场效应晶体管、显示元件、图像显示装置、和系统的制作方法

文档序号:12749693阅读:来源:国知局
技术总结
公开场效应晶体管、显示元件、图像显示装置、和系统。场效应晶体管包括:基底;钝化层;形成于基底和钝化层之间的栅绝缘层;形成为与栅绝缘层接触的源电极和漏电极;至少在源电极和漏电极之间形成且与栅绝缘层、源电极、和漏电极接触的半导体层;以及与栅绝缘层接触且经由栅绝缘层面对半导体层的栅电极,其中钝化层包含含有碱土金属和稀土元素的第一复合氧化物,和其中栅绝缘层包含含有碱土金属和稀土元素的第二复合氧化物。

技术研发人员:早乙女辽一;植田尚之;中村有希;安部由希子;松本真二;曾根雄司;新江定宪;草柳岭秀
受保护的技术使用者:株式会社理光
文档号码:201610552716
技术研发日:2016.07.14
技术公布日:2017.01.25

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