1.一种校正装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，其特征在于，所述校正装置包括：
一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；
一校正晶圆；
一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。
2.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述校正装置还包括一显示端，所述显示端与所述光度计相连接，所述显示端显示所述接收面上的光强分布。
3.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光头内置于所述转轴中，所述激光头向上发出所述激光。
4.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光头设置于所述转轴的正上方，且所述激光头的位置位于所述机械手臂的下方，所述激光头向上发出所述激光。
5.如权利要求3或4所述的校正装置，其特征在于，所述光度计的接收面朝下。
6.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光头设置于所述转轴的正上方，且所述激光头的位置位于所述机械手臂的上方，所述激光头向下发出所述激光。
7.如权利要求6所述的校正装置，其特征在于，所述光度计的接收面朝上。
8.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光头包括一LED激光器。
9.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述校正晶圆为标准尺寸的晶圆。
10.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述校正晶圆为玻璃晶圆。
11.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述光度计的接收面的形状为圆形或者矩形。
12.如权利要求11所述的校正装置，其特征在于，所述接收面以中心点等分为至少三个区，每个所述区分别检测所述激光。
13.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述校正装置还包括一用于固定所述激光头的夹具。
14.如权利要求13所述的校正装置，其特征在于，所述夹具为圆柱形套筒结构，所述夹具嵌套在所述转轴外。
15.如权利要求13所述的校正装置，其特征在于，所述转轴的侧壁具有一突起，所述夹具的侧壁具有一凹槽，所述突起设置在所述凹槽内。
16.一种包括如权利要求1-15中任意一项所述校正装置的晶圆传送装置。