衬底处理系统的制作方法

专利名称：衬底处理系统的制作方法
技术领域：
本发明构思涉及用于处理衬底的系统，更具体地讲，涉及一种用于在包括传送模块的多个加工设备之间处理衬底的系统。
背景技术：
半导体加工在装设在无尘室中的多个加工设备中进行。通常，每个加工设备可以包括装载端口、传送模块和处理模块。包含多个衬底的容器置于装载端口上。传送模块布置在装载端口与处理模块之间，并且可以包括搬送机器人，用于在置于装载端口上的容器与处理模块之间搬送衬底。美国已公布专利第2008/0255697号中公开了上述加工设备的一个示例。多个加工设备布置在一个无尘室中，并且彼此间隔开。多个衬底以被包含在容器中的状态通过搬送装置或工人在多个加工设备之间进行传送。

发明内容
本发明的一个目的在于提供一种衬底处理系统，其在利用多个加工设备进行加工时可以有效地进行加工。本发明要解决的技术问题并不限于此，本领域的技术人员通过下述的说明可以清楚地理解未提及的其他技术问题。本发明构思的实施例提供一种衬底处理系统。所述衬底处理系统可以包括多个加工设备，每个加工设备分别包括传送模块和处理模块，所述传送模块中设置有搬送机器人，所述处理模块连接到所述传送模块；缓冲台，其位于相邻的所述传送模块之间，并且用于在所述传送模块之间传送衬底，其中，所述多个加工设备包括至少一个第一设备，在该第一设备中处理模块位于沿着所述传送模块和所述缓冲台排列的方向所提供的连接线的第一侧；以及至少一个第二设备，在该第二设备中处理模块位于所述连接线的第二侧，其中，与提供给所述第二设备的传送模块相比较，提供给所述第一设备的传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。本发明构思的实施例还提供一种衬底处理系统。所述系统可以包括第一传送模块，其中设置有搬送机器人；第二传送模块，其中设置有搬送机器人；第一缓冲台，其布置在所述第一传送模块与所述第二传送模块之间，并且用于在所述第一传送模块和所述第二传送模块之间传送衬底；第一处理模块，其与所述第一传送模块结合并且布置在连接线的第一侧，其中，所述连接线的方向是沿所述第一传送模块、所述第一缓冲台和所述第二传送模块排列的方向；以及第二处理模块，其与所述第二传送模块结合并且布置在所述连接线的第二侧，其中，关于所述连接线，与所述第二传送模块相比较，所述第一传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。根据本发明构思，可以有效地执行加工设备之间的衬底搬送。此外，根据本发明构思，可以有效地利用安装有多个加工设备的无尘室的有限空间


图I是示出衬底处理系统的一个示例的俯视图。图2是示出传送模块和缓冲台的内部结构的截面视图。图3是粗略示出图2的缓冲部件的一个示例的透视图。图4是粗略示出图2的缓冲部件的另一个示例的透视图。图5是粗略示出图I的缓冲台的一个示例的透视图。图6是粗略示出图I的缓冲台的另一个示例的俯视图。图7和图8分别是示出图I的缓冲台的再一个示例的透视图。图9是描述图I的衬底处理系统中的传送模块的形状的示图。图10至图15分别是粗略示出图I的衬底处理系统的另一个示例的俯视图。图16是粗略示出图15的衬底处理系统的一个示例的示图。图17至图19分别是示出图I的衬底处理系统的再一个示例的俯视图。图20是示出图19的衬底处理系统的一个示例的示图。图21至图23是粗略示出衬底处理系统的再一个示例的俯视图。图24至图26是粗略示出布置多个图I的衬底处理系统的一个示例的俯视图。图27至图29分别是粗略示出衬底处理系统中衬底的搬送路径的示图。
具体实施例方式以下将参考附图I至29来更详细地描述本发明构思的优选实施例。但是，本发明构思的实施例可以以不同形式来实现，而不应理解为限于本文所述的实施例。更确切地说，提供这些实施例是为了使本公开完整和彻底以及将完整地向本领域技术人员传递本发明构思的范围。附图中，为了清楚起见，可能放大了元件的形状。图I是示出根据本发明构思的一个实施例的衬底处理系统1000的透视图。参照图1，衬底处理系统1000包括多个加工设备1200和多个缓冲台1400。每个加工设备1200可以包括装载端口 1220、传送模块1240和处理模块1260。在一个加工设备1200中，装载端口1220、传送模块1240和处理模块1260可以顺序排列成直线。属于不同的加工设备1200的传送模块1240可以定位成彼此在一条直线上排列。缓冲台1400可以布置在相邻加工设备1200的传送模块1240之间。当从俯视图观看时，在一个加工设备1200中，装载端口 1220、传送模块1240和处理模块1260排列的方向可以与传送模块1240和缓冲台1400排列的方向垂直。下文中，将传送模块1240和缓冲台1400排列的方向称为第一方向10，将装载端口1220、传送模块1240和处理模块1260排列的方向称为第二方向20。包含多个衬底的容器30位于装载端口 1220上。容器30可以通过诸如高架传送器之类的搬送装置40来装载或卸载。可选择地，容器30可以通过自动搬运车、轨道搬运车或工人来装载到装载端口 1220上或从装载端口 1220上卸载。可以使用作为封闭式容器的前端开启式晶圆传送盒来作为容器30。在每个加工设备1200中，可以提供一个或多个装载端口 1220。在提供多个装载端口 1220的情况下，装载端口 1220可以沿第一方向10排成一行。多个装载端口 1220之间可以紧靠地排在一起。在图I中，示出了在每个装载端口1220中提供两个装载端口 1220的情况。但是，给每个加工设备1200提供的装载端口 1220的数量可以与此不同。另外，加工设备1200彼此之间可以具有不同数量的装载端口 1220。传送模块1240包括外壳1250和搬送机器人1242。外壳1250通常具有直六面体形状。外壳1250具有顶面(图2的1251)、底面(图2的1252)、第一侧面1253、第二侧面1254、第三侧面1255和第四侧面1256。第一侧面1253与第三侧面1255彼此面对，第二侧面1254与第四侧面1256彼此面对。第一侧面1253与第二侧面1254垂直。第一侧面1253面对装载端口 1220，第三侧面1255面对处理模块1260。用于衬底进出容器30的开口(未示出)以及用于打开和关闭该开口的门(未示出)可以设置在外壳1250的第一侧面1253。用于衬底进出处理模块1260的开口(未不出)以及用于打开和关闭该开口的门(未示出)可以设置在外壳1250的第三侧面1255。而且，用于衬底进出缓冲台1400的开口(图2的1257)可以分别形成在外壳1250的第二侧面1254和/或第四侧面1256。用于打开容器30的门的开门器(未示出)可以设置在外壳1250中。外壳1250设置为使得外壳1250的内部区域与外部隔离。