垂直非易失性存储器装置及三维半导体存储器装置的制作方法

文档序号:11679585阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
公开了一种三维半导体存储器装置和垂直非易失性存储器装置,所述三维半导体存储器装置包括:基底,包括单元阵列区域和连接区域;电极结构,包括交替地且竖直地堆叠在基底上的第一电极和第二电极,并且在连接区域上具有阶梯状结构。第一电极和第二电极中的每个可以包括:电极部分,设置在单元阵列区域上,以沿第一方向延伸,并且在垂直于第一方向的第二方向上彼此间隔开;电极连接部分,设置在连接区域上,以沿第二方向延伸并且使电极部分彼此水平地连接;突出,在连接区域上设置为从电极连接部分沿第一方向延伸,并且在第二方向上彼此间隔开。

技术研发人员:李昌燮;李星勋;李俊熙;曹盛纯
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2017.01.18
技术公布日:2017.07.25
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