磁控溅射设备用冷却铜背板的制作方法

本实用新型属于冷却板技术领域，尤其涉及磁控溅射设备用冷却铜背板。

背景技术：

近年来，太阳能光伏产业发展迅猛，传统晶体硅太阳电池产能过剩，同质化竞争问题日渐凸显，开发高效硅异质结太阳电池是解决这一问题的有效途径。磁控溅射设备是生产硅异质结太阳能电池的关键设备，用于制备透明导电膜。带冷却水通道的铜背板是磁控溅射设备的核心关键部件。铜背板的好坏直接影响着工艺和设备的稳定性。目前磁控溅射设备用冷却铜背板由于结构的原因，存在以下缺陷：其一，冷却通道较窄，冷却水流量小，冷却效果差，容易造成靶材因温度过高而脱落；其二，由于冷却水压力较大，容易造成冷却铜背板变形，缩短铜背板的使用寿命。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题就是提供一种冷却效果好、冷却铜背板不容易变形的磁控溅射设备用冷却铜背板。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：包括背板本体，所述背板本体正面为光滑平面，在所述背板本体背面带有“U”型通道，在所述“U”型通道上方设置有封板，在所述“U”型通道的端部设置有出水口和进水口，在所述“U”型通道内间隔一定距离设置有与背板本体垂直的支撑柱，所述支撑柱顶端与所述封板固定连接。

其附加技术特征为：

所述“U”型通道的截面为矩形、半圆型或正方形；

所述支撑柱的截面面积与所述“U”型通道截面面积之比为1:3—1:20。

本实用新型所提供的磁控溅射设备用冷却铜背板，与现有技术相比具有以下优点：其一，由于包括背板本体，所述背板本体正面为光滑平面，在所述背板本体背面带有“U”型通道，在所述“U”型通道上方设置有封板，在所述“U”型通道的端部设置有出水口和进水口，在所述“U”型通道内间隔一定距离设置有与背板本体垂直的支撑柱，所述支撑柱顶端与所述封板固定连接，将进水口和出水口分别于冷却水供应管道连通，冷却水通过进水口进入“U”型通道内，经出水口流出，“U”型通道截面较宽，冷却水流量大，冷却效果好，避免了靶材过热而从冷却铜背板上脱落，支撑柱不但起到支撑作用，避免了铜背板背面的“U”型通道的悬空的封板受到外部压力向内凹陷，而且支撑柱还起到拉伸作用，避免通过高压冷却水时悬空的封板鼓起；其二，由于所述“U”型通道的截面为矩形、半圆型或正方形，加工更加方便；其三，由于所述支撑柱的截面面积与所述“U”型通道截面面积之比为1:3—1:20，既保证了冷却水的数量，又保证了连接和支撑强度。

附图说明

图1为本实用新型磁控溅射设备用冷却铜背板的正面结构示意图；

图2为磁控溅射设备用冷却铜背板的背面结构示意图；

图3为磁控溅射设备用冷却铜背板水平方向剖视图；

图4为磁控溅射设备用冷却铜背板纵向剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型磁控溅射设备用冷却铜背板的结构和使用原理做进一步详细说明。

如图1、图2、图3和图4所示，本实用新型磁控溅射设备用冷却铜背板的结构示意图，本实用新型磁控溅射设备用冷却铜背板包括背板本体1，背板本体1的正面为光滑平面，在背板本体1的背面带有“U”型通道2，在“U”型通道2上方设置有封板3，在“U”型通道2的端部设置有出水口4和进水口5，在“U”型通道2内间隔一定距离设置有与背板本体1垂直的支撑柱6，支撑柱6顶端与封板3固定连接。将进水口4和出水口5分别于冷却水供应管道连通，冷却水通过进水口4进入“U”型通道2内，经出水口5流出，“U”型通道2截面较宽，冷却水流量大，冷却效果好，避免了靶材过热而从冷却铜背板上脱落，支撑柱不但起到支撑作用，避免了铜背板背面的“U”型通道2的悬空的封板3受到外部压力向内凹陷，而且支撑柱还起到拉伸作用，避免通过高压冷却水时悬空的封板3鼓起。

“U”型通道2的截面可以为矩形，可以为半圆型，也可以为正方形，加工更加方便。

支撑柱6的截面面积与 “U”型通道截面面积之比为1:3—1:20，既保证了冷却水的数量，又保证了连接和支撑强度。

本实用新型的保护范围不仅仅局限于上述实施例，只要结构与本实用新型磁控溅射设备用冷却铜背板结构相同，就落在本实用新型保护的范围。