专利名称：一种GaAs激光电池的电极结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种GaAs激光电池结构，特别是ー种减小串联电阻的GaAs激光电池新电极结构。
背景技术：
激光GaAs电池是利用半导体p_n结在激光照射下，产生光生伏特效应的发电的电池，其原理与太阳能电池相似，只是利用光源不同而已。太阳能电池利用的光源是太阳光或可见光，而光电池是利用激光器LD辐射发出的红外线。具有不依赖太阳光的特点，所以不受昼夜，季节或天气的影响而提供稳定的电能。它不仅具有高效率，还具有静音，携带轻便，无机械结构，构造简单，不宣发生故障，単位体积或单位重量的发电功率比高的优点。在特定的应用中，要求电池的DC电压3V_6V。单结GaAs电池的开路电压最大到 1.05V，要达3V-6V必须进行单元电池的串联。必须先制作单元电池，进行电隔离然后将几个单元电池串联，并且激光电池神化镓材料选用半绝缘衬底。串联电阻是影响电池性能最主要的因素之一，几个单元电池串联时，串联电阻对电池性能的影响更为严重。串联电阻由以下部分组成P型金属栅电极体电阻；P型金属与半导体接触电阻；外延层的薄层电阻；n型金属电极体电阻；n型金属与半导体接触电阻。其中外延层的薄层电阻是串联电阻的主要组成部分。金属电极体电阻和金属与半导体接触电阻通过エ艺优化可以有效的降低，外延层的薄层电阻影响的降低主要采取ニ项措施ー项是优化MOCVD的生长エ艺和外延层的层结构设计，另ー项是优化电极结构设计。现有的GaAs激光电池电极结构如图I所示，该结构采取了两条P型主电极和连接在两条P型主电极之间的P型栅电极，在P型主电极的外侧仅设置了一条η型电极。图2为现有的GaAs激光电池纵向电极结构示意图。由于电阻与长度成正比与截面积成反比，也即电流通过的距离长电阻就大。现有GaAs激光电池电极结构为单η型电极结构,位置在ρ型金属主电极的外侧，光生载流子传输距离长，造成薄层电阻大，从而也加大了串联电阻，降低了电池的性能。
实用新型内容为解决上述GaAs激光电池光生载流子传输距离长、电阻大的不足，提高电池性能，本实用新型g在提出一种降低外延层薄层电阻影响的GaAs激光电池电极的新结构。本实用新型解决上述问题采用的技术方案是ー种GaAs激光电池电极结构，包括η型电极和ρ型电极,P型电极为双P型电极，双P型电极由两个P型主电极通过其间纵向设置的P型栅电极连接构成，所述η型电极包括两条电极，两条η型电极与ρ型主电极中第Ip型主电极平行设置，两条η型电极与ρ型栅电极垂直设置；所述两条η型电极中第In型电极置于第Ip型主电极的外侧，两条η型电极中第2η型电极置于双ρ型主电极内侧第Ip型主电极间距的2/3处。本实用新型进ー步的特征在于[0011 ] 所述电池电极结构是矩形、三角形或扇形。所述矩形结构的电池电极中第Ip型主电极与第2p型主电极相互平行设置。本实用新型的有益效果是本实用新型设计双ρ型主电极间距为L，在双ρ型主电极的第Ip型主电极侧设置第In型电极，在距离第Ip型主电极2/3L处设置第2n型电极；因而，光生载流子由ρ型主电极向η型电极的传输距离由L和大于1/3L减小为1/3L，外延层薄层电阻相应减小了约1/2。从而，对整体串联电阻的降低起到了一定的作用。本实用新型的特点在于①由于采取了上述技术方案，光生载流子传输距离变短、电阻减小，因而激光器驱 动功率数值在整个测试范围内怎样变化，电池的开路电压都有所提高，为O. 01V-0. 07V。②由于采取了上述技术方案，光生载流子传输距离变短、电阻减小，因而电池的输出功率在小功率驱动条件下，有O. 5%的提高；在中功率驱动条件下，有2. 5%的提高；在大功率驱动条件下，有12%的提高。
以下结合附图
对本实用新型作进ー步的详细说明。图I为现有GaAs激光电池电极结构示意图。图2为现有GaAs激光电池纵向电极结构示意图。图3为本实用新型GaAs激光电池电极结构示意图。图中1、第In型电极；2、第Ip型主电极；3、ρ型栅电极；4、第2η型电极；5、第2ρ
型主电极。
具体实施方式
