半导体封装结构的制作方法

文档序号:15097576发布日期:2018-08-04 14:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体封装结构,其包含:

第一重布层,其具有第一表面和第二表面;

载板,其设置于所述第一重布层的所述第一表面;和

传感器,其设置于邻近所述第一重布层的所述第二表面,其中所述传感器不与所述第一重布层电连接。

2.根据权利要求1所述的半导体封装结构,其中所述第一重布层具有腔,所述传感器部分地设置于所述腔内。

3.根据权利要求1所述的半导体封装结构,其中所述传感器内埋于所述第一重布层。

4.根据权利要求1所述的半导体封装结构,其中所述传感器设置于所述第一重布层的所述第二表面上。

5.根据权利要求1所述的半导体封装结构,其中所述载板包含选自玻璃、模制化合物、硅晶片的其中之一。

6.根据权利要求1所述的半导体封装结构,其中所述载板包括一或多个组件,所述一或多个组件包含由所述载板包覆的至少一仿制组件。

7.一种半导体封装结构的制造方法,其包含:

提供第一重布层,其具有第一表面和第二表面;

提供载板,其设置于所述第一重布层的所述第一表面;和

提供传感器,其设置于所述第一重布层的所述第二表面,其中所述传感器不与所述第一重布层电连接。

8.根据权利要求7所述的方法,其进一步包含:

提供加热装置,对所述半导体封装结构进行加热到预设温度。

9.根据权利要求8所述的方法,其进一步包含:

感测半导体封装结构的环境温度;

计算所述预设温度与所述环境温度的温度差;和

依据所述温度差调整所述加热装置的所述预设温度。

10.根据权利要求9所述的方法,其中所述感测温度约小于所述预设温度。

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