PNP型双极晶体管的制作方法

文档序号:13207831阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种PNP型双极晶体管,其特征在于,包括发射极(69),所述发射极具有矩形横截面,相对于所述晶体管的基极(15)被抬起,并且具有受间隔物(73)保护的横向表面,所述晶体管进一步包括在所述基极(15)的由所述间隔物(73)界定的重掺杂N型部分(77)上形成的基极触头。

2.如权利要求1所述的PNP型双极晶体管,其特征在于,所述发射极(69)进一步掺杂有碳原子。

3.如权利要求1所述的PNP型双极晶体管,其特征在于,在所述发射极(69)的上表面和所述基极(15)的上表面上具有硅化区域。

4.如权利要求1所述的PNP型双极晶体管,其特征在于,所述间隔物(73)是由氮化物层和氧化硅层形成的。

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