技术总结
本发明公开了一种有源层的制作方法、氧化物薄膜晶体管及其制作方法，该有源层的制作方法，包括以下步骤：在基板上沉积氧化物薄膜，并对所述氧化物薄膜进行图形化处理获得氧化物层；在基板上制作覆盖于所述氧化物层上的光刻胶层，并对所述光刻胶层进行图形化处理使所述氧化物层露出沟道区；将所述基板置于电解液中，所述基板作为阳极，采用金属Pt作为阴极，对所述基板进行阳极氧化处理，所述沟道区上氧化物层经阳极氧化后形成有源层；将基板取出，去除光刻胶层。本发明通过阳极氧化的处理方法降低有源层的载流子浓度，实现器件阈值电压的正移，使得器件处于“常关”状态，从而获得高稳定性、低功耗器件。
技术研发人员：肖鹏;陈国杰
受保护的技术使用者：佛山科学技术学院
文档号码：201611192417
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2017.06.16