风机过滤单兀(未示出)设置在外壳1250的顶面上，所述风机过滤单元可以进行引导，使得外壳1250中过滤的空气沿从上向下的方向流动。从而，可以保持外壳1250内比外壳1250外清洁。搬送机器人1242在置于装载端口 1220上的容器30与处理模块1260之间、在置于装载端口 1220上的容器30与缓冲台1400之间以及在处理模块1260与缓冲台1400之间搬送衬底。引导轨道1246设置在外壳1250中，并且与第一方向10平行。搬送机器人1242可以位于引导轨道1246上，从而沿着引导轨道1246作直线移动。搬送机器人1242可以向上和向下移动。搬送机器人1242的手1244可以在水平面上向前移动、向后移动和旋转。可以提供一只或多只手1244。在图I中，描述了具有两只手1244的搬送机器人1242。处理模块1260可以包括装载锁定腔1262、传送腔1264和加工腔1266。从俯视图观看时，传送腔1264通常可以具有多边形形状。在图I中，示出了传送腔1264具有从俯视图观看时的六边形形状。但是，可以对传送腔1264的形状进行各种改变。搬送机器人1268设置在传送腔1264中。搬送机器人1268可以向上和向下移动，搬送机器人1268的手1269可以在水平面上向前移动、向后移动以及旋转。可以提供一只或多只手1269。在图I中，描述了具有两只手1269的搬送机器人1268。装载锁定腔1262和加工腔1266设置在传送腔1264的周围。装载锁定腔1262位于传送腔1264上与传送模块1240相邻的侧面部分，加工腔1266位于传送腔1264的其他侧面部分。可以提供一个或多个装载锁定腔1262。根据一个实施例，提供两个装载锁定腔1262。将要进入处理模块1260以进行加工的衬底可以暂时停留在一个装载锁定腔1262中，加工完成之后从处理模块1260输出的衬底可以暂时停留在另一个装载锁定腔1262中。与此不同地，可以提供一个或多个装载锁定腔1262，进行加工之前的衬底和完成加工之后的衬底可以停留在每一个装载锁定腔1262中。传送腔1264和加工腔1266内可以保持为第一压强，传送模块1240内可以保持为第二压强，以及装载锁定腔1262内可以转换为第一压强和第二压强。第一压强可以低于第二压强。例如，第一压强可以为真空压强，而第二压强可以为大气压强。加工腔1266对衬底执行预定加工。例如，加工腔1266可以执行诸如清洁、灰化、沉积、刻蚀或测量之类的加工。可以在传送腔1264的一个侧面部分提供一个或多个加工腔、1266。加工腔1266可以被设置在传送腔1264上除了设置装载锁定腔1262的侧面部分之外的全部或一部分其他侧面部分上。在提供多个加工腔1266的情况下，多个加工腔1266可以对衬底执行相同的加工。可选择地，多个加工腔1266可以对衬底执行不同的加工。力口工腔1266可以具有这样的结构，其以真空压强对衬底进行加工。可选择地，加工腔1266可以具有这样的结构，其以大气压强对衬底进行加工。缓冲台1400可以设置在相邻传送模块1240a、1240b之间。图2是示出设置在传送模块1240a、1240b之间的缓冲台1400的一个示例的示图。图3是示出图2的缓冲部件1440的一个示例的透视图。参照图2和图3，缓冲台1400包括外壳1420和缓冲部件1440。 外壳1420可以被设置为在内部具有空间的直六面体筒形状。外壳1420的一端与第一传送模块1240a结合,外壳1420的另一端与第二传送模块1240b结合。外壳1420的一端和另一端可以沿第一方向10彼此间隔开，并且可以彼此面对。缓冲部件1440可以固定安装在外壳1420中。缓冲部件1440可以包括主体1442和多个缓冲器1444。主体1442具有直六面体筒形状，垂直于第一方向10的侧面是打开的。缓冲器1444可以设置在主体1442内。缓冲器1444可以被设置为在上下方向上彼此间隔开。每个缓冲器1444包括支撑衬底的边缘部分的两个板1444a和1444b。板1444a和1444b设置为沿第二方向20彼此间隔开。搬送机器人1242的手1244可以沿着板1444a、1444b之间的间隔空间向上和向下移动。位于缓冲台1400两侧的传送模块1240a、1240b的搬送机器人1242被提供用于装载或卸载衬底。与此不同地，缓冲部件1440可以具有一个如图4所示的缓冲器1445。再次参照图2，打开和关闭形成在面对缓冲台1400的一侧上的开口 1257的门1258可以设置在传送模块1240a、1240b的外壳1250上。在加工设备1200中的一个发生错误的情况下，使用门1258关闭开口 1257，并且每个加工设备1200可以独立于其他加工设备1200来使用。在这种情况下，加工设备1200之间的衬底的传送可以在衬底提供在容器30中的状态下通过高架传送器40执行。可选择地，包含衬底的容器30可以通过自动搬运车、轨道搬运车或工人来在加工设备1200之间进行传送。图5是示出缓冲台1401的另一个示例的示图。在图5中，移除了外壳1421，以显示缓冲台1401的内部。参照图5，缓冲台1401包括外壳1421、缓冲部件1441和缓冲器驱动部件1460。图5中的外壳1421和缓冲部件1441与图2和图3中的外壳1420和缓冲部件1440具有类似的结构。但是，与图2的外壳1420相比，图5的外壳1421沿第一方向10具有更长的长度。缓冲器驱动部件1460在外壳1421中沿着第一方向10将缓冲部件1441从第一位置移动到第二位置。第一位置是与位于缓冲台1401的一侧的传送模块1240a(下文中称其为第一传送模块)相邻的位置，第二位置是与位于缓冲台1401的另一侧的另一传送模块1240b (下文中称其为第二传送模块)相邻的位置。缓冲器驱动部件1460包括引导轨道1461和基座1462。引导轨道1461布置在外壳1421中，以使得引导轨道1461的长度方向平行于第一方向10,并且被设置为从第一位置延伸到第二位置。基座1462与引导轨道1461结合，使得其可以通过驱动器(未示出)沿着引导轨道1461移动。缓冲部件1441与基座1462固定结合，从而与基座1462 —起移动。当相邻传送模块1240a和1240b之间的距离相对较远时，可以使用图5的缓冲台1401。图6是粗略示出图I的缓冲台1402的另一个示例的俯视图。参照图6，缓冲台1402可以包括外壳1422、第一缓冲部件1442a、第二缓冲部件1442b和搬送部件1480。图6的外壳1422可以具有与图2的外壳1420类似的结构。图6的第一缓冲部件1442a和第二缓冲部件1442b可以具有与图3的缓冲部件1440类似的结构。但是，与图2的外壳1420相比，图6的外壳1422沿第一方向10具有更长的长度。第一缓冲部件1442a位于与布置在缓冲台1402的一侧的第一传送模块1240a相邻的位置。第二缓冲部件1442b位于与布置在缓冲台1402的另一侧的第二传送模块1240b相邻的位置。搬送部件1480在第一缓冲部件1442a与第二缓冲部件1442b之间传送衬底。搬送部件1480具有引导轨道1481和搬送机器人1482。引导轨道1481布置在外壳1422中，以使得引导轨道1481的长度方向平行于第一方向10。引导轨道1481从与第一缓冲部件1442a相邻的位置延伸到与第二缓冲部件1442b相邻的位置。搬送机器人1482与引导轨道1481结合，使其可以通过驱动器(未示出)沿着引导轨道1481进行传送。搬送机器人1482将衬底从第一缓冲部件1442a搬送到第二缓冲部件1442b。搬送机器人1482具有一只或多只手1483。例如，搬送机器人1482可以具有两只手，或者可以具有与可以装载到第一缓冲部件1442a上的衬底的数量一样多的手。当相邻传送模块1240a、1240b之间的距离相对较长时，可以使用图6的缓冲台1402。
