用于oled器件的分层结构,用于制造所述分层结构的方法,以及具有所述分层结构的oled器件的制作方法

用于oled器件的分层结构,用于制造所述分层结构的方法,以及具有所述分层结构的oled器件的制作方法
【专利摘要】用于有机发光二极管（OLED）器件的分层结构，所述分层结构包括光透射衬底和形成在光透射衬底的一侧上的内部提取层，其中内部提取层包括（1）包含由固体颗粒和孔组成的散射元件的散射区域，所述固体颗粒具有随其离开与光透射衬底的界面而减小的密度，并且所述孔具有随其离开与光透射衬底的界面而增加的密度，以及（2）其中不存在散射元件的自由区域，其从与所述界面相对的内部提取层的表面形成到预定深度。
【专利说明】用于OLED器件的分层结构，用于制造所述分层结构的方 法，以及具有所述分层结构的OLED器件

【技术领域】
[0001] 本发明涉及用于有机发光二极管（OLED)器件的分层结构，并且更具体地，涉及用 于OLED器件的分层结构，所述分层结构包括可以对通过由玻璃衬底、ITO层和有机层之间 的折射率中的差异引起的波导效应和通过由玻璃衬底和空气之间的折射率中的差异引起 的全反射效应而损失到外部的光进行有效提取的内部提取层（IEL)，用于制造所述分层结 构的方法和具有所述分层结构的OLED器件。

【背景技术】
[0002] 有机发光二极管（OLED)是这样一种器件：其中有机层夹在两个电极之间并且当 向有机层施加电场时，电子和空穴从电极注入并且在有机层中重组以形成激子，并且激子 衰变到基态且发射光。OLED的结构相对简单，需要较少类型的部分，并且对于大规模生产是 有利的。OLED已经发展成用于显示目的，并且使用白色OLED的OLED照明的领域近来已经 吸引了大量关注。
[0003] 与OLED面板不同，OLED照明面板不具有分离的红、绿和蓝（RGB)像素并且使用多 个有机层而发射白光。在此，使用在OLED照明面板中的有机层根据其功能而包括空穴注入 层、空穴输运层、发射层、电子输运层、电子注入层等。
[0004] OLED可以取决于所使用的材料、发光机制、发光方向、驱动方法等而分类成各种类 型。在此，OLED可以根据发光结构而分类成朝向玻璃衬底发射光的底部发射类型OLED和 在与玻璃衬底相反方向上发射光的前部发射类型0LED。在底部发射类型OLED的情况中，诸 如铝等之类的金属薄膜用作阴极以充当反射板，并且诸如ITO等之类的透明导电氧化物膜 用作阳极以充当光通过其而发射的路径。在前部发射类型OLED的情况中，阴极由包括银薄 膜的多层薄膜组成，并且光通过阴极发射。然而，前部发射结构很少用作照明面板，除了从 两侧都发射光的透明面板之外，并且底部发射结构被最广泛地使用。
[0005] 同时，磷光性OLED可以在光发射中使用通过电子和空穴的重组所形成的所有激 子，并且因此其理论上的内量子效率逼近100%。然而，即便内量子效率接近100%，大约20% 的光被发射到外部，并且大约80%的光通过由玻璃衬底、ITO层和有机层之间的折射率中的 差异引起的波导效应和通过由玻璃衬底和空气之间的折射率中的差异引起的全反射效应 而损失。
[0006] 内部有机层的折射率大约为1. 7到1. 8,并且一般用作阳极的ITO层（即透明电极） 的折射率大约为1. 9。这两层的厚度像大约200到400nm那样小，玻璃衬底的折射率大约为 1. 5,并且因此平面波导自然形成在OLED中。根据计算，通过波导效应损失的光的量看似大 约 45%。
[0007] 而且，玻璃衬底的折射率大约为1. 5,并且外部空气的折射率大约为1. 0。作为结 果，当光从玻璃衬底逸出到外部时，超过临界角入射的光引起全反射并且在玻璃衬底中被 俘获，并且以这种方式被俘获的光总计大约35%。
[0008] 作为结果，由于玻璃衬底、ITO层和有机层之间的波导效应和由于玻璃衬底和空气 层之间的全反射效应，仅大约20%的光被发射到外部，并且因此OLED的外部光效率由于低 的光提取效率而停留在低水平。
