技术特征：
技术总结
一种用于将工件夹持到静电夹具(ESC)的系统和方法包括将第一工件放置在ESC的表面上，并且将第一组夹持参数施加到ESC，其中用第一夹持力将第一工件夹持到ESC的表面。确定工件到ESC的夹持程度，并且基于工艺配方停止将第一组夹持参数施加到ESC。在停止将第一组夹持参数施加到ESC之后，将第二组夹持参数施加到ESC，并且当工件到ESC的夹持程度小于或近似等于阈值夹持值时，在将第二组夹持参数施加到ESC的同时，从ESC的表面移除工件ESC。在从ESC的表面移除工件之后，再停止到ESC的第二组夹持参数。
技术研发人员：爱德华·麦金太尔;坦·源
受保护的技术使用者：艾克塞利斯科技公司
技术研发日：2015.09.17
技术公布日：2017.08.18