再次参照图1，缓冲台1400可以以与传送模块1240为一个整体的方式来设置。可选择地，缓冲台1400以可拆卸的方式安装在传送模块1240上。可以如下来安装衬底处理系统1000。依次并且重复地安装加工设备1200和缓冲台1400，并且可以最后安装加工设备1200。当安装缓冲台1400时，缓冲台1400紧靠之前刚刚安装的加工设备1200的传送模块1240安装，以及当安装加工设备1200时，传送模块1240紧靠之前刚刚安装的缓冲台1400安装。之后，使用诸如螺钉之类的结合部件(未示出)来固定传送模块1240和缓冲台1400。作为选择，可以如下来安装衬底处理系统1000。首先，安装多个加工设备1200，使得多个传送模块1240被定位成彼此之间以规定间隔间隔开。之后，缓冲台1400被定位在传送模块1240之间。在这种情况下，缓冲台1400可以被设置为使得其沿第一方向10的长度可以改变。在缓冲台1400被定位在传送模块1240之间之后，增大缓冲台1400的长度使其紧靠传送模块1240。之后，使用诸如螺钉之类的结合部件(未示出)来固定传送模块1240和缓冲台1400。图7是示出长度可以改变的缓冲台1403的一个示例的透视图。参照图7，缓冲台1403的外壳1423可以包括主体1423a、风箱1423b和结合板1423c。主体1423a可以由沿第一方向10的长度不会改变的结构或材料形成。风箱1423b从主体1423a延伸，并且风箱1423b的长度可以沿第一方向10改变。结合板1423c设置在主体1423a的一端和风箱1423b的一端。为了将缓冲台1403与传送模块1240结合，首先，在风箱1423b的长度被减小的状态下，使缓冲台1403定位在传送模块1240之间。此时，与主体1423a结合的结合板1423c紧靠传送模块1240，并且结合板1423c与传送模块1240通过结合部件(未示出)彼此结合。之后，使风箱1423b的长度增大，使得与风箱1423b结合的结合板1423c紧靠另一传送模块1240，然后结合板1423c与另一传送模块1240通过结合部件(未示出)彼此结
八
口 ο可选择地，与图7不同，外壳可以在主体两侧都包括风箱。而且，可选择地，可以将外壳的整个区域设置为风箱。
图8是示出长度可以改变的缓冲台1404的另一个示例的透视图。参照图8，外壳1424可以包括第一主体1424a、第二主体1424b和结合板1424c。第二主体1424b可以与第一主体1424a结合，以使得第二主体1424b沿第一方向10从第一主体1424a突出或者插入第一主体1424a中。S卩，外壳1424的长度可以通过套入(telescope)方式沿第一方向10改变。结合板1424c设置在第一主体1424a的一端和第二主体1424b的一端。为了将缓冲台1404与传送模块1240结合，首先，在第二主体1424b插入第一主体1424a的状态下，使缓冲台1404定位在传送模块1240之间。此时，与第一主体1424a结合的结合板1424c紧靠传送模块1240，并且缓冲台1404与传送模块1240通过结合部件(未示出)彼此结合。之后，第二主体1424b从第一主体1424a突出，以使得与第二主体1424b结合的结合部件1424c紧靠另一传送模块1240，然后缓冲台1404与传送模块1240通过结合部件(未示出)彼此
彡口口 在图7和图8中，可以给结合板1423c或1424c与传送模块1240之间的接触面提供密封部件(未示出)，以使得传送模块1240的内部以及缓冲台1403或1404的外壳1423 或1424的内部与外部密封隔离。再次参照图1，多个加工设备1200可以具有相同的结构。彼此连接的传送模块1240和缓冲台1400可以沿一条虚拟线布置。下文中，将上述虚拟线称为连接线50。连接线50可以设置为如图I所示的直线。可选择地，连接线50可以具有诸如大写字母“L”或大写字母“T”之类的各种形状。根据一个实施例，加工设备1200的处理模块1260可以顺序并交替地布置在连接线50的第一侧和第二侧。在连接线50的第一侧和第二侧分别设置引导轨道42，以使得引导轨道42向上和向下都面对装载端口 1220。诸如高架传送器40之类的搬送装置可以沿引导轨道42进行传送。设置在连接线50的第一侧的引导轨道42和设置在连接线50的第二侧的引导轨道42可以设置为独立的轨道。可选择地，设置在连接线50的第一侧的引导轨道42和设置在连接线50的第二侧的引导轨道42可以设置为一个轨道。图9是图I中提供的三个加工设备1200a、1200b以及布置在所述加工设备之间的缓冲台1400的放大示图。为了图9的描述方便，在图9中，处理模块设置在连接线50的第一侧的加工设备被称为第一设备1200a。提供给第一设备1200a的装载端口、传送模块和处理模块分别被称为第一装载端口 1220a、第一传送模块1240a和第一处理模块1260a。而且,处理模块设置在连接线50的第二侧的加工设备被称为第二设备1200b。提供给第二设备1200b的装载端口、传送模块和处理模块分别被称为第二装载端口 1220b、第二传送模块1240b和第二处理模块1260b。如上所述，第一处理模块1260a与第一传送模块1240a的第三侧壁1255a结合，第二处理模块1260b与第二传送模块1240b的第三侧壁1255b结合。与第二传送模块1240b的第一侧壁1253b相比，第一传送模块1240a的第三侧壁1255a可以从连接线50朝向结合第一处理模块1260a的方向更突出。与第一传送模块1240a的第一侧壁1253a相比，第二传送模块1240b的第三侧壁1255b可以从连接线50朝向结合第二处理模块1260b的方向更突出。置于第一传送模块1240a与第二传送模块1240b之间的缓冲台1400可以包括第一侧壁1453、第二侧壁1454、第三侧壁1455和第四侧壁1456。第一侧壁1453与第三侧壁1455彼此面对。第二侧壁1454与第四侧壁1456彼此面对。第一侧壁1453与第二侧壁1454大致垂直设置。