一种GaNHEMT器件的制作方法

文档序号:12005278阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种GaN HEMT器件,其特征在于,包括由下至上依次形成的衬底、SiN/AlN成核层、GaN缓冲层、AlN/GaN空间隔离层、GaN掺杂层、GaN沟道层、AlN隔离层、AlN势垒层、GaN 帽层、锆钛酸铅介质钝化层,还包括形成于锆钛酸铅介质钝化层上的源极、漏极、栅极,所述源极和漏极分别形成于锆钛酸铅介质钝化层的两端侧,栅极形成于锆钛酸铅介质钝化层上且位于源极和漏极之间,所述栅极到达源极的距离小于栅极到达漏极的距离,在源极和漏极之间形成有AlGaN结构层,并覆盖栅极,使得栅极、锆钛酸铅介质钝化层以及AlGaN结构层形成绝缘栅极,在所述AlGaN结构层上且位于栅极与漏极之间设置有一个或多个U型浮空场板。

2.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述衬底具体为Si、SiC、GaN、蓝宝石、Diamond中任意一种支撑材料。

3.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述SiN/AlN成核层的厚度为400~800nm。

4.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述GaN缓冲层的厚度为1um~2um。

5.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述AlN隔离层生长于GaN沟道层上,不掺杂,厚度为10~30nm。

6.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述AlN势垒层的厚度为1.5nm。

7.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述GaN帽层厚度为1nm~3nm。

8.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述源极和漏极采用Ti、Al、Ni、Au中的任意一种金属。

9.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述栅极采用Pt或Au。

10.根据权利要求1所述的GaN HEMT器件,其特征在于,所述U型浮空场板采用Ti、Pt、Au中的任意一种金属。

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