半导体装置的制作方法

文档序号:12370296阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体装置,其具有:

半导体层;

第1电极层,其设置在所述半导体层的表面,由第1导电性材料形成;

第2电极层,其层叠在所述第1电极层,由第2导电性材料形成,该第2导电性材料具有与所述第1导电性材料不同的线膨胀系数、且与所述第1导电性材料相比机械强度较低;以及

第3电极层,其层叠在所述第2电极层,由第3导电性材料形成,该第3导电性材料具有与所述第1导电性材料不同的线膨胀系数、且焊料浸润性与所述第1导电性材料相比较高。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,

在所述第1电极层与所述第2电极层之间,还具有由机械强度高于所述第2电极层的导电性材料构成的阻挡金属层。

3.根据权利要求2所述的半导体装置,其中,

所述阻挡金属层的导电性材料为Ti或者Ti合金。

4.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

所述第1导电性材料为AlSi,

所述第2导电性材料为纯铝。

5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,

所述第1导电性材料为Si的比例高于1%的AlSi。

6.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

所述第1导电性材料为Si的比例高于1%且包含Cu的AlSiCu。

7.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

在所述半导体层的表面,设置有俯视观察时包围所述第1电极层的保护环,

在所述俯视观察时,以所述第2电极层的周缘包围所述第3电极层的周缘的方式,将所述第2电极层设置为达到至所述第3电极层的外侧。

8.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,具有:

焊料层,其层叠在所述第3电极层;以及

引线框,其通过所述焊料层焊接在所述第3电极层。

9.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

所述半导体层的材料为宽带隙半导体。

10.一种半导体装置,其具有:

半导体层;

第1电极层,其层叠在所述半导体层的表面,由AlCu或AlSiCu形成;以及

第2电极层,其层叠在所述第1电极层,由Cu形成。

11.根据权利要求10所述的半导体装置,其中,

所述第1电极层的材料为Cu的比例高于1%的AlCu。

12.根据权利要求10所述的半导体装置,其中,

所述第1电极层的材料为Si的比例高于1%的AlSiCu。

13.根据权利要求10所述的半导体装置,其中,

在所述第1电极层与所述第2电极层之间,还具有由机械强度高于所述第2电极层的材料构成的阻挡金属层。

14.根据权利要求13所述的半导体装置,其中,

所述阻挡金属层的材料为Ta或者Ta合金。

15.根据权利要求10~14中任一项所述的半导体装置,其中,

在所述半导体层的表面,设置有俯视观察时包围所述第1电极层的保护环,

在所述俯视观察时,将所述第1电极层设置为达到至所述第2电极层的周缘的外侧。

16.根据权利要求10~14中任一项所述的半导体装置,其中,具有:

焊料层,其层叠在所述第2电极层;以及

引线框,其通过所述焊料层焊接在所述第2电极层。

17.根据权利要求10~14中任一项所述的半导体装置,其中,

所述半导体层的材料为宽带隙半导体。

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