用于精密集成电路的低功率、温度调节电路的制作方法

本公开涉及温度调节电路及其制造方法。

相关领域的说明

许多精密集成电路需要稳定的温度才能正常工作。用于温度调节的常见解决方案是将精密集成电路耦接到加热器以补偿热损失。也就是说，加热器可以用于提供热量并且补偿从精密集成电路耗散到相邻结构的任何热量。

用于加热集成电路的当前方法包括具有氧化铝衬底的混合厚膜加热器和环氧玻璃pcb材料上的分立式加热电阻器。温度调节的众所周知的解决方案是lm399电压基准。然而，此类方法通常消耗大量的功率。例如，环氧玻璃pcb材料上的分立式加热电阻器和具有氧化铝衬底的混合厚膜加热器各自通常消耗100毫瓦至几瓦的功率。

因此，需要此类加热器的集成电路通常限于应用于大的实验室级产品，并且不适合于具有有限电源的便携式设备。因此，期望具有用于精密集成电路的温度调节的低功率解决方案。

技术实现要素：

本公开提供了用于精密集成电路的温度调节电路。温度调节电路提供独立于外部环境条件的温度控制环境。

根据至少一个实施例，温度调节电路包括框架、悬挂块、支撑梁、集成电路、温度传感器、加热器、控制器、接合焊盘和导电轨。

悬挂块定位在框架的开口中并且通过支撑梁悬挂于框架。悬挂块包括集成电路、温度传感器和加热器。集成电路可为将受益于具有稳定温度的任何集成电路。温度传感器生成与集成电路的温度成比例的温度信号。温度信号可由控制器或控制到加热器的电压的误差积分器使用，以连续调节悬挂块的温度，直到来自温度传感器的温度信号等于预定的阈值。控制器定位在框架上。接合焊盘定位在框架上，并且提供用于接收引线接合并将接合焊盘连接到外部位置的导电焊盘。导电轨在支撑梁上形成。导电轨在悬挂块上的集成电路、温度传感器和加热器以及在框架上的控制器和接合焊盘之间提供电连接。

悬挂块提供热隔离衬底。通过在悬挂块上制造集成电路，集成电路是热绝缘的，并且来自集成电路的热耗散被最小化。悬挂块的热电阻与加热其所需的功率成反比。通过使加热衬底的尺寸最小化，以及因此使其热电阻最大化，所需的功率被最小化。另外，将加热器制造在悬挂块上，邻近集成电路。因此，集成电路可被迅速加热并且加热器可节省功率。此外，将控制器制造在框架上而不是悬挂块上。通过在框架上制造控制器，悬挂块的尺寸可减小。

根据另一个实施例，温度调节电路包括晶片级封装以增加集成电路的热电阻，并且进一步减小调节温度所需的功率。

根据另一个实施例，温度调节电路处于密封真空包装中以增加集成电路的热电阻，并且进一步减小调节温度所需的功率。

本文所公开的温度调节电路产生用于温度调节的低功率解决方案。减小调节集成电路的温度所需的功率增加了集成电路的潜在应用。例如，集成电路可用于具有有限电源的手持仪器中。

附图说明

图1是根据本文所公开的至少一个实施例的温度调节电路的简化透视图。

图2a至图3b是示出根据本文所公开的至少一个实施例的用于制造温度调节电路的方法的步骤的平面图和剖视图。

图4是根据本文所公开的至少一个实施例的包括晶片级封装的温度调节电路的剖视图。

图5是根据本文所公开的至少一个实施例的处于密封真空包装中的温度调节电路的剖视图。

具体实施方式

在下面的描述中，阐述了某些具体细节以便提供对本公开的各种实施例的彻底理解。然而，本领域的技术人员将理解，可以在没有这些具体细节的情况下实践本公开。在一些情况下，未描述与半导体和集成电路相关联的公知细节以避免模糊本公开的实施例的描述。

本说明书通篇对“一个实施例”或“实施例”的引用意指结合该实施例描述的特定特征、结构或特性包括在至少一个实施例中。因此，本说明书通篇各个地方出现的短语“在一个实施例中”或“在实施例中”不一定全部指代相同的实施例。此外，在一个或多个实施例中，特定特征、结构或特性可以任何合适的方式组合。

