一种高效散热高压硅堆的陶瓷基板的制作方法

文档序号:12254040阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高效散热高压硅堆的陶瓷基板,其特征在于,包括陶瓷基板,陶瓷基板上开设有波纹状的基板内槽,基板内槽的两端设有电极线引出孔,且电极线引出孔贯穿陶瓷基板设置;陶瓷基板的四角位置还开设了定位孔。

2.根据权利要求1所述的高效散热高压硅堆的陶瓷基板,其特征在于,所述陶瓷基板的厚度为1cm-8cm。

3.根据权利要求1所述的高效散热高压硅堆的陶瓷基板,其特征在于,所述基板内槽的槽深为0.5cm-5cm。

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