一种应用于半导体的磁力喷墨测试工艺的制作方法

文档序号:12612676阅读:182来源:国知局

本发明涉及半导体晶片加工,尤其涉及半导体的磁力喷墨测试工艺。



背景技术:

随着半导体行业的迅速发展,急需一种能够快速剔除不良品晶粒的作业方式,提高生产效率,降低生产成本,保证产品供应的及时性,提升企业形象,增强企业竞争力。

半导体晶片采用测试机进行测试时,对晶片的电性进行喷墨分选,区分出良品和不良品晶粒。在现有微电子行业半导体制程中,例如:GPP晶片(具有玻璃钝化保护P/N结的类型晶片)在激光切割硅片后,对呈现半切透状态的硅片进行分裂,将整个硅片分割成符合要求的单个小晶粒,再手工将不良品晶粒一颗颗剔除,人工耗费极大,生产效率低下,制造成本极高,同时需要建立真空系统,增加成本,同时被吸进去的双面镀金晶粒无法回收,再次造成经济上的损失。



技术实现要素:

本发明针对以上问题,提供了一种操作简单,能够高效快速剔除不合格晶粒的应用于半导体的磁力喷墨测试工艺。

本发明的技术方案是:包括以下步骤:

S1、先激光切割晶片呈半切透状,形成若干待分离的晶粒;

S2、测试晶粒,区分不合格晶粒;

S3、磁性墨水配制;

S4、晶片喷墨,对不合格晶粒进行喷墨;

S5、烘干,将喷墨后的晶片放置在烘箱内,烘箱温度为80-100℃,时间为15-25min;

S6、裂片,将待裂晶片放置在两张防静电麦拉纸之间,再通过硬质胶棒滚碾晶片,使其分裂成若干晶粒;

S7、磁铁吸附带墨水的不合格晶粒,完成。

步骤S3、磁性墨水配制;

S3.1、原料准备,包括Fe3O4粉末8-15g、酒精150-220ml和墨水400-600ml;

S3.2、原料混合,将Fe3O4粉末溶于盛放墨水的容器,再将酒精加入容器;

S3.3、原料搅拌,搅拌时间为3-6h,温度为15-30℃;

S3.4、静置、完成。

还包括表面活性剂,将表面活性剂加入步骤S3.2中的容器内。

本发明在工作中,先将晶片切割呈半切透状;通过探针台测试区分不合格晶粒;配制磁性墨水;对不合格晶粒通过探针台进行喷墨;晶片烘干,将磁性墨水烘干,便于后续操作;裂片,将晶片分裂成若干晶粒;最后,通过磁铁吸附不合格晶粒,完成加工过程,节省了时间,提高了工作效率。在磁性墨水配制过程中,Fe3O4粉末具有磁性的作用,墨水起到标记不合格晶粒的作用,酒精起到稀释和溶解的作用,成本低,方便加工。

本发明降低了生产成本,提高了工作效率,成品率高。

具体实施方式

本发明包括以下步骤:

S1、先激光切割晶片呈半切透状(即切割道深及晶片但未贯穿晶片),形成若干待分离的晶粒;

S2、测试晶粒,区分不合格晶粒,采用探针台进行测试;

S3、磁性墨水配制;

S4、晶片喷墨,对不合格晶粒进行喷墨,采用探针台进行自动喷墨;配制的磁性墨水通过溶剂的稀释和搅拌实现良好的粘稠状态,将墨水喷至在芯片的正中心位置;

S5、烘干,将喷墨后的晶片放置在烘箱内,烘箱温度为80-100℃,时间为15-25min;

S6、裂片,将待裂晶片放置在两张防静电麦拉纸之间,再通过硬质胶棒滚碾晶片,使其分裂成若干晶粒;麦拉纸防止静电,晶粒由于静电作用被吸附,从而造成飞料,引起混料等异常。

S7、磁铁吸附带墨水的不合格晶粒,完成;通过带有磁性的磁铁吸附,由于磁性墨水中的Fe3O4粉末具有金属特性,使得吸附可靠,便于分离。

酒精的作用是稀释和溶解作用;一是将墨水充分溶解于酒精中;二是对Fe3O4粉末起到稀释的作用。

步骤S3、磁性墨水配制;

S3.1、原料准备,包括Fe3O4粉末8-15g、酒精150-220ml和墨水400-600ml;

S3.2、原料混合,将Fe3O4粉末溶于盛放墨水的容器,再将酒精加入容器;

S3.3、原料搅拌,搅拌时间为3-6h,温度为15-30℃;

S3.4、静置、完成。Fe3O4粉末具有磁性的作用,墨水起到标记不合格晶粒的作用。使用前需要充分搅拌至少10min以上。

应用中,包括Fe3O4粉末10g、酒精180ml和墨水500ml;将Fe3O4粉末溶于盛放墨水的容器,再将酒精加入容器;搅拌时间为4h,温度为20℃;静置,完成。

还包括表面活性剂,将表面活性剂加入步骤S3.2中的容器内。表面活性剂具有消除晶片表面张力的作用,便于清洗(在晶粒发生误操作喷墨时),还能避免发生晶片氧化腐蚀的作用。

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