[0009] 因此，期望用于提取OLED中所俘获的光的技术来改善OLED的外部光效率。在此， 用于将在有机层和ITO层之间俘获的光提取到外部的技术称作内部光提取，并且用于将玻 璃衬底中俘获的光提取到外部的技术称作外部光提取。作为能够改善OLED照明面板的效 率、亮度和寿命的核心技术，光提取技术已经吸引了大量关注。特别地，内部光提取技术 被评估为能够在理论上实现大于三倍的外部光效率的改善的有效技术，但是它敏感地影响 OLED的内部界面。因此，内部光提取技术需要满足除光学效应之外的电气、机械和化学属 性。
[0010]目前，已经建立了将微透镜阵列（MLA)膜、光散射膜等附接到OLED面板的外部表 面的外部光提取技术，但是内部光提取技术尚未达到实用阶段。
[0011] 根据研究报告，已知的是，诸如内部光散射层、衬底表面变形、折射率调制层、光子 晶体、纳米结构形成等之类的内部光提取技术对内部光提取具有效果。内部光提取技术的 关键点是散射、衍射或折射通过波导效应所俘获的光以形成小于临界角的入射角使得光被 提取到光学波导的外部。
[0012] 然而，以上作为内部光提取技术所介绍的技术仍处于实验室阶段，并且因此急切 期望可适用于大规模生产的内部光提取技术的发展。


【发明内容】

[0013] 技术问题 本发明的一方面是提供用于OLED器件的分层结构，其可以有效提取在OLED器件中的 光学波导和玻璃衬底中被俘获的光以显著改善OLED器件的外部光效率，因此改善OLED器 件的效率、亮度和寿命。
[0014] 本发明的另一方面是提供用于制造用于OLED器件的分层结构的方法，其能够以 简单的过程和低廉的成本在大规模生产中制造用于OLED器件的分层结构。
[0015] 本发明的又一方面是提供具有用于OLED器件的分层结构的OLED器件。
[0016] 对问题的解决方案 根据本发明的一方面，提供了用于有机发光二极管（OLED)器件的分层结构，所述分层 结构包括光透射衬底和形成在光透射衬底的一侧上的内部提取层，其中内部提取层可以包 括：包含由固体颗粒和孔组成的散射元件的散射区域，所述固体颗粒具有随其离开与光透 射衬底的界面而减小的密度，并且所述孔具有随其离开与光透射衬底的界面而增加的密 度；以及其中不存在散射元件的自由区域，其从与所述界面相对的内部提取层的表面形成 到预定深度。
[0017] 在此，所有固体颗粒的多于大约90%可以存在于与内部提取层自所述界面的整个 厚度的一半或三分之二相对应的第一区域中。
[0018] 在实施例中，第二区域中的孔的密度可以高于第一区域中的孔的密度，第二区域 被限定在第一区域的边界与自由区域的边界之间。
[0019] 在实施例中，第一区域可以具有大约5到15 μ m的厚度，第二区域可以具有大约3 到10 μ m的厚度，并且因此内部提取层的整个厚度可以为大约8到25 μ m。
[0020] 在实施例中，自由区域可以具有大约0.25到2. Ομπι的厚度。
[0021 ] 在实施例中，散射元件的密度可以随其从界面去往自由区域的边界而逐渐减小。
[0022] 在实施例中，固体颗粒可以包括选自包括Si02、TiO2和ZrO 2的组中的至少一种。
[0023] 在实施例中，内部提取层可以包括玻璃材料。
[0024] 玻璃材料可以包括大约55到84 wt% Bi2O3、?到大约20 wt% BaO、大约5到20 wt% ZnO、大约1到7 wt% Al2O3、大约5到15 wt% SiO2，大约5到20 wt% B2O3。玻璃材料可以可 选地包括大约0. 05到3 wt% Na2O和/或0到大约0. 3 wt% CeO2。
[0025] 用于OLED器件的分层衬底还可以包括在内部提取层上所形成的光透射阻挡层。
[0026] 阻挡层可以包括SiO2和/或Si3N4。阻挡层可以形成为单层或形成为多层(例如， 交替的SiOjP Si3N4层)。
[0027] 在实施例中，阻挡层可以具有大约5到50nm、特别是10到30nm的厚度。
[0028] 根据本发明的另一方面，提供了用于制造用于有机发光二极管（OLED)器件的分层 结构的方法，所述方法包括：准备光透射衬底；在光透射衬底上涂覆包括玻璃料和固体颗 粒的第一玻璃料浆并且干燥结果得到的衬底；在第一玻璃料浆的涂层上涂覆包括玻璃料的 第二玻璃料浆；通过保持其上涂覆了第一和第二玻璃料浆的结果得到的衬底预定时间来使 第二玻璃料浆的涂层的表面平滑并且然后干燥结果得到的衬底；以及加热其上涂覆了第一 和第二玻璃料浆的光透射衬底。
