隔离型LDMOS结构及其制造方法与流程

文档序号:11136644阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种隔离型LDMOS结构,其特征在于:包括集成在同一P型衬底(5)基片上的隔离槽结构和LDMOS结构;

所述隔离槽结构位于P型衬底(5)及其上方的N型外延层(6)内、LDMOS结构的第二P型重掺杂区(11)和第一P型扩散阱区(7)之间,隔离槽结构包括至少一个槽(2)、槽(2)内部的填充介质、槽(2)底部的第一P区(1)、槽(2)边缘的第一氧化层(3),所述第一氧化层(3)用于隔离槽(2)内部的填充介质与槽(2)外部的半导体硅材料,槽(2)上表面为LDMOS的第三氧化层(14)。

2.根据权利要求1所述的隔离型LDMOS结构,其特征在于:所述LDMOS结构是Single-RESURF LDMOS、Double RESURF LDMOS、Triple RESURF LDMOS、Multiple RESURF LDMOS、3D RESURF LDMOS、SJ LDMOS其中的一种。

3.根据权利要求2所述的隔离型LDMOS结构,其特征在于:所述LDMOS结构包括P型衬底(5)、N型外延层(6)、第一P型扩散阱区(7)、第二P型扩散阱区(18)、第二P区(4)、第一P型重掺杂区(8)、第二P型重掺杂区(11)、第一N型重掺杂区(9)、第二N型重掺杂区(10)、第二氧化层(12)、第三氧化层(14)、栅极(13)、源极(15)、漏极(16)、衬底电极(17)、体区电极(19);

所述N型外延层(6)、第二P型扩散阱区(18)位于P型衬底(5)上方并分别在隔离槽结构的两侧,所述第一P型扩散阱区(7)、第二P区(4)、第二N型重掺杂区(10)都位于N型外延层(6)内且其上表面都与N型外延层(6)的上表面平齐,第二P区(4)位于P型扩散阱区(7)和第二N型重掺杂区(10)之间,所述第一P型重掺杂区(8)、第一N型重掺杂区(9)位于第一P型扩散阱区(7)内且其上表面都与P型扩散阱区(7)上表面平齐;所述第二P型重掺杂区(11)位于第二P型扩散阱区(18)内且其上表面与第二P型扩散阱区(18)上表面平齐,所述第三氧化层(14)位于第一P型扩散阱区(7)和第二N型重掺杂区(10)之间并覆盖N型外延层(6)、第二P区(4)的表面,所述第二氧化层(12)位于第一N型重掺杂区(9)和第三氧化层(14)之间并覆盖第一P型扩散阱区(7)的表面,所述栅极(13)位于第二氧化层(12)上表面,所述源极(15)连接第一N型重掺杂区(9)电位,所述漏极(16)连接第二N型重掺杂区(10)电位,所述衬底电极(17)连接第二P型重掺杂区(11)电位,所述体区电极(19)连接第一P型重掺杂区(8)电位。

4.根据权利要求1所述的隔离型LDMOS结构,其特征在于:所述槽(2)的深度大于N型外延层(6)的厚度。

5.根据权利要求4所述的隔离型LDMOS结构,其特征在于:所述槽(2)的深度大于N型外延层(6)的厚度1μm~3μm。

6.根据权利要求1所述的隔离型LDMOS结构,其特征在于:所述槽(2)底部注入P型杂质的剂量大于1012cm-2

7.根据权利要求1所述的隔离型LDMOS结构,其特征在于:所述槽(2)的形状是条形、梯形、倒梯形、阶梯形其中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的隔离型LDMOS结构,其特征在于:第一P区(1)的横向长度和P型衬底(5)的横向长度相同。

9.根据权利要求1所述的隔离型LDMOS结构,其特征在于:所述器件中各掺杂类型相应变为相反的掺杂类型,即P型掺杂变为N型掺杂的同时,N型掺杂变为P型掺杂。

10.根据权利要求1至9任意一项所述的隔离型LDMOS结构的制造方法,其特征在于包括以下步骤:

步骤1:采用P型硅片作为衬底;

步骤2:在衬底部分表面注入P型杂质形成第一P区,或者第一P区在形成隔离槽、槽侧壁及底部氧化之后,填充槽介质之前注入形成;

步骤3:外延形成N型外延层;

步骤4:形成隔离槽、槽侧壁及底部氧化;

步骤5:填充槽介质;

步骤6:LDMOS制造流程。

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