阵列基板及其制作方法与流程

本发明涉及液晶显示领域，尤其涉及一种阵列基板及其制作方法。

背景技术：

由于LTPS具有高迁移率的优点，那么在进行像素设计时TFT开关的W/L就可以设计的很小，这样一来像素对应的开口率相对就比较高，具有极大的市场竞争优势。传统的LTPS像素截面参见图1，从图1中可以看出，在玻璃基板10上依次设置有遮光层(LSM)11、第一绝缘层12，多晶硅层13、第二绝缘层14、栅极层15、第三绝缘层16、源极17、漏极18、有机平坦层19、公共电极层20、钝化层21及像素电极层22。可见，LTPS的膜层较多，目前普遍使用的为11层。

目前，LTPS LCD面板还是通过Bonding COG(Chip on Glass)或FOG(FPC on Glass)的方式提供面板的驱动方式。现有的FOG Pad设计参见图2及图3，在现有的FOG Pad 30设计时，都会将FOG Pad 30的所在区域的整片有机平坦层19挖掉，形成有机平坦层孔31，通过钝化层21的钝化层孔32将底层的源/漏极层33和顶层的透明电极层34连接。当进行连接制程时，需要在FOG Pad 30上涂覆ACF(Anisotropic Conductive Film)胶，FPC(柔线路板)的Pad通过ACF胶与FOG Pad实现电连接。

一般，在涂布ACF胶时，所述ACF胶会覆盖整个有机平坦层孔31。当面板对应的分辨率增加时，FOG Pad的数目就会增加，在同样的空间下，当FOG Pad的数目增加时，FOG Pad的大小(长、宽)就会减小，对于每一个FOG Pad来说，ACF胶的涂布面积就会减小，会直接导致FOG Pad和FPC接触阻抗的增加，影响显示。

因此，亟需一种新的FOG Pad区域的设计方法来克服上述缺点。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是，提供一种阵列基板及其制作方法，其能够提高ACF胶的附着能力，减小FOG和FPC的接触阻抗。

为了解决上述问题，本发明提供了一种阵列基板，包括显示区域及驱动区域，所述驱动区域包括一具有多个焊盘的焊盘区域，所述焊盘用于与外部柔性线路板电连接，所述焊盘区域包括自下而上依次设置的玻璃基板、第一绝缘层、第二绝缘层及第三绝缘层，在所述第三绝缘层表面设置有所述焊盘，在相邻的两个焊盘之间的区域，所述第二绝缘层及所述第三绝缘层均具有一过孔。

进一步，所述第二绝缘层的过孔与所述第三绝缘层的过孔叠加，所述第二绝缘层的过孔小于所述第三绝缘层的过孔，以在相邻的两个焊盘之间的区域形成台阶式沟槽。

进一步，所述第一绝缘层也具有一过孔，所述第一绝缘层的过孔与所述第二绝缘层的过孔及第三绝缘层的过孔叠加。

进一步，所述第一绝缘层的过孔小于所述第二绝缘层的过孔，所述第二绝缘层的过孔小于所述第三绝缘层的过孔，以在相邻的两个焊盘之间的区域形成台阶式沟槽。

进一步，所述焊盘自下而上包括源/漏极层、钝化层及透明电极层，所述透明电极层穿过钝化层的一过孔与所述源/漏极层电连接。

进一步，在显示区域，所述第一绝缘层为遮光层与多晶硅层之间的介质层，所述第二绝缘层为多晶硅层与栅极之间的介质层；所述第三绝缘层为栅极与源/漏极之间的介质层。

本发明还提供一种上述阵列基板的制作方法，其中，在显示区域，所述第一绝缘层为遮光层与多晶硅层之间的介质层，所述第二绝缘层为多晶硅层与栅极之间的介质层；所述第三绝缘层为栅极与源/漏极之间的介质层，所述方法包括如下步骤：在制作完第三绝缘层后，在驱动区域及显示区域同时进行一过孔制作过程：在驱动区域的相邻的两个焊盘之间的区域，在所述第二绝缘层及所述第三绝缘层上形成所述过孔，在显示区域，在多晶硅对应位置形成一源/漏极过孔，所述源/漏极过孔用于将源/漏极与多晶硅层电连接。

进一步，在所述第二绝缘层及所述第三绝缘层形成所述过孔的步骤之后，在驱动区域的相邻的两个焊盘之间的区域，在所述第一绝缘层上形成一过孔。

进一步，所述第二绝缘层的过孔与所述第三绝缘层的过孔叠加，所述第二绝缘层的过孔小于所述第三绝缘层的过孔，以在相邻的两个焊盘之间的区域形成台阶式沟槽。

进一步，还包括一在驱动区域的相邻的两个焊盘之间的区域形成钝化层过孔的步骤。

本发明的优点在于，形成第二绝缘层过孔441及第三绝缘过孔451，焊盘与中间区域的厚度差增大，段显明显增加，使得在焊垫区域40涂覆ACF胶时，在有限的空间内就会增加ACF胶的附着面积，提高ACF胶的附着能力，减小FOG和FPC的接触阻抗。另一方面，当形成第二绝缘层过孔441及第三绝缘过孔451后，ACF胶中导电离子的压缩范围就会变大，压缩率会增加，也会减小FOG和FPC的接触阻抗。