[0029] 在实施例中，第一玻璃料浆可以包括70到80 wt%玻璃料和0.5到6 wt%固体颗 粒，并且其剩余物可以包括粘合剂和溶剂。
[0030] 在实施例中，第二玻璃料浆可以包括66到76 wt%玻璃料，并且其剩余物可以包括 粘合剂和溶剂。
[0031] 在实施例中，固体颗粒可以包括选自包括Si02、TiO2和ZrO 2的组中的至少一种。
[0032] 玻璃料可以包括大约55到84 wt% Bi2O3、?到大约20 wt% BaO、大约5到20 wt% ZnO、大约1到7 wt% Al2O3、大约5到15 wt% SiO2、大约5到20 wt% B2O3。玻璃料可以可选 地包括大约0. 05到3 wt% Na2O和/或0到大约0. 3 wt% CeO2。
[0033] 在使第二玻璃料浆的涂层的表面平滑的过程中，第二玻璃料浆涂层的表面可以通 过向第一和第二玻璃料浆的涂层辐照超声波而被快速平滑化并且，同时，第一和第二玻璃 料浆的涂层之间的固体颗粒的漫射区域可以被激活并且然后被干燥。
[0034] 根据本发明的实施例的方法还可以包括，在加热其上涂覆了第一和第二玻璃料浆 的光透射衬底之后，形成包括SiO2和/或Si3N4的阻挡层。阻挡层可以形成为单层或者形 成为多层(例如，交替的SiO2和Si3N4层)。
[0035] 在实施例中，阻挡层可以具有大约5到50nm、特别是10到30nm的厚度。
[0036] 根据本发明的另一方面，提供了有机发光二极管（OLED)器件，其包括：光透射衬 底；内部提取层，其形成在光透射衬底上并且包括散射区域和自由区域，所述散射区域包含 由固体颗粒和孔组成的散射元件，所述固体颗粒具有随其离开与光透射衬底的界面而减小 的密度，并且所述孔具有随其离开与光透射衬底的界面而增加的密度，在所述自由区域中 不存在散射元件，其从与所述界面相对的内部提取层的表面形成到预定深度；形成在内部 提取层上的光透射电极层；形成在光透射电极层上的有机层；以及形成在有机层上的反射 电极。
[0037] 在此，所有固体颗粒的多于大约90%可以存在于与内部提取层自所述界面的整个 厚度的一半或三分之二相对应的第一区域中。
[0038] 在实施例中，第二区域中的孔的密度可以高于第一区域中的孔的密度，第二区域 被限定在第一区域的边界与自由区域的边界之间。
[0039] 在实施例中，散射元件的密度可以随其从界面去往自由区域的边界而逐渐减小。
[0040] 在实施例中，内部提取层可以包括玻璃材料，其包括大约55到84 wt% Bi203、0到 大约20 wt% BaO、大约 5至IJ20 wt% ZnO、大约 1 到7 wt% Al2O3、大约5至IJ15 wt% SiO2、大约 5到20 wt% B2O3。玻璃材料可以可选地包括大约0. 05到3 wt% Na2O和/或0到大约0. 3 wt% Ce02〇
[0041] OLED器件还可以包括阻挡层，其包括SiO2和/或Si3N4并且形成在内部提取层和 光透射电极层之间。阻挡层可以形成为单层或形成为多层(例如，交替的SiO 2和Si3N4层)。
[0042] 在实施例中，阻挡层可以具有大约5到50nm、特别是10到30nm的厚度。
[0043] 根据本发明另外一方面，提供了用于OLED器件的分层结构，所述分层结构包括光 透射衬底和形成在光透射衬底的一侧上的内部提取层，其中内部提取层包括玻璃材料，其 包括大约55到84 wt% Bi203、0到大约20 wt% BaO、大约5到20 wt% ZnO、大约1到7 wt% Al2O3、大约5到15 wt% SiO2、大约5到20 wt% B2O3。玻璃材料可以可选地包括大约0.05 至Ij 3 wt% Na2O 和 / 或 0 到大约 0· 3 wt% Ce02。
[0044] 发明的有利效果 根据本发明的实施例的用于OLED器件的分层结构可以有效地提取在OLED器件中的光 学波导和玻璃衬底中俘获的光以显著改善OLED器件的外部光效率，因此改善OLED器件的 效率、亮度和寿命。