在附图中，相同的附图标记指示相似的特征或元件。附图中的特征的尺寸和相对位置不一定按比例绘制。

图1是根据本文所公开的原理的温度调节电路10的简化透视图。温度调节电路10包括框架12、悬挂块14、支撑梁16、导电轨18、接合焊盘20、集成电路22、温度传感器24、加热器26和控制器28。

框架12提供用于悬挂悬挂块14的支撑结构。在优选的实施例中，如图1所示，框架12是矩形的；然而，框架12可具有任何形状。框架12包括开口30和控制器28。控制器28将在下文中进一步详细地讨论。

悬挂块14提供热隔离衬底。悬挂块14定位在框架12的开口30中并且悬挂于框架12。在优选的实施例中，如图1所示，悬挂块14具有与框架12相同的矩形形状；然而，悬挂块14可具有任何形状。在优选的实施例中，悬挂块14具有小于框架12的厚度的厚度以防止悬挂块14接触在悬挂块14下面的表面，例如，如图3b所示。悬挂块14包括集成电路22、温度传感器24和加热器26。集成电路22、温度传感器24和加热器26将在下文中进一步详细地讨论。

支撑梁16将悬挂块14耦接到框架12。在优选的实施例中，支撑梁16将悬挂块14与悬挂块14的每侧上的框架12隔开，以增加悬挂块14的热隔离。在优选的实施例中，支撑梁16中的每个具有显著小于悬挂块14的宽度的宽度。另外，在优选的实施例中，支撑梁16由热绝缘材料（诸如二氧化硅）制成，以使通过支撑梁16的热耗散最小化。应当注意，尽管图1中示出了六个支撑梁16，但温度调节电路10可包括任何数量的支撑梁。例如，在一个实施例中，温度调节电路10包括四个支撑梁，在悬挂块14的每一侧上具有一个支撑梁。在另一个实施例中，温度调节电路10包括不止六个支撑梁以容纳附加的导电轨。

导电轨18提供在悬挂块14上的电路与在框架12上的电路或接合焊盘之间的电连接。特别地，如图1所示，导电轨18将集成电路22和加热器26耦接到接合焊盘20，并且将温度传感器和加热器26耦接到控制器28。在优选的实施例中，导电轨18中的每个形成在相应的支撑梁上，使得存在相等数量的导电轨18和支撑梁16。在另一个实施例中，多个导电轨形成在单个支撑梁上，使得导电轨18的数量大于支撑梁16的数量。在优选的实施例中，导电轨18基本上覆盖支撑梁16的上表面。例如，如图1所示，导电轨18中的每个大致覆盖相应支撑梁16的整个上表面。因此，支撑梁16被加强并且能够在悬挂块14上支撑更大的负载。

接合焊盘20提供用于接收引线接合并将接合焊盘20连接到外部位置的导电焊盘。接合焊盘20形成在框架12上。也就是说，接合焊盘20中的每个形成在导电轨的在框架12上的一部分上。

集成电路22可为将受益于具有稳定温度的任何集成电路。例如，集成电路22可为参考放大器、差分npn对、包括nicr或sicr薄膜电阻器的电阻器网络，或运算放大器。

温度传感器24被配置为测量集成电路22的温度并且生成与集成电路22的温度成比例的温度信号。温度传感器24通过导电轨18中的一个电耦接到控制器28。虽然未在图1中示出，但温度传感器24也可电耦接到框架12上的接合焊盘。如将在下文中进一步详细讨论的，温度传感器24提供对控制器28的温度测量值。在优选的实施例中，温度传感器24被定位成紧密靠近集成电路22，以确保获得集成电路22的准确温度测量值。

加热器26被配置为加热集成电路22。加热器26通过相应的导电轨18电耦接到控制器28并且电耦接到接合焊盘20中的一个。如将在下文中进一步详细讨论的，加热器26由控制器28控制。在优选的实施例中，加热器26被定位成紧密靠近集成电路22。如将在下文中进一步详细讨论的，将加热器26定位成更靠近集成电路允许集成电路被更快地加热并且有助于减少功率消耗。