第二侧壁1454和第四侧壁1456分别与第一传送模块1240a和第二传送模块1240b结合。第一侧壁1453可以布置在从第一传送模块1240a的第一侧壁1253a延伸的平面上。第三侧壁1455可以布置在从第二传送模块1240b的第一侧壁1253b延伸的平面上。提供了由从第一传送模块1240a突出的部分1700a、第二装载端口 1220b和置于其间的缓冲台1400围绕的第一服务空间1800a。第一服务空间1800a可以被设置为这样的空间，当需要维护第一传送模块1240a、第一处理模块1260a的装载锁定腔1262a、缓冲台1400和第二装载端口 1220b时工人可以位于其中。而且，提供了由从第二传送模块1240b突出的部分1700b、第一装载端口 1220a和置于其间的缓冲台1400围绕的第二服务空间1800b。第二服务空间1800b可以被设置为这样的空间，当需要维护第二传送模块1240b、第二处理 模块1260b的装载锁定腔1262b、缓冲台1400和第一装载端口 1220a时工人可以位于其中。加工设备1200a和1200b可以具有相同的尺寸和相同的形状。第一处理模块1260a中平行于第一方向10的最大宽度LI可以大于第一传送模块1240a中平行于第一方向10的宽度L2。根据一个实施例，第一处理模块1260a中平行于第一方向10的最大宽度LI可以大于第一传送模块1240a中平行于第一方向10的宽度和位于其两侧的缓冲台1400中平行于第一方向10的宽度之和L3。图10是示出另一个示例的衬底处理系统2000的示图。参照图10，类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统2000可以包括包含传送模块2240的加工设备2200、以及设置在相邻传送模块2240之间的缓冲台2400。在图10的衬底处理系统2000中，引导轨道2246设置在传送模块2240的外壳2250中，该引导轨道2246与第一方向10平行。搬送机器人2242可以位于引导轨道2246上，从而沿着引导轨道2246作直线移动。图11是示出另一个示例的衬底处理系统3000的示图。参照图11，类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统3000可以包括包含传送模块3240的加工设备3200和3201、以及设置在相邻传送模块3240之间的缓冲台3400。一些加工设备3201可以包括两个处理模块3262和3264而不包括装载端口 3220。下文中，为了描述方便，在图11中，两个处理模块中的一个被称为第一处理模块3262,两个处理模块中的另一个被称为第二处理模块3264。第一处理模块3262和第二处理模块3264可以具有类似于图I的处理模块1260的结构。第一处理模块3262和第二处理模块3264可以共享一个传送模块3240。第一处理模块3262、传送模块3240和第二处理模块3264可以沿第二方向20顺序地设置成一排。第一处理模块3262和第二处理模块3264可以关于传送模块3240对称地设置。在图11中，不出了第一处理模块3262和第二处理模块3264具有相同的结构。但是，可选择地，第一处理模块3262和第二处理模块3264可以具有彼此不同的结构。第一处理模块3262和第二处理模块3264可以对衬底执行相同的加工。可选择地，第一处理模块3262和第二处理模块3264可以对衬底执行彼此不同的加工。图12是示出另一个示例的衬底处理系统4000的示图。参照图12，类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统4000可以包括包含传送模块4240的加工设备4201、4202、4203和4204、以及设置在相邻传送模块4240之间的缓冲台4400。但是，加工设备4201、4202,4203和4204的处理模块4261、4262、4263和4264可以具有彼此不同的结构。与图I的处理模块1260相同地，加工设备4201的处理模块4261可以包括装载锁定腔4261a、多边形传送腔4261b和多个加工腔4261c。加工设备4202的处理模块4262可以具有这样的结构，其中一个装载锁定腔4262a和一个加工腔4262c通过传送腔4262b结合，装载锁定腔4262a、传送腔4262b和加工腔4262c可以沿第二方向20顺序设置成一排。而且,加工设备4203的处理模块4263可以具有这样的结构，其中具有正方形形状的传送腔4263b与围绕传送腔4263b布置的装载锁定腔4263a和加工腔4263c结合。加工设备4204的处理模块4264可以具有一个多边形传送腔4264b和围绕传送腔4264b布置的多个加工腔4264c,传送腔4264b与传送模块4244直接结合。图12中所示的处理模块4261、4262、4263和4264的结构是示例性的，所述处理模块可以具有与此不同的结构。 在图12的情况中，加工设备4201、4202和4203可以在真空状态下对衬底进行加工，加工设备4204可以在大气压强下对衬底进行加工。在图12中，处理模块4261、4262、4263和4264设置在连接线50的两侧，缓冲台4400以及传送模块4240和4244排列在连接线50上。但是，处理模块4261、4262、4263和4264也可以设置在连接线50的一侧，如图10所示。图13是示出另一个示例的衬底处理系统5000的示图。参照图13，类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统5000可以包括包含传送模块5240的加工设备5200和5201、以及设置在相邻传送模块5240之间的缓冲台5400。但是，加工设备5201可以包括传送模块5240和处理模块5260而不包括装载端口 5220。图14是示出另一个示例的衬底处理系统6000的示图。参照图14，类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统6000可以包括包含传送模块6240的加工设备6201和6202、以及设置在相邻传送模块6240之间的缓冲台6400。为处理模块6260布置在排列有传送模块6240和缓冲台6400的连接线50的第一侧的加工设备6201提供装载端口 6220，而不为处理模块6260布置在连接线50的第二侧的加工设备6202提供装载端口 6220。在这种情况下，可以仅在连接线50的第二侧设置高架传送器40和引导高架传送器40的移动的引导轨道42。在图13和图14中，示出了加工设备5200、5201、6201和6202中包含的处理模块具有相同的结构。但是，加工设备5200、5201、6201和6202中包含的处理模块可以具有彼此不同的结构，如图12所示。