[0045] 而且，用于制造用于OLED器件的分层结构的方法，其能够以简单的过程和低廉的 成本在大规模生产中制造用于OLED器件的分层结构。

【专利附图】

【附图说明】
[0046] 通过参照附图而详细描述其示例性实施例，本发明的以上和其它特征和益处将变 得更加显而易见，其中： 图1是示出根据本发明的实施例的用于OLED器件的分层结构和具有所述分层结构的 OLED器件的结构的横截面视图； 图2是示出根据在用于图1的OLED器件的分层结构中所提供的内部提取层的结构的 光散射效应的示意图； 图3是示出图2的内部提取层中所包含的所有散射元件的密度分布的图表，其被归一 化到内部提取层的厚度； 图4是图3的内部提取层的SEM图像； 图5是示出根据内部提取层中所包含的固体颗粒的密度的光漫射和光吸收率中的改 变的图表； 图6是示出根据内部提取层的厚度中的改变的光吸收率和光透射率中的改变的图表； 图7是示出根据作为用于内部提取层的材料的玻璃料（frit)是否包含过渡金属的光 吸收率中的差异的图表；以及 图8是示出根据本发明的实施例的用于制造用于OLED器件的分层结构的方法的流程 图。

【具体实施方式】
[0047] 现在将对其示例被图示在附图中的本一般发明概念的实施例做出详细参考，其中 遍及全文，同样的参考标号是指同样的元件。以下描述实施例以便通过参考各图来解释本 一般发明概念。在附图中，为了清楚起见，层和区的厚度被夸大。遍及说明书，同样的参考 标号表不相同的组件。
[0048] 以下，将参考附图来描述根据本发明的实施例的用于OLED器件的分层结构20和 具有所述分层结构的OLED器件10。
[0049] [用于OLED器件的分层结构] 根据本发明的实施例的用于OLED器件的分层结构20形成在OLED器件10(特别地，具 有底部发射结构）的光透射电极层300上以改善将OLED器件10中生成的光提取到外部的 效率。
[0050] 图1示意性地示出根据本发明的实施例的用于OLED器件的分层结构20和具有所 述分层结构的OLED器件10的结构。用于OLED器件的分层结构20 -般包括光透射衬底 100和形成在光透射衬底100的一侧上的内部提取层200。
[0051] 光透射衬底100由对可见光具有高透射率的材料形成，并且玻璃衬底或塑料衬底 可以用作高透射率材料。然而，其折射率可以容易调节并且其能够经受住在玻璃料浆(其将 在稍后描述）被施加于此并且在500到750°C的高温下烧制时的高温的玻璃衬底在本发明 的实施例中是合期望的。在此，诸如碱性玻璃、无碱玻璃、高应变点玻璃、石英玻璃等之类的 无机玻璃可以用于玻璃衬底。然而，不排除塑料衬底的使用，只要满足以上条件即可。
[0052] 在实施例中，玻璃衬底具有大约1. 5到1. 6的折射率，因为折射率越高，临界角越 小，因此引起甚至以小入射角的全反射，这因此不合期望。
[0053] 形成在光透射衬底100的一侧上的内部提取层200是一种散射层，其被提供以防 止通过OLED器件10的有机层400中的电子和空穴的重组所生成的光通过光透射衬底100 中的波导效应而损失，并且属于用于通过上述内部光提取来改善OLED器件10的光提取效 率的技术。内部提取层200也可以由玻璃材料制成并且可以例如通过将玻璃料浆施加到光 透射衬底100的一侧并且以高温烧制结果得到的光透射衬底100来形成。
[0054] 散射元件210被包含在内部提取层200中并且由包括选自包括例如Si02、TiO 2和 ZrO2的组中的至少一种的固体颗粒211和包括空气或气泡的孔212所组成。入射到内部提 取层200中的光，即直接从有机层400入射的光以及从光透射衬底100和空气之间的界面 全反射并且回馈到内部提取层200的光被多个散射元件210随机散射并且在该过程期间， 具有小于临界角的入射角的光出射到光透射衬底100的外部，因此改善光提取效率。
[0055] 特别地，在根据本发明的实施例的用于OLED器件的分层结构20中，内部提取层 200被宽泛地划分成两个区，更加详细地，被划分成三个区，其被示意性地示出在图1的部 分放大的视图中。