如图3所示，该GaAs激光电池电极结构，包括η型电极和ρ型电极，P型电极为双P型电极，双P型电极由两个P型主电极(相互平行设置的第Ip型主电极2和第2ρ型主电极5)通过其间纵向设置的ρ型栅电极3连接构成；其中，η型电极包括两条电极，两条η型电极(第In型电极I、第2η型电极4)与ρ型主电极中第第Ip型主电极2平行设置，两条η型电极与ρ型栅电极3垂直设置；双η型电极中第In型电极I置于第Ip型主电极2的外侦牝双η型电极中第2η型电极4置于双ρ型主电极内侧第Ip型主电极2间距的2/3处。本实用新型设计的图形可以是正方形、三角形或扇形结构。无论什么形状的电极图形都要满足下述条件，见图3所示①第2η型电极4在双ρ型主电极的第Ip型主电极2间距的2/3位置，位置要精确。②第2η型电极4与第Ip型主电极2要保持平行。下面结合制备エ艺对本实用新型做进ー步说明。该减小串联电阻的新电极结构芯片制作方法，其主要エ艺步骤为①用GaAs材料专用清洗液清洗外延片，并用GaAs材料专用腐蚀液去除片子表面极薄氧化层；用丙酮清洗光刻版，高纯水清洗后用氮气吹干。②ρ型电极形成用正性光刻胶刻出P电极图形。采用电子束蒸发进行多层ρ型电极蒸发去胶后，进行P型电极合金エ艺。[0031]③减反射膜形成用选择性腐蚀液在电池外延片结构上开出窗ロ。采用PECVDエ艺制作SiO2减反射膜。④η型电极形成湿法刻蚀η型电极区，窗ロ侧壁具有一定倾斜角度，倾斜的侧面更易在其上制备致密的接触良好的金属膜。η型多层电极电子束蒸发去胶后，进行η型电极合金エ艺。⑤隔离槽形成 干法刻蚀槽深至半绝缘衬底上。⑥ρ型电极η型电极加厚Au到3 μ m。⑦片子减薄到200 μ m。⑧划片划片后形成单组激光电池芯片。实例及测试结果根据以上的设计思路，采取电极结构是矩形、三角形或扇形结构，在所有的条件全同的情况下，有第2n型电极的情况，可以得出两条结论①无论激光器驱动功率数值在整个测试范围内怎样变化，电池的开路电压都有所提高，为 O. OI V-ο. 07V。②激光GaAs电池的输出功率在小功率驱动条件下，有O. 5%的提高；中功率驱动条件下，有2. 5%的提闻；大功率驱动条件下，有12%的提闻。本实用新型GaAs激光电池的η型电极结构可以大幅度地降低电池的串联电阻，从而有效地提闻电池的短路电流，因此大大地提闻电池的转换效率；同时它又具有性能稳定、成本低廉等特点。以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种GaAs激光电池电极结构,包括η型电极和ρ型电极，P型电极为双P型电极，双P型电极由两个P型主电极通过其间纵向设置的P型栅电极连接构成，其特征在于，所述η型电极包括两条电极，两条η型电极与ρ型主电极中第Ip型主电极平行设置，两条η型电极与P型栅电极垂直设置；所述两条η型电极中第In型电极置于第Ip型主电极的外侧，两条η型电极中第2η型电极置于双ρ型主电极内侧第Ip型主电极间距的2/3处。
2.根据权利要求I所述的ー种GaAs激光电池电极结构,其特征在于,所述电池电极结构是矩形、三角形或扇形。
3.根据权利要求2所述的ー种GaAs激光电池电极结构，其特征在于，所述矩形结构的 电池电极中第Ip型主电极与第2ρ型主电极相互平行设置。
专利摘要本实用新型公开了一种GaAs激光电池的电极结构，包括n型电极和p型电极，p型电极为双p型电极，双p型电极由两个p型主电极通过其间纵向设置的p型栅电极连接构成；所述n型电极包括两条电极，两条n型电极与p型主电极中第1p型主电极平行设置，两条n型电极与p型栅电极垂直设置；所述双n型电极中第1n型电极置于第1p型主电极的外侧，双n型电极中第2n型电极置于双p型主电极内侧第1p型主电极间距的2/3处。本实用新型由于采取了在双p型主电极的第1p型主电极侧设置第1n型电极，在距离第1p型主电极2/3L处设置第2条n型电极；因而，光生载流子由p型主电极向n型电极的传输距离减小，外延层薄层电阻也相应减小。
文档编号H01L31/0224GK202454565SQ20122003856
公开日2012年9月26日 申请日期2012年2月7日 优先权日2012年2月7日
发明者宋婷 申请人:西安航谷微波光电科技有限公司