技术特征：
技术总结
用于横向功率组件的方法和系统及其操作方法，其以新的方式实现电荷平衡。在本发明的第一教示中，横向传导路径由相反导电类型的区域横向侧接，相反导电类型的区域与隔离沟槽自对准，隔离沟槽界定通道的表面几何形状。在本发明的第二教示中，其可以单独使用或与第一教示协同组合，其中汲极区是自隔离的。在本发明的第三教示中，其可以与第一和/或第二教示的协同组合，其中源极区也彼此隔离。在本发明的第四教示中，横向传导路径也由相反导电类型的附加区域覆盖。
技术研发人员：穆罕默德·达维希;曾军;哈姆扎·耶勒马兹;理查·厄·布朗夏尔
受保护的技术使用者：马克斯半导体股份有限公司
技术研发日：2016.12.09
技术公布日：2017.10.13