可选择地，在图14中，布置在连接线50的同一侧的处理模块可以具有相同的结构，布置在连接线50的第一侧并且包含在加工设备6201中的处理模块和布置在连接线50的第二侧并且包含在加工设备6202中的处理模块可以具有彼此不同的结构。图15是示出另一个示例的衬底处理系统7000的示图。参照图15，类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统7000可以包括包含传送模块7240的加工设备7200和7201、以及设置在相邻传送模块7240之间的缓冲台7400。衬底处理系统7000还可以具有加工处理装置7800。加工处理装置7800与加工设备7201的装载端口 7220结合。与加工处理装置7800结合的加工设备7201的处理模块7260和加工处理装置7800位于连接线50的相对侧。加工处理装置7800可以同时与两个加工设备7201的装载端口 7220结合。此时，缓冲台7400可以不设置在与加工处理装置7800结合的两个加工设备7201的传送模块7240之间。所述两个加工设备7201可以是彼此相邻的加工设备。加工处理装置7800可以是同时对多个衬底进行加工的批量加工装置。例如，加工处理装置7800中执行的加工可以是清洁加工或剥离加工。根据一个实施例，如图16所示，加工处理装置7800可以是与美国公布专利第2004/00165973号的图12中所公开的装置具有相似或相同结构的装置。根据加工处理装置7800 的内部结构，可以为加工处理装置7800提供对包含衬底的容器30进行旋转的旋转部件7820。高架传送器40将容器30放在装载端口 7220上，以使得容器30的开口面对传送模块7240。加工处理装置7800将容器30传送到加工处理装置7800的内部，使容器30旋转180度，然后可以从容器30卸载衬底。可选择地，可以为装载端口 7220或高架传送器40提供对容器30进行旋转的旋转部件。容器30可以在位于加工设备7201的装载端口 7220上的状态下移动到加工处理装置7800，并且可以在加工处理装置7800中的加工完成之后移动到另一加工设备7201的装载端口 7220。可选择地，衬底可以在容器30位于装载端口 7220上的状态下直接搬送到加工处理装置7800。图17是不出另一个不例的衬底处理系统8000的不图。类似于图15的衬底处理系统7000，图17的衬底处理系统8000可以包括包含传送模块8240的加工设备8200和8201、设置在相邻传送模块8240之间的缓冲台8400、8401、以及加工处理装置8800。在衬底处理系统8000中，缓冲台8401设置在与加工处理装置8800结合的加工设备8201的传送模块8240之间。此时，缓冲台8401可以具有类似于图5或图6的缓冲台1401、1402的结构。图18是不出另一个不例的衬底处理系统9000的不图。类似于图15的衬底处理系统7000，衬底处理系统9000可以包括包含传送模块9240的加工设备9200和9201、设置在相邻传送模块9240之间的缓冲台9400、以及加工处理装置9800、9801。但是，在衬底处理系统9000中，加工处理装置9801与两个加工设备9200的装载端口 9220结合，其中，在两个加工设备9200之间布置加工设备9201。图19是示出另一个示例的衬底处理系统10000的示图。类似于图15的衬底处理系统7000，衬底处理系统10000可以包括包含传送模块10240的加工设备10200、设置在相邻传送模块10240之间的缓冲台10400、以及加工处理装置10800。在衬底处理系统10000中，加工处理装置10800与一个加工设备10200的装载端口 10220结合。加工处理装置10800可以是执行扩散加工的装置。例如，如图20所示，加工处理装置10800可以是与美国公布专利第2008/0255697号的图4中所公开的装置具有相似或相同结构的装置。根据加工处理装置10800的内部结构，可以为加工处理装置10800提供对包含衬底的容器30进行旋转的旋转部件10820。旋转部件10820可以旋转容器30，以使得容器30的开口方向旋转180度。可选择地，可以为装载端口 10220或高架传送器40提供旋转部件。图21是示出另一个示例的衬底处理系统11000的示图。类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统11000可以包括包含传送模块11241和11242的加工设备11201和11202、以及设置在相邻传送模块11241和11242之间的缓冲台11400和11401。但是，衬底处理系统11000中的传送模块11241、11242和缓冲台11401与图I的传送模块1240和缓冲台1400具有不同的结合结构。加工设备11201和11202分别具有传送模块11241和11242以及处理模块11261和11262。在加工设备11201中，沿第二方向20设置传送模块11241和处理模块11261。在另一个加工设备11202中，沿第一方向10设置传送模块11242和处理模块11262。为了描述方便,在图21中，传送模块11241被称为第一传送模块,传送模块11242被称为第二传送模块。缓冲台11401可以包括外壳11420和缓冲部件11440。缓冲部件11440可以与图2的缓冲部件1440或图3的缓冲部件1440a具有相似或相同的结构。外壳11420包括顶面(未示出)、底面(未示出)、第一侧面11423、第二侧面11424、第三侧面11425和第四侧面11426。外壳11420可以具有直六面体形状或正六面体形状。第一侧面11423与第三侧面11425彼此面对，第二侧面11424与第四侧面11426彼此面对。第一侧面11423垂直于第二侧面11424。在第一侧面11423和第二侧面11424上设置衬底进出的开口(未示出)和打开或关闭该开口的门(未不出)。第一传送模块11241与第一侧面11423结合,第二传送模块11242与第二侧面11424结合。垂直布置的第一传送模块11241与第二传送模块11242之间的衬底传送可以通过布置在第一传送模块11241与第二传送模块11242之间的缓冲台11401完成。图22是粗略示出另一个示例的衬底处理系统12000的示图。参照图22，类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统12000包括包含传送模块12241、12242的加工设备12200、以及设置在相邻传送模块12241与12242之间的缓冲台12400。但是，装载端口12260可以与位于传送模块12241与12242之间的两端的传送模块12241的第二侧壁12254或第四侧壁12256结合，其中，传送模块12241和12242沿上述连接线设置。