控制器28被定位在框架12上。控制器12被配置为从温度传感器24接收温度测量值，并且基于从温度传感器24接收的温度信号控制加热器26。在一个实施例中，控制器28从温度传感器24接收温度信号，确定温度信号是否低于预定阈值，并且在温度信号低于预定阈值时向加热器26发送命令以加热集成电路22。在相同或另一个实施例中，控制器28从温度传感器24接收温度信号，确定温度信号是否超过预定阈值，并且在温度信号超过预定阈值时向加热器26发送命令以停止加热集成电路22。在相同或另一个实施例中，控制器28或控制到加热器26的电压的误差积分器，连续地从温度传感器24接收温度信号，并且连续地调节加热器26，直到当前温度信号等于预定阈值。

通过将控制器28定位在框架12上，而不是在悬挂块14上，悬挂块14的尺寸可减小。也就是说，悬挂块14可足够大以仅仅容纳集成电路22、温度传感器24和加热器26。如将在下文中进一步详细讨论的，悬挂块14的最小尺寸允许集成电路22被更快地加热并且有助于减少功率消耗。

温度调节电路10提供低功率解决方案以调节集成电路22的温度。通过在悬挂块14上制造集成电路22，集成电路22与相邻表面热隔离。另外，通过支撑梁16的任何热耗散是最小的，因为在优选的实施例中，支撑梁16由热绝缘材料制成。通过使热耗散最小化，集成电路22能够将其温度保持更长的时间段。因此，可以适度地使用加热器26。因此，大大降低了调节集成电路的温度所需的功率。例如，假设温度调节电路10对大约8000摄氏度/瓦的环境具有热隔离，则对于60摄氏度的调节温度和25摄氏度的环境温度，加热器26将消耗5毫瓦以下。

另外，将加热器26定位在紧密靠近集成电路22的悬挂块14上允许集成电路22被更快地加热。因此，加热器26可以被通电较短的时间段并且可以节省功率。此外，将控制器28定位在框架上，而不是在悬挂块上，允许悬挂块14的尺寸按比例缩小。因此，悬挂块14可被更快地加热，因为较小的块比较大的块加热得更快。因此，加热器26可以被通电较短的时间段并且可以节省功率。

将所需的功率降低到几毫瓦增加了集成电路22的潜在应用。例如，集成电路22可用于具有有限电源的手持仪器中。

图2a至图3b是示出根据本文所公开的原理的用于制造温度调节电路10的方法的步骤的平面图和剖视图。图2a是在第一步骤处的温度调节电路10的平面图，并且图2b是沿着示于图2a中的轴线的温度调节电路10的剖视图。图3a是在后续步骤处的温度调节电路10的平面图，并且图3b是沿着示于图3a中的轴线的温度调节电路10的剖视图。

在示于图2a和图2b中的步骤处，温度调节电路10包括衬底32（诸如单晶硅晶片）和绝缘层34。绝缘层34形成在衬底32上。在优选的实施例中，绝缘层34由热绝缘材料（诸如二氧化硅）制成。

在衬底32中制造集成电路22、温度传感器24、加热器26和控制器28。具体地讲，集成电路22、温度传感器24和加热器26被制造在衬底32的中心部分中，并且控制器28被制造在衬底32的围绕中心部分的周边部分中。在优选的实施例中，如前所述，温度传感器24和加热器26被定位成紧密靠近集成电路22。可使用已知或以后开发的技术在衬底32中制造集成电路22、温度传感器24、加热器26和控制器28。例如，可使用介电隔离工艺来制造集成电路22。为了简单起见，集成电路22、温度传感器24、加热器26和控制器28的部件在图2b中未示出。

导电轨18形成在绝缘层34上。如前所述，导电轨18在定位在衬底32的中心部分中的电路以及定位在衬底32的周边部分中的接合焊盘和电路之间提供电连接。例如，导电轨18可将集成电路22和温度传感器24耦接到接合焊盘20，并且将加热器26耦接到控制器28。如图2b所示，导电轨穿过绝缘层34形成以连接到集成电路22。

接合焊盘20形成在相应导电轨18上。具体地讲，接合焊盘20形成在导电轨18的位于衬底32的周边部分上的部分上。

在示于图3a和图3b中的后续步骤处，移除衬底32和绝缘层34的部分以形成开口30并且产生框架12和悬挂块14。

如前所述，衬底32的部分被移除，使得悬挂块14具有小于框架12的厚度的厚度以防止悬挂块14接触在悬挂块14下面的表面。

移除绝缘层32的部分以产生支撑梁16。如前所述，支撑梁16使悬挂块14悬挂于框架12。可通过使用已知或以后开发的技术来移除衬底32和绝缘层34的部分。例如，深度反应离子蚀刻(drie)可用于蚀刻衬底32和绝缘层34。

