专利名称：一种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒的制作方法
技术领域：
本发明涉及液晶面板制造领域，尤其涉及ー种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒。
背景技术：
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管液晶显示器)阵列エ艺过程中，通常基板需要至少4次以上的成膜，光刻，刻蚀，剥离等处理过程，在此过程中需要将基板在设备间进行来回搬运。一般地，基板是放置在放置盒中进行搬运的，整个搬运过程是完全自动化进行的，当エ艺设备发生问题，导致基板破损时，由于有些设备检测能力有限或根本就没有基板破损检测装置，破损基板不能有效检测出来，因此在后续生产过程中会严重影响阵列基板的成品率。
发明内容
本发明的实施例提供ー种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒，能够在放置盒内检测基板是否受损，保证后续エ艺的成品率。为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案一方面提供ー种放置盒，包括放置盒框架，位于所述放置盒框架顶部的顶部金属板、位于所述放置盒框架底部的底部金属板，在所述放置盒框架上设有多层基板放置架，其特征在干，所述放置盒的每层基板放置架上均设有至少ー个压カ传感器，或者，所述放置盒的隔层基板放置架上设有至少ー个压カ传感器；所述压カ传感器用于获取放置在所述基板放置架上的基板的压カ值；数据处理単元，与所述基板放置架上的压カ传感器分别相连，用于根据所述压カ传感器获取的压カ值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损。一方面，提供ー种放置盒内基板破损的检测方法，包括获取放置在每层基板放置架上的基板的压カ值，或者，获取放置在隔层基板放置架上的基板的压カ值；根据所述压カ值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损。本实施例提供的放置盒内基板破损的检测方法及放置盒，基板在放置盒中搬运时，通过放置盒框内多层基板放置架上压カ传感器获取的基板压カ值，判断基板是否发生破损。这样，在搬运过程中能够进行检测，可以及时发现基板破损，避免后续エ艺过程中基板连续破损的发生，从而保证了基板的成品率。由于未在エ艺设备上增加检测设备，不会涉及エ艺设备的改造问题，降低了检测成本。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本发明实施例提供的放置盒的构造示意图；图2为本发明实施例提供的放置盒的另ー构造示意图；图3为本发明实施例提供的放置盒的又ー构造示意图；图4为本发明实施例提供的放置盒内基板破损的检测方法的流程示意图；图5本发明实施例提供的放置盒内基板破损的检测方法的另一流程示意图。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供的放置盒10，如图I、图2所示，包括放置盒框架102、位于放置盒框架102顶部的顶部金属板101、位于放置盒框架102底部的底部金属板103，在放置盒框架102上设有多层基板放置架104，还包括基板放置架104上设有至少ー个压カ传感器105，用于获取放置在基板放置架104上的基板的压カ值。数据处理単元106，与基板放置架104上的压カ传感器105分别相连，用于根据压力传感器105获取的压カ值确定放置在基板放置架104上的基板是否发生破损。示例性的，如图I所示，放置盒10的每层基板放置架104上均设有至少ー个压カ传感器105。或者，如图2所示，放置盒10的隔层基板放置架104上设有至少ー个压カ传感器 105。本发明实施例提供的放置盒，基板在放置盒中搬运时，通过放置盒框内多层基板放置架上压カ传感器获取的基板压カ值，判断基板是否发生破损。这样，在搬运过程中能够进行检测，可以及时发现基板破损，避免后续エ艺过程中基板连续破损的发生，从而保证了基板的成品率。由于未在在エ艺设备上增加检测设备，不会涉及エ艺设备的改造问题，降低了检测成本。进ー步地，在本实施例中，放置盒10中各层基板放置架104上设置的压カ传感器105的位置可以相同。这样，各层基板放置架104上获得的正常基板的压カ值相等，便于进行数据处理。进ー步的，如图3所示，放置盒10还包括报警器107，与数据处理単元106连接，用于当数据处理単元106确定放置盒10中的基板发生破损时，进行报警。本发明实施例提供的放置盒内基板破损的检测方法，以放置盒的每层基板放置架上均设有至少ー个压カ传感器为例进行说明。如图4所示，该方法步骤包括S401、获取放置在每层基板放置架上的基板的压カ值；S402、根据压カ值确定放置在基板放置架上的基板是否发生破损；
S403、当确定基板发生破损时，发出报警，以及时通知相关工作人员进行处理。示例性的，可以确定获取的各层压カ值中小于预设第一阈值的基板放置架发生基板破损。该第一阈值可以是预先检测得到的未破损的正常基板的压カ值平均值，或在一定范围内对该压力平均值扩大后的范围值。因此，一旦某ー层基板放置架上的基板压カ值小于该第一阈值，则说明该层基板掉落了碎片，质量变小，重力变轻，则确定出现了破损。另ー种方法是分别计算上下两层基板放置架上的基板的压カ差值；确定该压力差值中大于预设第二阈值的上下两层基板放置架中发生基板破损。该第二阈值可以是预先检测得到的未破损的正常基板的压カ差值平均值，或在一定范围内对该压カ差值平均值扩大后的范围值。因此，若某ー层基板放置架上的基板发生了破损，其质量会减小，重力会变 轻，因而该层基板放置架获取的压カ值就会变小，该压カ值与上下层基板放置架中的正常压カ值的差值就会变大，当大于第二阈值时，就可以确定出该压カ差值所在的上下两层基板放置架中发生了基板破损。本实施例提供的放置盒内基板破损的检测方法，基板在放置盒中搬运时，通过放置盒框内多层基板放置架上压カ传感器获取的基板压カ值，判断基板是否发生破损。