因此，为衬底处理系统12000的两端分别提供装载端口 12260，并且传送模块12241和12242以及缓冲台12400顺序且交替地设置在装载端口 12260之间。而且，提供引导轨道42，其穿过装载端口12260的上部并面向装载端口 12260，诸如高架传送器40之类的用于搬送容器的搬送装置可以沿引导轨道42移动。尽管图22中未示出连接线，但是该连接线可以与引导轨道42重叠。图23是粗略示出另一个示例的衬底处理系统13000的示图。参照图23，类似于图I的衬底处理系统1000，衬底处理系统13000包括包含传送模块13240的加工设备13200、以及设置在相邻传送模块13240之间的缓冲台13400。而且，处理模块13260交替地布置在连接线50的第一侧和第二侧。多个传送模块13240可以沿着连接线50彼此对准。S卩，所有传送模块13240中的向连接线50的第一侧和第二侧突出的长度都相同。而且，在与第二方向20平行的方向上，传送模块13240的宽度I；比缓冲台13400的宽度&长。由此，传送模块13240比缓冲台13400更向连接线50的第一侧和第二侧突出。在上述图11至图15、图17至图19、图21至图23所示的衬底处理系统中，分别设置在各个传送模块中的搬送机器人可以沿着第一方向移动，使得与安装在装载端口上的容器以及缓冲台接近，这一点与图10的衬底处理系统的传送模块中的搬送机器人相同。在上述衬底处理系统中，描述了所有加工设备通过缓冲台或衬底处理装置彼此连接。但是，与此不同地，所述加工设备可以分为多个组，并且属于每个组的加工设备通过缓冲台彼此连接。 根据一个实施例，如图24所示，加工设备1200可以分为第一组IOOOa和第二组IOOOb0属于第一组IOOOa的加工设备1200通过缓冲台1400彼此连接，属于第二组IOOOb的加工设备1200通过缓冲台1400彼此连接。包含衬底的容器可以通过诸如高架传送器、自动搬运车、轨道搬运车之类的搬送装置或工人在属于第一组IOOOa的加工设备1200之间、属于第二组IOOOb的加工设备1200之间、以及第一组IOOOa的加工设备1200与第二组IOOOb的加工设备1200之间搬送。如图25所示，没有连接缓冲台的一个或多个加工设备1209可以独立设置在第一组IOOOa与第二组IOOOb之间。如图26所示，可以提供多个图I或图24的衬底处理系统，这些衬底处理系统可以彼此平行并且可以沿第二方向彼此间隔开。尽管图24至图26示出了与图I的实施例具有相同结构的衬底处理系统，但是也可以如图24至图26来布置其他实施例所不的衬底处理系统。参照图27至图29，描述了使用包括缓冲台的衬底处理系统对衬底进行加工的方法示例。下文中，为了描述方便，图27至图29所示的加工设备从左到右依次分别被称为 第一加工设备14201、15201、16201，第二加工设备14202、15202、16202，以及第三加工设备14203、15203、16203。而且，提供给第一加工设备14201、15201和16201的传送模块的搬送机器人以及第一加工设备14201、15201和16201的处理模块分别被称为第一搬送机器人14271、15271和16271以及第一处理模块14261、15261和16261。提供给第二加工设备14202,15202和16202的传送模块的搬送机器人以及第二加工设备14202、15202和16202的处理模块分别被称为第二搬送机器人14272、15272和16272以及第二处理模块14262、15262、和16262。提供给第三加工设备14203、15203和16203的传送模块的搬送机器人以及第三加工设备14203、15203和16203的处理模块分别被称为第三搬送机器人14273、15273和16273以及第三处理模块14263、15263和16263。而且，图27至图29所示的缓冲台从左到右依次分别被称为第一缓冲台14401、15401、16401和第二缓冲台14402、15402、16402。在图29中，最右边所示的加工设备被称为第四加工设备16204，提供给第四加工设备16204的搬送机器人和第四加工设备16204的处理模块分别被称为第四搬送机器人16274和第四处理模块16264，最右边所示的缓冲台被称为第三缓冲台16403。通过示例的方式描述了在容器30中放入25个衬底的情况。放入容器30中的25个衬底依次被称为第一衬底、第二衬底、…、第二十五衬底。图27示出了执行相同加工的加工设备14201、14202和14203通过缓冲台14401和14402彼此连接的衬底处理系统14000中衬底的移动路线。为第一加工设备14201、第二加工设备14202和第三加工设备14203中的每一个提供四个加工腔14266，并且四个加工腔14266执行相同的加工。因此，为衬底处理系统14000提供执行相同加工的12个加工腔14266。在25个衬底中，对第一至第四衬底、第十三至第十六衬底以及第二十五衬底的加工在第一处理模块14261中执行。对第五至第八衬底以及第十七至第二十衬底的加工在第二处理模块14262中执行，对第九至第十二衬底以及第二十一至第二十四衬底的加工在第三处理模块14263中执行。在图27中，al、a2、a3和a4依次表示在第一处理模块14261中进行加工的衬底的移动路线，bl、b2、b3和b4依次表示在第二处理模块14262中进行加工的衬底的移动路线，Cl、c2、c3和c4依次表示在第三处理模块14263中进行加工的衬底的移动路线。首先，包含衬底的容器30通过高架传送器40放在第一加工设备14201的装载端口 14221 上。第一搬送机器人14271将要在第一处理模块14261中进行加工的衬底从容器30搬送到第一处理模块14261，并且将要在第二处理模块14262和第三处理模块14263中进行加工的衬底从容器30搬送到第一缓冲台14401。而且，第一搬送机器人14271将在第一处理模块14261中完成加工的衬底搬送到第一缓冲台14401。如果从容器30中取出了所有衬底，则容器30可以传送到第三加工设备14203的装载端口 14223。第二搬送机器人14272将要在第二处理模块14262中进行加工的衬底从第一缓冲台14401搬送到第二处理模块14262，并且将要在第三处理模块14263中进行加工的衬底从第一缓冲台14401搬送到第二缓冲台14402。而且，第二搬送机器人14272将在第一处理模块14261中完成加工的衬底从第一缓冲台14401搬送到第二缓冲台14402，并且将在第二处理模块14262中完成加工的衬底从第二处理模块14262搬送到第二缓冲台14402。第三搬送机器人14273将要在第三处理模块14263中进行加工的衬底从第二缓冲台14402搬送到第三处理模块14263。而且，第三搬送机器人14273将在第一处理模块14261和第二处理模块14262中完成加工的衬底从第二缓冲台14402搬送到置于第三加工设备14203的装载端口 14223上的容器30。