本发明的另一优点在于，在没有增加额外制程的基础上，在驱动区域的相邻的两个焊盘之间的区域，在所述第二绝缘层及所述第三绝缘层制作所述第二绝缘层过孔及第三绝缘层过孔。

附图说明

图1是现有的液晶显示面板阵列基板的显示区域的结构示意图；

图2及图3是现有的FOG Pad的结构示意图；

图4及图5是本发明阵列基板的焊垫区域的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明提供的阵列基板及其制作方法的具体实施方式做详细说明。

本发明阵列基板包括显示区域及驱动区域。由于本发明需要重点说明的结构并不在显示区域，因此，显示区域并没有在附图中显示，所述阵列基板显示区域的结构可参见图1。

参见图4及图5，所述驱动区域包括一具有多个焊盘41的焊盘区域40，所述焊盘41用于与外部柔性线路板(附图中未标示)电连接。所述焊盘区域40包括自下而上依次设置的玻璃基板42、第一绝缘层43、第二绝缘层44及第三绝缘层45，在所述第三绝缘层45表面设置有所述焊盘41。与图1对比，驱动区域的第一绝缘层43与显示区域的第一绝缘层12为同一层，驱动区域的第二绝缘层44与显示区域的第二绝缘层14为同一层，驱动区域的第三绝缘层45与显示区域的第三绝缘层16为同一层。在显示区域，所述第一绝缘层12为遮光层与多晶硅层之间的介质层，所述第二绝缘层14为多晶硅层与栅极之间的介质层；所述第三绝缘层16为栅极与源/漏极之间的介质层。

再参见图4及图5，在相邻的两个焊盘41之间的区域，这里称为中间区域46，所述第二绝缘层44及所述第三绝缘层45均具有一过孔，所述第二绝缘层44的过孔称为第二绝缘层过孔441，所述第三绝缘层的过孔称为第三绝缘过孔451。优选地，所述第二绝缘层过孔441与所述第三绝缘层过孔451叠加，所述第二绝缘层过孔441小于所述第三绝缘层过孔451，进而在中间区域46形成台阶式沟槽。

进一步，在本发明其他具体实施方式中，所述第一绝缘层43也具有一过孔，称为第一绝缘层过孔(附图中未标示)，所述第一绝缘层过孔与所述第二绝缘层过孔441及第三绝缘层过孔451叠加，所述第一绝缘层,过孔小于所述第二绝缘层过孔441，所述第二绝缘层过孔441小于所述第三绝缘层过孔451，以在中间区域46形成台阶式沟槽。

所述焊盘41自下而上包括源/漏极层411、钝化层412及透明电极层413，所述透明电极层413穿过钝化层412的一过孔4121与所述源/漏极层411电连接。

在本具体实施方式中，所述焊盘41与中间区域46具有厚度差，所述厚度差主要来源于第二绝缘层44、第三绝缘层45、源/漏极层411、钝化层412及透明电极层413的厚度，从现有的数据出发，该些层的总厚度约为2微米。即所述中间区域46没有第二绝缘层44、第三绝缘层45、源/漏极层411、钝化层412及透明电极层413的存在，使得中间区域比焊盘41的厚度减小2微米左右。在本发明另一具体实施方式中，所述中间区域46还没有第一绝缘层43的存在，两者之间的厚度差进一步增大。参见图3，在现有的焊盘设计中，其中间区域与焊盘的厚度差主要来源于源/漏极层33、钝化层21及透明电极层34的厚度，从现有的数据出发，该些层的总厚度约为0.3～0.4微米。即中间区域比焊盘41的厚度减小0.3～0.4微米。

可见，与现有技术相比，由于第二绝缘层过孔441及第三绝缘过孔451的存在，本发明焊盘与中间区域的厚度差增大，段显明显增加，使得在焊垫区域40涂覆ACF胶时，在有限的空间内就会增加ACF胶的附着面积，提高ACF胶的附着能力，减小FOG和FPC的接触阻抗。另一方面，当形成第二绝缘层过孔441及第三绝缘过孔451后，ACF胶中导电离子的压缩范围就会变大，压缩率会增加，也会减小FOG和FPC的接触阻抗。

本发明还提供一种上述的阵列基板的制作方法。现有技术中，在阵列基板的制作工艺过程中，制作完第三绝缘层后，在显示区域，会进行一过孔的制作过程，在多晶硅层对应位置形成一源/漏极过孔，所述源/漏极过孔用于将源/漏极与多晶硅层电连接。而本发明阵列基板的制作方法利用现有技术的这一制程，在该制程中，在显示区域制作过孔的同时，在驱动区域的相邻的两个焊盘41之间的区域，在所述第二绝缘层44及所述第三绝缘层45上制作所述第二绝缘层过孔441及第三绝缘层过孔451。

本发明阵列基板的制作方法，无需变更制程条件，在没有增加额外制程的基础上，在驱动区域的相邻的两个焊盘41之间的区域，在所述第二绝缘层44及所述第三绝缘层45制作所述第二绝缘层过孔441及第三绝缘层过孔451。进一步，在所述第二绝缘层44及所述第三绝缘层45上形成所述过孔的步骤之后，在驱动区域的相邻的两个焊盘之间的区域，在所述第一绝缘层43上形成一过孔。

进一步，还包括一在中间区域46形成钝化层412的过孔4122的步骤，以暴露出所述第二绝缘层过孔441及第三绝缘层过孔451。

本发明阵列基板的焊盘的设计可应用于集成在阵列基板上的液晶显示器行扫描(Gate)驱动电路、手机，显示器，电视的栅极驱动领域，同时，本电路的稳定性适用于高解析度的面板设计当中。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。