专利名称：一种基板处理系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及基板处理技术领域，特别涉及ー种基板处理系统。
背景技术：
现有基板处理系统在进行基板处理的过程中，基板都是由基板传送设备传送的，通常，整个基板处理过程中会有ー个或多个基板传送设备完成基板的传送操作，所有基板传送设备都是完全相同的，每个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置都是相同的，这就容易使得基板的同一位置与基板传送设备接触頻繁，易出现基板划伤。而且当出现基板划伤时，由于每个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置都相同，又使得不容易查明是哪个基板传送设备划伤基板的，难以查明基板划伤的原因，无法有效避免 再次划伤基板。
实用新型内容本实用新型实施例提供了ー种基板处理系统，用以解决现有基板处理系统在整个基板处理过程中容易出现基板划伤，并且难以查明基板划伤原因的问题。本实用新型实施例提供了ー种基板处理系统，包括至少两个基板传送设备；所述至少两个基板传送设备中任ー个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置为第一位置，其余任ー个基板传送设备的基板支撑部件在所述基板上的接触位置为第二位置，所述第一位置与所述第二位置不相同。其中，优选地，所述的基板处理系统，还可包括用于对所述基板进行操作的处理设备，与所述至少两个基板传送设备中的至少ー个基板传送设备连接。其中，优选地，所述处理设备可具体为用于对所述基板进行エ艺处理的エ艺设备；或者用于对所述基板进行检测的检测设备。其中，优选地，所述至少两个基板传送设备为至少两个基板传送帯。其中，优选地，所述至少两个基板传送带中的任ー个基板传送带具有第一传送横杆和套设于所述第一传送横杆上的多个第一传送轮，其余任ー个基板传送带具有第二传送横杆和套设于所述第二传送横杆上的多个第二传送轮，所述第一传送横杆与所述第二传送横杆的长度相同；所述多个第一传送轮中的任ー个第一传送轮到所述第一传送横杆的中心点的距离为第一距离，所述多个第二传送轮中的任ー个第二传送轮到所述第二传送横杆的中心点的距离为第二距离，所述第一距离与所述第二距离不相同。本实用新型实施例提供的上述基板处理系统处理基板的过程中，基板与每个基板传送设备的接触位置互不相同，不会像现有技术那样出现在整个基板处理过程中始终是基板上的同一位置与每个基板传送设备接触的现象，不易划伤基板；进ー步地，当基板出现划伤吋，能依据基板的划伤位置和各基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置查找出划伤基板的是哪个基板传送设备，查明划伤原因斗匕如基板的划伤位置正好是ー个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置，则说明是该基板传送设备划伤了基板，通过对该基板传送设备检测可获知划伤原因，消除产生划伤的原因便可有效避免基板的再次划伤；更进一歩地，每个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置互不相同，相当于增大了整个基板处理过程中基板与基板传送设备的总接触面积，从而降低了基板弯曲的发生概率，降低了基板的不良率。
图I为本实用新型实施例中ー种基板处理系统的结构示意图；图2为本实用新型实施例中另一种基板处通系统的结构不意图；图3为本实用新型实施例中再ー种基板处理系统的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。本实用新型实施例提供了ー种基板处理系统，包括至少两个基板传送设备；上述至少两个基板传送设备中任ー个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置为第一位置，其余任ー个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置为第二位置；第一位置与第二位置不相同。也就是说，上述至少两个基板传送设备中每个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置都互不相同。以三个基板传送设备为例，如图I所示，一基板处理系统包括三个基板传送设备基板传送设备I、基板传送设备2和基板传送设备3 ；其中，基板传送设备I的基板支撑部件10(表示为无填充色的圆圈)在基板4上的接触位置为基板支撑部件10在基板4上的投影位置(即无填充色的圆圈所占位置)；基板传送设备2的基板支撑部件20 (表示为填充有黒色的圆圈)在基板4上的接触位置为基板支撑部件20在基板4上的投影位置(即填充有黒色的圆圈所占位置)；基板传送设备3的基板支撑部件30 (表示为填充有斜线的圆圈)在基板4上的接触位置为基板支撑部件30在基板4上的投影位置(即填充有斜线的圆圈所占位置)；上述三个接触位置互不相同。上述接触位置除图I所示可横向均匀排布外，也可以是不规则排布，如排布形状围成三角形、四边形、多边形等不规则图形，只要保证不同的基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置互不相同即可。本实用新型实施例提供的上述基板处理系统处理基板的过程中，基板与每个基板传送设备的接触位置互不相同，不会像现有技术那样出现在整个基板处理过程中始终是基板上的同一位置与每个基板传送设备接触的现象，不易划伤基板；[0029]进ー步地，当基板出现划伤吋，能依据基板的划伤位置和各基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置查找出划伤基板的是哪个基板传送设备，查明划伤原因斗匕如基板的划伤位置是正好是ー个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置，则说明是该基板传送设备划伤了基板，通过对该基板传送设备检测可获知划伤原因，消除产生划伤的原因便可有效避免基板的再次划伤；更进一歩地，每个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置互不相同，相当于增大了整个基板处理过程中基板与基板传送设备的总接触面积，从而降低了基板弯曲的发生概率，降低了基板的不良率。