第三搬送机器人14273将在第三处理模块14263中完成加工的衬底从第三处理模块14263搬送到置于第三加工设备14203的装载端口 14223上的容器30。当衬底从容器30搬送到第一缓冲台14401、从第一缓冲台14401搬送到第二缓冲台14402以及从第二缓冲台14402搬送到容器30时，第一机器人14271、第二机器人14272和第三机器人14273中的每一个可以同时搬送多个衬底。根据图27的处理衬底的方法，由于在多个加工设备14201、14202和14203中，可以同时对容器30中包含的衬底中分配给每个加工设备14201、14202和14203的衬底进行加工，因此可以减少对提供给容器30的所有衬底进行加工所需的时间。图28示出了执行不同加工的加工设备15201、15202和15203通过缓冲台15401和15402彼此连接的衬底处理系统15000中衬底的移动路线。第一加工设备15201、第二加工设备15202和第三加工设备15203对一个衬底依次进行加工。在图28中，dl、d2、d3、d4、d5和d6依次表示衬底的移动路线。在图28的衬底处理系统15000中，依次在第一处理模块15261、第二处理模块15262和第三处理模块15263中对提供给容器30的衬底进行加工。首先，包含衬底的容器30通过高架传送器40放在第一加工设备15201的装载端口 15221 上。第一搬送机器人15271将衬底从容器30搬送到第一处理模块15261。如果容器30中的所有衬底都被搬送到第一处理模块15261，则通过高架传送器40将容器30传送到第三加工设备15203的装载端口 15223。与其他衬底相比较，在第一处理模块15261中完成加工的衬底通过第一搬送机器人15271被首先搬送到第一缓冲台15401。第二搬送机器人15272将第一缓冲台15401中的衬底搬送到第二处理模块15262。与其他衬底相比较，在第二处理模块15262中完成加工的衬底被首先搬送到第二缓冲台15402。第三搬送机器人15273将第二缓冲台15402中的衬底搬送到第三处理模块15263。与其他衬底相比较，在第三处理模块15263中完成加工的衬底被首先搬送到容器30。根据图28的对衬底进行处理的方法，由于衬底可以利用缓冲台15401和15402直、接在加工设备15201、15202和15203之间移动，因此每个衬底可以立即进行另一个加工而不需要等到对容器30中的所有其他衬底都完成特定加工。即，由于衬底可以通过缓冲台15401和15402直接搬送到加工设备15201、15202和15203，因此与利用高架传送器40在加工设备15201、15202和15203之间搬送衬底相比较，可以减小搬送衬底所需要的时间。图29示出了执行相同加工和不同加工的加工设备16201、16202、16203和16204通过缓冲台16401、16402和16403彼此连接的衬底处理系统16000中衬底的移动路线。第一加工设备16201和第三加工设备16203对衬底执行相同的加工。第二加工设备16202和第四加工设备16204对衬底执行相同的加工。而且，第二加工设备16202对衬底执行的加工是在第一加工设备16201中执行的加工的后续加工。为第一加工设备16201和第三加工设备16203中的每一个提供四个加工腔16266。为第二加工设备16202和第四加工设备16204中的每一个提供两个加工腔16267。在这种情况下，在第二加工设备16202的加工腔16267中对一个衬底进行加工所需的时间可以小于在第一加工设备16201的加工腔16266中对一个衬底进行加工所需的时间。 在所述25个衬底中，对第一至第四衬底、第九至第十二衬底、第十七至第二十衬底以及第二十五衬底进行的加工依次在第一处理模块16261和第二处理模块16262中执行。对第五至第八衬底、第十三至第十六衬底以及第二十一至第二十四衬底进行的加工依次在第三处理模块16263和第四处理模块16264中执行。在图29中，el、e2、e3、e4、e5和e6依次表不在第一处理模块16261和第二处理模块16262中执行加工的衬底的移动路线，H、f2、f3、f4、f5和f6依次表示在第三处理模块16263和第四处理模块16264中执行加工的衬底的移动路线。首先，包含衬底的容器30通过高架传送器40放在第一加工设备16201的装载端口 16221 上。第一搬送机器人16271将要在第一处理模块16261和第二处理模块16262中执行加工的衬底从容器30搬送到第一处理模块16261，并且将要在第三处理模块16263和第四处理模块16264中执行加工的衬底从容器30搬送到第一缓冲台16401。而且，第一搬送机器人16271将在第一处理模块16261中完成加工的衬底搬送到第一缓冲台16401。如果从容器30中取出了所有衬底，则可以将容器30传送到第四加工设备16204的装载端口 16224。第二搬送机器人16272将要在第三处理模块16263和第四处理模块16264中执行加工的衬底从第一缓冲台16401搬送到第二缓冲台16402。而且，第二搬送机器人16272将在第一处理模块16261中完成加工的衬底从第一缓冲台16401搬送到第二处理模块16262，并且将在第二处理模块16262中完成加工的衬底从第二处理模块16262搬送到第二缓冲台
16402。第三搬送机器人16273将要在第三处理模块16263和第四处理模块16264中执行加工的衬底从第二缓冲台16402搬送到第三处理模块16263。而且，第三搬送机器人16273将在第二处理模块16262中完成加工的衬底从第二缓冲台16402搬送到第三缓冲台
16403。第三搬送机器人16273将在第三处理模块16263中完成加工的衬底搬送到第三缓冲台16403。第四搬送机器人16274将在第三处理模块16263中完成加工的衬底从第三缓冲台16403搬送到第四处理模块16264。而且，第四搬送机器人16274将在第四处理模块16264中完成加工的衬底从第四处理模块16264搬送到置于第四加工设备16204的装载端口 16224上的容器30。第四搬送机器人16274将在第二处理模块16262中完成加工的衬底 从第三缓冲台16403搬送到置于第四加工设备16204的装载端口 16224上的容器30。
权利要求
1.一种衬底处理系统，包括 多个加工设备，每个加工设备分别包括传送模块和处理模块，所述传送模块中设置有搬送机器人，所述处理模块连接到所述传送模块； 缓冲台，其位于相邻的所述传送模块之间，并且用于在所述传送模块之间传送衬底， 其中，所述多个加工设备包括 至少一个第一设备，在该第一设备中处理模块位于沿着所述传送模块和所述缓冲台排列的方向所提供的连接线的第一侧；以及 至少一个第二设备，在该第二设备中处理模块位于所述连接线的第二侧， 其中，与提供给所述第二设备的传送模块相比较，提供给所述第一设备的传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。
