刻蚀防破片自动化下料装置的制作方法

技术特征：

1.刻蚀防破片自动化下料装置，其特征在于，包括若干辊轮(1)，所述辊轮(1)的上方设有导向装置，所述辊轮(1)的下方设有碎片收集槽(2)；所述导向装置包括固定轴(3)和滚轮(4)，所述固定轴(3)的轴线方向与辊轮(1)的轴线方向平行，所述滚轮(4)通过轴承(5)与固定轴(3)转动连接；所述辊轮(1)上用于传送硅片(6)，所述滚轮(4)与硅片(6)上表面接触、且在摩擦接触作用力下以固定轴(3)为轴心转动。

2.根据权利要求1所述的刻蚀防破片自动化下料装置，其特征在于，每个硅片(6)上方对应设有两个滚轮(4)，且所述滚轮(4)靠近硅片(6)的两侧边处。

3.根据权利要求1所述的刻蚀防破片自动化下料装置，其特征在于，所述辊轮(1)、导向装置和收集槽(2)均设于刻蚀槽(7)内；沿辊轮(1)传送方向的刻蚀槽(7)两内侧壁上均凸设有安装条(8)，所述安装条(8)上设有若干安装槽(9)，所述固定轴(3)的轴向两端放置于所述安装槽(9)内，且均采用压板(10)和螺栓(11)配合进行压紧固定。

4.根据权利要求3所述的刻蚀防破片自动化下料装置，其特征在于，所述安装槽(9)和压板(10)与固定轴(3)端部的接触面均凹陷呈半圆形，所述安装槽(9)与压板(10)适配呈圆筒状结构与过渡配合套设在固定轴(3)端部。

5.根据权利要求4所述的刻蚀防破片自动化下料装置，其特征在于，所述压板(10)半圆形内表面上设有橡胶垫(12)。

6.根据权利要求3所述的刻蚀防破片自动化下料装置，其特征在于，所述螺栓(11)采用沉头螺栓。

7.根据权利要求3所述的刻蚀防破片自动化下料装置，其特征在于，所述安装条(8)采用螺纹连接方式固定在刻蚀槽(7)的内侧壁上。

8.根据权利要求1所述的刻蚀防破片自动化下料装置，其特征在于，所述收集槽(2)的侧壁上开设有出料口，所述出料口与抽真空吸收设备(13)的输入端连接。