1.一种半导体装置,其具有:
半导体层;
第1电极层,其设置在所述半导体层的表面,由第1导电性材料形成;
第2电极层,其层叠在所述第1电极层,由第2导电性材料形成,该第2导电性材料具有与所述第1导电性材料不同的线膨胀系数、且与所述第1导电性材料相比机械强度较低;以及
第3电极层,其层叠在所述第2电极层,由第3导电性材料形成,该第3导电性材料具有与所述第1导电性材料不同的线膨胀系数、且焊料浸润性与所述第1导电性材料相比较高。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,
在所述第1电极层与所述第2电极层之间,还具有由机械强度高于所述第2电极层的导电性材料构成的阻挡金属层。
3.根据权利要求2所述的半导体装置,其中,
所述阻挡金属层的导电性材料为Ti或者Ti合金。
4.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,
所述第1导电性材料为AlSi,
所述第2导电性材料为纯铝。
5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,
所述第1导电性材料为Si的比例高于1%的AlSi。
6.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,
所述第1导电性材料为Si的比例高于1%且包含Cu的AlSiCu。
7.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,
在所述半导体层的表面,设置有俯视观察时包围所述第1电极层的保护环,
在所述俯视观察时,以所述第2电极层的周缘包围所述第3电极层的周缘的方式,将所述第2电极层设置为达到至所述第3电极层的外侧。
8.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,具有:
焊料层,其层叠在所述第3电极层;以及
引线框,其通过所述焊料层焊接在所述第3电极层。
9.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,
所述半导体层的材料为宽带隙半导体。
10.一种半导体装置,其具有:
半导体层;
第1电极层,其层叠在所述半导体层的表面,由AlCu或AlSiCu形成;以及
第2电极层,其层叠在所述第1电极层,由Cu形成。
11.根据权利要求10所述的半导体装置,其中,
所述第1电极层的材料为Cu的比例高于1%的AlCu。
12.根据权利要求10所述的半导体装置,其中,
所述第1电极层的材料为Si的比例高于1%的AlSiCu。
13.根据权利要求10所述的半导体装置,其中,
在所述第1电极层与所述第2电极层之间,还具有由机械强度高于所述第2电极层的材料构成的阻挡金属层。
14.根据权利要求13所述的半导体装置,其中,
所述阻挡金属层的材料为Ta或者Ta合金。
15.根据权利要求10~14中任一项所述的半导体装置,其中,
在所述半导体层的表面,设置有俯视观察时包围所述第1电极层的保护环,
在所述俯视观察时,将所述第1电极层设置为达到至所述第2电极层的周缘的外侧。
16.根据权利要求10~14中任一项所述的半导体装置,其中,具有:
焊料层,其层叠在所述第2电极层;以及
引线框,其通过所述焊料层焊接在所述第2电极层。
17.根据权利要求10~14中任一项所述的半导体装置,其中,
所述半导体层的材料为宽带隙半导体。