2.如权利要求I所述的衬底处理系统，其中，与所述缓冲台相比较，提供给所述第一设备的传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。
3.如权利要求2所述的衬底处理系统，其中，与所述缓冲台和提供给所述第一设备的传送模块相比较，提供给所述第二设备的传送模块朝向所述连接线的所述第二侧更突出。
4.如权利要求I所述的衬底处理系统，其中，一个所述第二设备位于相邻的所述第一设备之间。
5.如权利要求4所述的衬底处理系统，其中，所述第二设备的处理模块的平行于所述连接线的最大宽度大于所述第二设备的传送模块的平行于所述连接线的最大宽度。
6.如权利要求4所述的衬底处理系统，其中，所述第二设备的处理模块的平行于所述连接线的最大宽度大于所述第二设备的传送模块的平行于所述连接线的宽度与位于该传送模块的两侧的缓冲台的平行于所述连接线的宽度之和。
7.如权利要求5所述的衬底处理系统，其中，所述多个加工设备具有相同的尺寸和相同的形状。
8.如权利要求I所述的衬底处理系统，其中，每个所述加工设备还包括与所述传送模块结合的一个或多个装载端口，所述处理模块与所述传送模块结合的一侧和所述装载端口与所述传送模块结合的一侧关于所述连接线彼此面对。
9.如权利要求8所述的衬底处理系统，其中，还包括第一引导轨道，其向上和向下面对所述第一设备的所述装载端口，并且引导将包含多个衬底的容器搬送到所述第一设备的所述装载端口的搬送装置的移动。
10.如权利要求9所述的衬底处理系统，其中，还包括第二引导轨道，其向上和向下面对所述第二设备的所述装载端口，并且引导将包含多个衬底的容器搬送到所述第二设备的所述装载端口的搬送装置的移动。
11.一种衬底处理系统,包括 第一传送模块，其中设置有搬送机器人； 第二传送模块，其中设置有搬送机器人； 第一缓冲台，其布置在所述第一传送模块与所述第二传送模块之间，并且用于在所述第一传送模块和所述第二传送模块之间传送衬底； 第一处理模块，其与所述第一传送模块结合并且布置在连接线的第一侧，其中，所述连接线的方向是沿所述第一传送模块、所述第一缓冲台和所述第二传送模块排列的方向；以及 第二处理模块，其与所述第二传送模块结合并且布置在所述连接线的第二侧， 其中，关于所述连接线，与所述第二传送模块相比较，所述第一传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。
12.如权利要求11所述的衬底处理系统，还包括 第三传送模块，其中设置有搬送机器人，并且其布置为关于所述第二传送模块与所述第一传送模块相对； 第二缓冲台，其布置在所述第二传送模块与所述第三传送模块之间，并且用于在所述第二传送模块和所述第三传送模块之间传送衬底；以及 第三处理模块，其布置在所述连接线的所述第一侧并且与所述第三传送模块结合， 其中，关于所述连接线，与所述第二传送模块相比较，所述第三传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。
13.如权利要求12所述的衬底处理系统，其中，关于所述连接线，与所述第一传送模块和所述第三传送模块相比较，所述第二传送模块朝向所述连接线的所述第二侧更突出。
14.如权利要求13所述的衬底处理系统，其中，关于所述连接线，与所述第一缓冲台相比较，所述第一传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出， 并且，关于所述连接线，与所述第一缓冲台、所述第二缓冲台、所述第一传送模块和所述第三传送模块相比较，所述第二传送模块朝向所述连接线的所述第二侧更突出。
15.如权利要求14所述的衬底处理系统，其中，关于所述连接线，所述第一传送模块朝向所述连接线的所述第二侧突出的距离等于所述第一传输模块朝向所述第一缓冲台和所述第二缓冲台突出的距离， 并且，关于所述连接线，所述第二传送模块朝向所述连接线的所述第一侧突出的距离等于所述第二传送模块朝向所述第一缓冲台和所述第二缓冲台突出的距离。
16.如权利要求12所述的衬底处理系统，其中，还包括 一个或多个第一装载端口，其位于所述连接线的所述第二侧以与所述第一传送模块结合，并且其上放置包含衬底的容器； 一个或多个第三装载端口，其位于所述连接线的所述第二侧以与所述第三传送模块结合，并且其上放置包含衬底的容器；以及 第一引导轨道，其被布置为向上和向下面对所述一个或多个第一装载端口以及所述一个或多个第三装载端口，并且引导将包含衬底的容器搬送到所述第一装载端口和所述第三装载端口的搬送装置的移动。
17.如权利要求16所述的衬底处理系统，其中，还包括 一个或多个第二装载端口，其位于所述连接线的所述第一侧以与所述第二传送模块结合，并且其上放置包含衬底的容器；以及 第二引导轨道，其被布置为向上和向下面对所述一个或多个第二装载端口，并且引导将包含衬底的容器搬送到所述第二装载端口的搬送装置的移动。
18.如权利要求12所述的衬底处理系统，其中，所述第二处理模块的平行于所述连接线的最大宽度大于所述第二传送模块的平行于所述连接线的最大宽度。
19.如权利要求18所述的衬底处理系统，其中，所述第一传送模块、所述第二传送模块和所述第三传送模块具有相同的尺寸和相同的形状， 并且，所述第一处理模块、所述第二处理模块和所述第三处理模块具有相同的尺寸和相同的形状。
20.如权利要求12所述的衬底处理系统，其中，所述第二处理模块的平行于所述连接线的最大宽度大于所述第二传送模块的平行于所述连接线的宽度、所述第一缓冲台的平行于所述连接线的宽度、和所述第二缓冲台的平行于所述连接线的宽度之和。
全文摘要
本发明构思提供一种衬底处理系统。所述衬底处理系统具有多个加工设备和缓冲台。每个加工设备分别包括传送模块和处理模块，所述传送模块中设置有搬送机器人，所述处理模块连接到所述传送模块。所述缓冲台位于相邻传送模块之间，并且用于在所述传送模块之间传送衬底。所述多个加工设备包括第一设备，在该第一设备中处理模块位于沿所述传送模块和所述缓冲台排列的方向提供的连接线的第一侧；第二设备，在该第二设备中处理模块位于所述连接线的第二侧。与提供给所述第二设备的传送模块相比较，提供给所述第一设备的传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。
文档编号H01L21/677GK102646613SQ201110449880
公开日2012年8月22日 申请日期2011年12月29日 优先权日2011年2月16日
发明者安太赫, 朴东健, 李上源, 金俸先, 金基相 申请人:三星电子株式会社