[0056] 内部提取层200的结构可以被宽泛地划分成散射区D和其中不存在散射元件210 的自由区F，所述散射区D包括由固体颗粒211和孔212组成的散射元件210,所述自由区 F从与光透射衬底100的界面相对的内部提取层200的表面形成到预定深度。如以上提到 的，散射区域D是其中入射到内部提取层200中的光以各种方式被散射的区域，并且自由区 域F是一种缓冲区带以防止内部提取层200的表面的平坦性被散射元件210降级。
[0057] 本发明的实施例的显著特征在于散射区域D包括固体颗粒211和孔212二者，其 各自和总体密度在内部提取层200的深度之上均匀分布。
[0058] 首先，以下将描述固体颗粒211和孔212的各自密度。基于光透射衬底100与内 部提取层200之间的界面，固体颗粒211的密度随其离开界面而减小，而孔212的密度随其 离开界面而增加。鉴于不同类型的散射元件210的属性而提供固体颗粒211和孔212的该 复杂分布。孔212通过在作为用于内部提取层200的材料的玻璃料浆中所包含的Bi 2O3和 BaO的还原期间生成的氧气气体形成并且提供强散射效果。然而，孔212由于气体的性质而 倾向于集中在内部提取层200的顶部处，这使得难以获取孔212的期望的分布。为了弥补 孔212的缺陷，固体颗粒211被控制成当它们更接近光透射衬底100和内部提取层200之 间的界面时具有更高的密度分布。由于控制固体颗粒211的密度分布比孔212的密度分布 更容易，以上文的方式人工控制散射元件210的分布是可能的。
[0059] 被配置成防止内部提取层200的表面的平坦性被散射元件210降级的自由区域F 具有大约〇. 5到2. 0 μ m的厚度范围。由于自由区域F的存在，内部提取层200的表面的平 坦性满足八1^〈111111且八1^^〈1511111的表面粗糙度条件，其中八1^表示中心线平均粗糙度 并且ARpv表示最大高度粗糙度。如果该水平的表面粗糙度未被满足，则当光透射电极层 300、有机层400等沉积在内部提取层200上时，沿内部提取层200的表面形状而产生火花， 因此引起诸如短路等之类的缺陷。
[0060] 其次，当内部提取层200的结构被详细划分成三个区域时，散射区域被划分成诸 如第一区域Dl和第二区域D之类的两个区域，其有关用于分别控制固体颗粒211和孔212 的密度的玻璃料浆。
[0061] 第一区域Dl是其中存在所有固体颗粒211的多于大约90%的区域并且对应于内 部提取层200自界面的整个厚度的一半或三分之二。也就是说，大多数固体颗粒211存在 于第一区域Dl中，其通过包含固体颗粒211的第一玻璃料浆(将稍后描述）形成。
[0062] 第二区域D2是指在第一区域Dl的边界和自由区域F的边界之间的中间区域，并 且第二区域D2中的孔212的密度高于第一区域Dl中的孔212的密度。也就是说，除少量 固体颗粒211之外，大多数孔212被包含在第二区域D2中，其主要由不包含固体颗粒211 的第二玻璃料浆形成。
[0063] 同时，除构成散射元件210的固体颗粒211和孔212的各自密度之外，所有散射元 件210的分布也是相关的。散射元件210的密度随其从光透射衬底100和内部提取层200 之间的界面去往自由区域F的边界而逐渐减小。图3的图表示出关于内部提取层200的厚 度而归一化的散射元件210的密度。而且，图4是对应于图3的散射元件210的密度分布 的内部提取层的SEM图像，其中看起来较暗的元件是固体颗粒211并且看起来较浅的元件 是孔212。
[0064] 散射元件210的总体分布型式主要由固体颗粒211的密度控制。而且，出于提供在 从内部提取层200提取到光透射衬底100、从光透射衬底100和空气之间的界面反射并且入 射到内部提取层200中之后被散射元件210散射的光的较小路径的目的，形成邻近于边界 的区域中的散射元件210的最高密度。也就是说，如图2中示意性示出的，在相比于左侧上 的结构（a)在界面上具有较高密度的散射元件210 (特别地，固体颗粒211)的结构（b)的内 部提取层200中，大多数光在靠近光透射衬底100和内部提取层200之间的界面处被散射， 而不是在深的内部区域中，并且因此尽可能多地降低由于光学路径的延伸所致的光损失是 可能的，这结果产生光提取效率的改善。