这样，在搬运过程中能够进行检测，可以及时发现基板破损，避免后续エ艺过程中基板连续破损的发生，从而保证了基板的成品率。由于未在在エ艺设备上增加检测设备，不会涉及エ艺设备的改造问题，降低了检测成本。本发明另一实施例提供的放置盒内基板破损的检测方法，以放置盒的隔层基板放置架上设有至少ー个压カ传感器为例进行说明。如图5所示，该方法步骤包括S501、获取放置在隔层基板放置架上的基板的压カ值；S502、根据压カ值确定放置在基板放置架上的基板是否发生破损；示例性的，可以确定压カ值中小于预设第三阈值的基板放置架发生基板破损。在此，该第三阈值可以是预先检测得到的未破损的正常基板的压カ值平均值，或在一定范围内对该压力平均值扩大后的范围值。因此，一旦某ー层基板放置架上的基板压カ值小于该第三阈值，则说明该层基板掉落了碎片，质量变小，重力变轻，则确定出现了破损。或者，确定压力值中大于预设第三阈值的基板放置架的上层发生基板破损。这是因为，如果某ー层基板放置架上的基板在放置盒中发生破损，其破损的碎片会掉落到下一层的基板上，因而下ー层基板的重量会变大，该下ー层基板放置架上的压カ传感器获取到的压カ值就会变大，进而大于第三阈值。所以，若出现了某层压カ值大于第三阈值，则说明其上ー层基板掉落了碎片，出现了破损。S503、当确定基板发生破损时，发出报警，以及时通知相关工作人员进行处理。本实施例提供的放置盒内基板破损的检测方法，基板在放置盒中搬运时，通过放置盒框内多层基板放置架上压カ传感器获取的基板压カ值，判断基板是否发生破损。这样，在搬运过程中能够进行检测，可以及时发现基板破损，避免后续エ艺过程中基板连续破损的发生，从而保证了基板的成品率。由于未在在エ艺设备上增加检测设备，不会涉及エ艺设备的改造问题，降低了检测成本。需要说明的是，在上述检测方法的各个实施例中，放置盒中各层基板放置架上设置的压カ传感器位置相同。这样，便于进行数据处理。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之 内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
权利要求
1.一种放置盒，包括放置盒框架，位于所述放置盒框架顶部的顶部金属板、位于所述放置盒框架底部的底部金属板，在所述放置盒框架上设有多层基板放置架，其特征在于，还包括， 所述放置盒的每层基板放置架上均设有至少一个压力传感器，或者，所述放置盒的隔层基板放置架上设有至少一个压力传感器；所述压力传感器用于获取放置在所述基板放置架上的基板的压力值； 数据处理单元，与所述基板放置架上的压力传感器分别相连，用于根据所述压力传感器获取的压力值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损。
2.根据权利要求I所述的放置盒，其特征在于，所述放置盒中各层基板放置架上设置的压力传感器位置相同。
3.根据权利要求I所述的放置盒，其特征在于，所述放置盒还包括 报警器，与所述数据处理单元连接，用于当所述数据处理单元确定所述放置盒中的基板发生破损时，进行报警。
4.一种放置盒内基板破损的检测方法，其特征在于，包括 获取放置在每层基板放置架上的基板的压力值，或者，获取放置在隔层基板放置架上的基板的压力值； 根据所述压力值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，获取放置在每层基板放置架上的基板的压力值后，所述根据所述压力值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损包括 确定所述压力值中小于预设第一阈值的基板放置架上发生基板破损。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，获取放置在每层基板放置架上的基板的压力值后，所述根据所述压力值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损包括 分别计算上下两层基板放置架上的基板的压力差值； 确定所述压力差值中大于预设第二阈值的上下两层基板放置架中发生基板破损。
7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，获取放置在隔层基板放置架上的基板的压力值后，所述根据所述压力值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损包括 确定所述压力值中小于预设第三阈值的基板放置架发生基板破损；或者， 确定所述压力值中大于预设第三阈值的基板放置架的上层发生基板破损。
8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括 当确定基板发生破损时，发出报警。
9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述放置盒中各层基板放置架上设置的压力传感器位置相同。
全文摘要
本发明实施例提供一种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒。涉及液晶面板制造领域，能够在放置盒内检测基板是否受损，保证后续工艺的成品率。该放置盒，包括放置盒框架，位于放置盒框架顶部的顶部金属板、位于放置盒框架底部的底部金属板，在放置盒框架上设有多层基板放置架，放置盒的每层基板放置架上均设有至少一个压力传感器，或者，放置盒的隔层基板放置架上设有至少一个压力传感器；压力传感器用于获取放置在基板放置架上的基板的压力值；数据处理单元，与基板放置架上的压力传感器分别相连，用于根据压力传感器获取的压力值确定放置在基板放置架上的基板是否发生破损。本发明实施例用于在搬送基板的过程中对基板进行检测。
文档编号H01L21/66GK102651329SQ201110281848
公开日2012年8月29日 申请日期2011年9月21日 优先权日2011年9月21日
发明者秦纬, 董云 申请人:北京京东方光电科技有限公司