1.一种硅片供料装置，其特征在于，包括至少一个供料模块，所述供料模块包括移动装置、存料座，所述存料座安装在所述移动装置上，所述移动装置包括横移装置和升降装置，所述升降装置连接在所述横移装置上，所述存料座可以为一个或多个，所述存料座为输送转运装置，所述存料座用以存储硅片花篮，所述输送转运装置带动所述硅片花篮运动。
2.如权利要求1所述的硅片供料装置，其特征在于，所述存料座上设有导向槽，所述导向槽上安装有限位块，所述限位块用于将所述硅片花篮固定。
3.如权利要求1所述的硅片供料装置，其特征在于，所述输送转运装置包括皮带和用于支撑和驱动所述皮带的带轮，所述带轮由电机带动。
4.如权利要求1所述的硅片供料装置，其特征在于，所述存料座安装在所述升降装置上。