[0065] 下表1示出相对于不具有内部提取层200的OLED器件10,形成在OLED器件10中 的内部提取层200的光学效率及其增加率。在表1中所示的示例1和2中，TiO 2和SiO2分 别被用作固体颗粒211，由包括大约55到84 wt% Bi203、0到大约20 wt% BaO、大约5到20 wt% ZnO、大约 1 到 7 wt% Al2O3、大约 5 到 15 wt% SiO2、大约 5 到 20 wt% B2O3、大约 0· 1 至Ij 3 wt% Na2O和0到大约0. 3 wt% CeO2的玻璃料(稍后将详细描述）制成的相同玻璃材料被 用作光透射衬底100,并且固体颗粒211的密度（2 wt%)被控制成相同。

【权利要求】
1. 一种用于有机发光二极管（OLED)器件的分层结构，所述分层结构包括光透射衬底 和形成在光透射衬底的一侧上的内部提取层， 其中内部提取层包括： 包含由固体颗粒和孔组成的散射元件的散射区域，所述固体颗粒具有随其离开与光 透射衬底的界面而减小的密度，并且所述孔具有随其离开与光透射衬底的界面而增加的密 度；以及 其中不存在散射元件的自由区域，其从与所述界面相对的内部提取层的表面形成到预 定深度。
2. 根据权利要求1所述的用于0LED器件的分层衬底，其中所有固体颗粒的多于大约 90%存在于与内部提取层自所述界面的整个厚度的一半或三分之二相对应的第一区域中。
3. 根据权利要求2所述的用于0LED器件的分层衬底，其中第二区域中的孔的密度高于 第一区域中的孔的密度，第二区域被限定在第一区域的边界与自由区域的边界之间。
4. 根据权利要求3所述的用于0LED器件的分层衬底，其中第一区域具有大约5到 15 y m的厚度，第二区域具有大约3到10 y m的厚度，并且内部提取层的整个厚度为大约8 到 25 u m。
5. 根据权利要求4所述的用于OLED器件的分层衬底，其中自由区域具有大约0. 25到 2. 0 y m的厚度。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的用于OLED器件的分层衬底，其中散射元件的密 度随其从界面去往自由区域的边界而逐渐减小。
7. 根据权利要求1至5中任一项所述的用于OLED器件的分层衬底，其中固体颗粒包括 选自包括Si02、Ti02和Zr02的组中的至少一种。
8. 根据权利要求1至5中任一项所述的用于OLED器件的分层衬底，其中内部提取层包 括玻璃材料。
9. 根据权利要求8所述的用于OLED器件的分层衬底，其中玻璃材料包括大约55到84 wt% Bi203、0 到大约 20 wt% BaO、大约 5 到 20 wt% ZnO、大约 1 到 7 wt% A1203、大约 5 到 15 wt% Si02、大约 5 到 20 wt% B203 以及 0 到大约 0? 3 wt% Ce02。
10. 根据权利要求1至5中任一项所述的用于OLED器件的分层衬底，还包括形成在内 部提取层上的光透射阻挡层。
11. 根据权利要求10所述的用于OLED器件的分层衬底，其中阻挡层包括Si02和/或 Si3N4。
12. 根据权利要求10所述的用于OLED器件的分层衬底，其中阻挡层具有大约5到50nm 的厚度。
13. -种用于制造用于有机发光二极管（OLED)器件的分层结构的方法，所述方法包 括： 准备光透射衬底； 在光透射衬底上涂覆包括玻璃料和固体颗粒的第一玻璃料浆并且干燥结果得到的衬 底； 在第一玻璃料浆的涂层上涂覆包括玻璃料的第二玻璃料浆； 通过保持其上涂覆了第一和第二玻璃料浆的结果得到的衬底预定时间来使第二玻璃 料浆的涂层的表面平滑并且然后干燥结果得到的衬底；以及 加热其上涂覆了第一和第二玻璃料浆的光透射衬底。
14. 根据权利要求13所述的方法，其中第一玻璃料浆包括大约70到80 wt%玻璃料和 大约0. 5到6 wt%固体颗粒，并且其剩余物包括粘合剂和溶剂。
15. 根据权利要求13所述的方法，其中第二玻璃料浆包括大约66到76 wt%玻璃料，并 且其剩余物包括粘合剂和溶剂。
