集成电路及其制造方法与流程

文档序号:11656108阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明揭露一种集成电路及其制造方法。集成电路包含基板、至少一n型半导体元件,以及至少一p型半导体元件。n型半导体元件位于基板上。n型半导体元件包含栅极结构,栅极结构具有底表面及至少一侧壁。n型半导体元件的栅极结构的底表面与n型半导体元件的栅极结构的侧壁交会以形成一内角。p型半导体元件位于基板上。p型半导体元件包含栅极结构,栅极结构具有底表面及至少一侧壁。p型半导体元件的栅极结构的底表面与p型半导体元件的栅极结构的侧壁交会以形成一内角,此内角小于n型半导体元件的栅极结构的内角。

技术研发人员:张哲诚;林志翰;曾鸿辉
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2016.08.02
技术公布日:2017.07.28
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1