其中，优选地，上述至少两个基板传送设备可具体实施为至少两个基板传送带。基板传送带通常具有多个相互平行的传送横杆，每个传送横杆上套设有多个传送轮，基板放置在传送轮上，在驱动装置的驱动下传送轮可以绕传送横杆轴向转动，传送轮在轴向转动的过程中将基板传送出去。此时，优选地，上述至少两个基板传送带中任ー个基板传送带具有第一传送横杆和套设于第一传送横杆上的多个第一传送轮，其余任ー个基板传送带具有第二传送横杆和套设于第二传送横杆上的多个第二传送轮，第一传送横杆与第二传送横杆的长度相同；多个第一传送轮中的任ー个第一传送轮到第一传送横杆的中心点的距离为第一距离，多个第二传送轮中的任ー个第二传送轮到第二传送横杆的中心点的距离为第二距离，第一距离与第二距离不相同。以三个基板传送带为例，如图2所示，一基板处理系统包括三个基板传送带基板传送带5、基板传送带6和基板传送带7 ;基板传送带5具有传送横杆51，传送横杆51上套设有多个传送轮52，基板传送带6具有传送横杆61，传送横杆61上套设有多个传送轮62，基板传送带7具有传送横杆71，传送横杆71上套设有多个传送轮72 ;传送横杆51、传送横杆61、传送横杆71的长度相同；传送横杆51上的任一个传送轮52到传送横杆51的中心点的距离为dl ;传送横杆61上的任一个传送轮62到传送横杆61的中心点的距离为d2 ;传送横杆71上的任一个传送轮72到传送横杆71的中心点的距离为d3 ;其中，dl、d2、d3互不相同。通常，在基板传送过程中，基板位于传送横杆的中间位置，因此，dl、d2、d3互不相同，就可保证每个基板传送带的传送轮在基板上的接触位置都互不相同。这样，不仅不易出现基板划伤，而且当出现基板划伤时，能依据基板的划伤位置和各基板传送带的传送轮在基板上的接触位置查找出划伤基板的是哪个基板传送带，查明划伤原因，消除产生划伤的原因便可有效避免基板的再次划伤；进ー步地，还可降低基板弯曲的发生概率，降低了基板的不良率。实际实施过程中，基板传送设备还可以实施为其它用于传送基板的设备，并不限于上述基板传送帯。另外，优选地，如图3所示，上述基板处理系统还可以包括用于对基板进行操作的处理设备，与上述至少两个基板传送设备中的至少ー个基板传送设备连接。处理设备的数量可以是ー个或者多个；每个处理设备可以根据需要与ー个或两个基板传送设备连接。[0041]其中，上述处理设备可具体实施为用于对基板进行エ艺处理的エ艺设备，如彩色滤光片生产设备等；或者用于对基板进行检测的检测设备，如检测基板是否有划伤的检测设备等。需要说明的是，实际实施过程中，上述至少两个基板传送设备中的任意两个基板传送设备可以直接连接，使基板可以由ー个基板传送设备直接传送到另ー个基板传送设备，这样可以避免基板在一段传送过程中始終保持ー个接触位置，可进ー步避免出现划伤；或者，上述至少两个基板传送设备中的任意两个基板传送设备可以间接连接，即该任意两个基板传送设备之间设置ー处理设备，这样，基板通过ー个基板传送设备被传送到该处理设备，基板经过该处理设备的处理后再通过另ー个基板传送设备被传送出去。以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术 人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种基板处理系统，其特征在于，包括 至少两个基板传送设备； 所述至少两个基板传送设备中任ー个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置为第一位置，其余任ー个基板传送设备的基板支撑部件在所述基板上的接触位置为第二位置，所述第一位置与所述第二位置不相同。
2.如权利要求I所述的基板处理系统，其特征在于，还包括 用于对所述基板进行操作的处理设备，与所述至少两个基板传送设备中的至少ー个基板传送设备连接。
3.如权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，所述处理设备具体为 用于对所述基板进行エ艺处理的エ艺设备；或者 用于对所述基板进行检测的检测设备。
4.如权利要求1-3中任一所述的基板处理系统，其特征在干， 所述至少两个基板传送设备为至少两个基板传送帯。
5.如权利要求4所述的基板处理系统，其特征在干， 所述至少两个基板传送带中的任ー个基板传送带具有第一传送横杆和套设于所述第ー传送横杆上的多个第一传送轮，其余任ー个基板传送带具有第二传送横杆和套设于所述第二传送横杆上的多个第二传送轮，所述第一传送横杆与所述第二传送横杆的长度相同； 所述多个第一传送轮中的任ー个第一传送轮到所述第一传送横杆的中心点的距离为第一距离，所述多个第二传送轮中的任ー个第二传送轮到所述第二传送横杆的中心点的距离为第二距离，所述第一距离与所述第二距离不相同。
专利摘要本实用新型提供一种基板处理系统，用以解决现有基板处理系统在整个基板处理过程中容易出现基板划伤，并且难以查明基板划伤原因的问题。该基板处理系统包括至少两个基板传送设备；所述至少两个基板传送设备中任一个基板传送设备的基板支撑部件在基板上的接触位置为第一位置，其余任一个基板传送设备的基板支撑部件在所述基板上的接触位置为第二位置，所述第一位置与所述第二位置不相同。该基板处理系统不易出现基板划伤，容易查明划伤原因，可降低基板弯曲的发生概率，降低了基板的不良率。
文档编号H01L21/677GK202473882SQ20122011530
公开日2012年10月3日 申请日期2012年3月23日 优先权日2012年3月23日
发明者赵杨, 高雪松 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司