在另一个实施例中，使用掩埋氧化物(box)晶片代替衬底32和绝缘层34来制造温度调节电路10。也就是说，类似于相对于图2a和图2b所述的步骤，集成电路22、温度传感器24和加热器26被制造在box晶片的中心部分中，而控制器28被制造在box晶片的周边部分中。随后，类似于相对于图3a和图3b所述的步骤，对box晶片进行微加工以形成框架12和悬挂块14。例如，可使用湿蚀刻或drie的组合或两者的组合从顶部和底部蚀刻box晶片。

图4是根据本文所公开的原理的包括晶片级封装的温度调节电路10的剖视图。晶片级封装包括第一晶片36和第二晶片38。

温度调节电路10定位在第一晶片36上。具体地讲，框架12定位在第一晶片36的上表面上。第一晶片36的上表面与悬挂块14的下表面隔开，以使从集成电路22到第一晶片36的热耗散最小化。

第二晶片38定位在温度调节电路10上。第二晶片38包括空腔46。空腔46将第二晶片38的下表面与悬挂块14的上表面隔开以使从集成电路22到第二晶片38的热耗散最小化。

第二晶片38还包括微通孔40。微通孔40中的每个包括导电材料44和对微通孔的沟槽壁进行排列的电介质层42。将微通孔40中的每个耦接到相应导电轨18。微通孔40和导电轨18一起提供在悬挂块14上的电路与在第二晶片38的上表面上的电路或接合焊盘20之间的电连接。

第一晶片36、第二晶片38和框架12形成用于集成电路22的室48。室48确保集成电路22不接触任何相邻表面并且散热。在优选的实施例中，室被排空或填充有气体，诸如氮气，以进一步改善集成电路22的热绝缘。此外，使用晶片级封装可降低温度调节电路10的封装成本和尺寸。

虽然未在图4中示出，但第一晶片36和第二晶片38可包括附加的集成电路。在一个实施例中，控制器28在第二晶片38中形成，而不是在框架12中，并且连接到微通孔40中的至少一个，以用于电耦接悬挂块14上的温度传感器24和加热器26。

晶片级封装导致集成电路22的热电阻增加，并且进一步减小了调节集成电路22的温度所需的功率。

图5是根据本文所公开的原理的处于密封真空包装50中的温度调节电路10的剖视图。密封真空包装50包括包括基部52和封盖54。

温度调节电路10定位在基部52上。在优选的实施例中，基部52是陶瓷衬底。封盖54耦接到基部52并且封装温度调节电路10。

基部52和封盖54形成室56。类似于室48，室56确保集成电路22不接触任何相邻表面并且散热。在优选的实施例中，室被排空或填充有气体，诸如氮气，以改善集成电路22的热绝缘。

虽然未在图5中示出，但密封真空包装50还可包括引线接合，该引线接合连接到接合焊盘20到密封真空包装50外部的位置。

密封真空包装导致集成电路22的热电阻增加，并且进一步减小了调节集成电路22的温度所需的功率。

本文所公开的温度调节电路10产生用于集成电路22的温度调节的低功率解决方案。减小调节集成电路22的温度所需的功率增加了精密集成电路的潜在应用。例如，集成电路22可用于具有有限电源的手持仪器中。

可组合以上所述的各种实施例来提供另外的实施例。[注意：重要内容不能由外国专利、外国专利申请或非专利出版物以引用方式并入；然而，美国专利商标局应当允许将不适当地并入的主题通过修改明确地添加到说明书中，而不影响申请日期。以引用方式并入ads的能力是未经测试的。我们强烈建议您在句段中的适当位置处明确地列出您希望以引用方式并入的那些参考内容。]。

根据上文的详细说明，可以对这些实施例做出这些和其他改变。一般来说，在随后的权利要求中，使用的术语不应解释成将权利要求限制在本说明书和权利要求书中披露的具体实施例中，而应解释成包括所有可能的实施例以及这类权利要求赋予的等效物的全部范围。因此，权利要求并不受本公开内容所限定。