16. 根据权利要求13或14所述的方法，其中固体颗粒包括选自包括Si02、Ti02和Zr0 2的组中的至少一种。
17. 根据权利要求13所述的方法，其中玻璃料包括大约55到84 wt% Bi203、0到大约 20 wt% BaO、大约 5 到 20 wt% ZnO、大约 1 到 7 wt% A1203、大约 5 到 15 wt% Si02、大约 5 至IJ 20 wt% B203 以及 0 到大约 0? 3 wt% Ce02。
18. 根据权利要求13所述的方法，其中在使第二玻璃料浆的涂层的表面平滑中，第二 玻璃料浆涂层的表面通过向第一和第二玻璃料浆的涂层辐照超声波而被快速平滑化并且， 同时，第一和第二玻璃料浆的涂层之间的固体颗粒的漫射区域被激活并且然后被干燥。
19. 根据权利要求13所述的方法，还包括，在加热其上涂覆了第一和第二玻璃料浆的 光透射衬底之后，形成包括Si02和/或Si3N4的阻挡层。
20. 根据权利要求19所述的方法，其中阻挡层具有大约5到50nm的厚度。
21. -种有机发光二极管（0LED)器件，其包括： 光透射衬底； 内部提取层，其形成在光透射衬底上并且包括散射区域和自由区域，所述散射区域包 含由固体颗粒和孔组成的散射元件，所述固体颗粒具有随其离开与光透射衬底的界面而减 小的密度，并且所述孔具有随其离开与光透射衬底的界面而增加的密度，在所述自由区域 中不存在散射元件，其从与所述界面相对的内部提取层的表面形成到预定深度； 形成在内部提取层上的光透射电极层； 形成在光透射电极层上的有机层；以及 形成在有机层上的反射电极。
22. 根据权利要求21所述的0LED器件，其中所有固体颗粒的多于大约90%存在于与内 部提取层自所述界面的整个厚度的一半或三分之二相对应的第一区域中。
23. 根据权利要求22所述的0LED器件，其中第二区域中的孔的密度高于第一区域中的 孔的密度，第二区域被限定在第一区域的边界与自由区域的边界之间。
24. 根据权利要求21至23中任一项所述的0LED器件，其中散射元件的密度随其从界 面去往自由区域的边界而逐渐减小。
25. 根据权利要求21至23中任一项所述的0LED器件，其中内部提取层包括玻璃材 料，其包括大约55到84 wt% Bi203、0到大约20 wt% BaO、大约5到20 wt% ZnO、大约1到 7 wt% A1203、大约 5 到 15 wt% Si02、大约 5 到 20 wt% B203 以及 0 到大约 0? 3 wt% Ce02。
26. 根据权利要求21至23中任一项所述的0LED器件，还包括阻挡层，其包括Si02和 /或Si3N4并且形成在内部提取层和光透射电极层之间。
27. 根据权利要求26所述的0LED器件，其中阻挡层具有大约5到50nm的厚度。
28. -种用于0LED器件的分层结构，所述分层结构包括光透射衬底和形成在光透射衬 底的一侧上的内部提取层，其中内部提取层包括玻璃材料，其包括大约55到84 wt% Bi203、 0 到大约 20 wt% BaO、大约 5 到 20 wt% ZnO、大约 1 到 7 wt% A1203、大约 5 到 15 wt% Si02、 大约 5 到 20 wt% B203。
29. 根据权利要求28所述的分层结构，其中玻璃材料包括大约0. 05到3 wt% Na20。
30. 根据权利要求28或29所述的分层结构，其中除不可避免的微量之外，玻璃材料不 包含任何Ti02*Zr02。
31. 根据权利要求28至30中任一项所述的分层结构，其中玻璃材料包括大约65到80 wt% Bi203和优选地0到大约5 wt% BaO。
32. -种有机发光二极管（0LED)器件，其包括权利要求28至31中任一项的分层结构、 形成在内部提取层上的光透射电极层；形成在光透射电极层上的有机层；以及形成在有机 层上的反射电极。
【文档编号】H01L51/52GK104350629SQ201380030814
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2013年6月14日 优先权日:2012年6月14日
【发明者】李荣盛, 韩镇宇, 白志雄 申请人:法国圣戈班玻璃厂