硅片自动纠正装置的制作方法

文档序号:12843713阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域,尤其是涉及一种硅片自动纠正装置,包括机架及设置在机架上的框架,所述机架上设置有用于驱动框架上升或者下降的第一驱动装置,还包括控制单元、推板、接近开关、延时继电器、第一微动开关和第二微动开关,所述框架倾斜设置在所述机架上,所述机架的一端设有用于输送硅片的输送带,所述机架上设有用于驱动输送带转的第二驱动装置,所述框架上设有用于插设插片盒的插槽,本实用新型硅片自动纠正装置在使用时,能够自动对倾斜硅片进行纠正,避免了硅片在到达插槽时出现倾斜,从而导致硅片一部分露在外面,在进行下一片硅片插入时,会使得上一片硅片与设备发生碰撞,使得硅片直接损坏,增加生产成本的问题。

技术研发人员:孙铁囤;姚伟忠;汤平
受保护的技术使用者:常州亿晶光电科技有限公司
文档号码:201720397333
技术研发日:2017.04.14
技术公布日:2017.10.31

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