在上述实施例中说明的技术思想的任何改变应均落入本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种器件处理器，其特征在于，包括 切片载入部，载入装载有器件的切片；切片移动台，接收从所述切片载入部供给的所述切片，移动装载有器件的所述切片； 捡起工具，从所述切片移动台上的所述切片中捡起合格的器件；以及 器件卸载部，其包括第一窝伏尔组件移送部，移动第一窝伏尔组件并进行卸载，其中 所述第一窝伏尔组件安放有由所述捡起工具捡起的器件；以及第二窝伏尔组件移送部，与 通过所述第一窝伏尔组件移送部移送的第一窝伏尔组件进行联动，移动第二窝伏尔组件并 进行卸载，其中所述第二窝伏尔组件安放有由所述捡起工具捡起的器件。
2.根据权利要求1所述的器件处理器，其特征在于，所述器件卸载部包括 窝伏尔组件载入部，层叠有多个窝伏尔组件，并依次供给所述窝伏尔组件；以及至少一个窝伏尔组件移送工具，从所述窝伏尔组件载入部移送所述窝伏尔组件，并传 递给所述第一窝伏尔组件移送部或所述第二窝伏尔组件移送部。
3.根据权利要求2所述的器件处理器，其特征在于，所述窝伏尔组件移送工具包括 第一窝伏尔组件移送工具，向第一方向移送所述窝伏尔组件；以及第二窝伏尔组件移送工具，通过所述第一窝伏尔组件移送工具将所述窝伏尔组件移送 完毕之后，向第二方向移送所述窝伏尔组件，并传递给所述第一窝伏尔组件移送部或所述 第二窝伏尔组件移送部。
4.根据权利要求3所述的器件处理器，其特征在于，所述第一窝伏尔组件移送部和所述第二窝伏尔组件移送部，分别通过第一导向部和第 二导向部依次卸载所述窝伏尔组件；所述第一窝伏尔组件移送工具，通过所述第二导向部 和第三导向部，依次移送所述窝伏尔组件；所述第二窝伏尔组件移送工具，通过所述第二导 向部和第四导向部，依次移送所述窝伏尔组件；从而传递给所述第一窝伏尔组件移送部或 所述第二窝伏尔组件移送部。
5.根据权利要求4所述的器件处理器，其特征在于，根据所述窝伏尔组件的尺寸，以不同宽度和长度的部件交替所述第二导向部。
6.根据权利要求1所述的器件处理器，其特征在于，所述第一窝伏尔组件移送部和所 述第二窝伏尔组件移送部分别包括第一窝伏尔组件增压部件和第二窝伏尔组件增压部件，分别支撑窝伏尔组件的前端和 后端，以固定窝伏尔组件；移动机体，安装有所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增压部件，分 别支撑所述窝伏尔组件的底面；以及机体驱动部，沿着机体导向部件分别移动各个所述移动机体。
7.根据权利要求6所述的器件处理器，其特征在于，所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增压部件设置有滚轮，其与窝伏 尔组件的前端和后端接触的状态下，能够旋转。
8.根据权利要求6所述的器件处理器，其特征在于，所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增压部件中的至少一个，设置于 所述移动机体。
9.根据权利要求6所述的器件处理器，其特征在于，所述移动机体包括固定机体，沿着所述机体导向部件能够移动地设置； 支撑机体，与所述固定机体一起，能够上下移动地设置。
10.根据权利要求1所述的器件处理器，其特征在于，所述器件卸载部还设置有图像获取部，其用于执行在器件安放状态的可视检测以及对 器件上面的可视检测中的至少一个，获取安放于窝伏尔组件的器件的图像。
全文摘要
本发明涉及器件处理器，尤其涉及根据检测结果在晶片状态的器件中，将合格的器件装载于窝伏尔组件的器件处理器。本发明公开了一种器件处理器，可以包括切片载入部，载入装载有器件的切片；切片移动台，接收从切片载入部供给的切片，移动装载有器件的切片；捡起工具，从切片移动台上的切片中捡起合格的器件；以及器件卸载部，其包括第一窝伏尔组件移送部，移动第一窝伏尔组件并进行卸载，其中所述第一窝伏尔组件安放有由所述捡起工具捡起的器件；以及第二窝伏尔组件移送部，与通过所述第一窝伏尔组件移送部移送的第一窝伏尔组件进行联动，移动第二窝伏尔组件并进行卸载，其中所述第二窝伏尔组件安放有由所述捡起工具捡起的器件。
文档编号H01L21/67GK102142386SQ20101060844
公开日2011年8月3日 申请日期2010年12月23日 优先权日2009年12月24日
发明者尹芸重, 柳弘俊 申请人:宰体有限公司