输送腔室的制作方法

本发明涉及一种在液晶面板、有机el面板等的制造工序中用于玻璃基板等的输送等的输送腔室。

背景技术：

根据专利文献1等，已知一种用于半导体装置等的制造的基板处理装置。

专利文献1提出一种能掌握操作者是否位于腔室(洁净间)内的装置。在专利文献1的装置中，用包围装置包围基板处理装置，并使用检测是否有人进入包围装置内的检测装置，来检测是否有人进入包围装置内部。

而作为基板处理装置，有一种将多个工艺腔室簇状配置于收容有输送机器人的输送腔室(例如，真空腔室)的周围的基板处理装置。近年来基板大型化的结果是，输送腔室大型化到了人能进入其内部的程度。实际上，有时在对输送腔室、输送机器人进行检修时等情况下，人会进出输送腔室内。在专利文献1的装置中，虽然能检测是否有人进入包围装置，但无法检测腔室内是否实际有人。此外，在大型的输送腔室中，由于内部空间也大，因此从腔室上部的开口部进行视觉确认时会产生死角。为了消除该死角，可以考虑在输送腔室设置观察窗的方案。但是，设置观察窗则必须确保观察窗与输送腔室之间的密封性，从制造、管理上的观点来看不太理想。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-64300号公报

技术实现要素：

发明所要解决的问题

因此，本发明的目的在于提供一种能检测内部是否实际有人的输送腔室。

用于解决问题的方案

为了实现上述目的，本发明的输送腔室具有：腔室主体部，内部设置有输送基板的输送装置；以及腔室侧部，与所述腔室主体部一起形成内部空间，其中，所述输送腔室在其上部具有开口部，在所述开口部的周缘的至少一部分设置有反射构件。

根据上述构成，能通过反射构件直接观察输送腔室的内部空间，因此能可靠地掌握在内部空间中是否有人。

此外，本发明的输送腔室优选具有：拍摄单元，与所述反射构件对置地设置于所述开口部的周缘，拍摄所述内部空间。

根据上述构成，能使用拍摄单元来系统上判定内部空间中是否有人。

此外，本发明的输送腔室优选具有：第一驱动单元，纵摇驱动和/或横摇驱动所述拍摄单元。

根据上述构成，能通过一台拍摄单元拍摄内部空间的宽广范围。而在使用多台拍摄单元的情况下，也能以更少的台数拍摄整体。

此外，本发明的输送腔室优选具有：第二驱动单元，纵摇驱动和/或横摇驱动所述反射构件。

根据上述构成，即使是反射面积小的反射构件，也能大范围观察输送腔室的内部空间。

此外，本发明的输送腔室优选具有：第三驱动单元，使所述拍摄单元向上下方向以及左右方向的至少一个方向移动。

根据上述构成，即使只有一台拍摄单元，也能大范围拍摄输送腔室的内部空间。而在使用多台拍摄单元的情况下，也能以更少的台数拍摄输送腔室的整个内部空间。

此外，本发明的输送腔室优选具有：发送单元，将由所述拍摄单元拍摄到的所述内部空间的图像作为数据进行发送。

根据上述构成，远距离也能确认输送腔室的内部空间的状态。

此外，本发明的输送腔室优选具有：显示单元，接收并显示所述发送单元发送出的所述数据。

根据上述构成，例如远距离也能基于由显示单元显示的数据来确认输送腔室的内部空间的状态。

此外，本发明的输送腔室优选具有：异常通知单元，解析所述内部空间的图像并判定所述内部空间有无异常，当存在异常时，通知异常。

根据上述构成，还能使用例如声、光等来通知输送腔室的内部空间中存在异常。

此外，本发明的输送腔室优选所述反射构件设置于所述开口部的上侧周缘。

在输送腔室的内部空间内设置反射构件时，为了避免输送装置与反射构件的干扰，需要额外提高输送腔室的高度，导致内部空间的容积增大。通过将反射构件设置于开口部的上侧周缘，输送装置与反射构件之间不会干扰，能抑制内部空间的容积变大。

发明效果

根据本发明的输送腔室，能检测内部是否实际有人。

附图说明

图1是具备输送腔室的基板处理装置的概要图。

图2是输送腔室的立体图。(a)表示卸下顶板的状态，(b)表示嵌有顶板的状态。

图3是本发明的第一实施方式的输送腔室(维护时)的立体图。

图4是图3所示的输送腔室的iv-iv线剖面图。

图5是第二实施方式的输送腔室的俯视图。

图6是第二实施方式的输送腔室的侧视图。

图7是第三实施方式的输送腔室的俯视图。

图8是第三实施方式的输送腔室的侧视图。

图9是第四实施方式的输送腔室的俯视图。

图10是第四实施方式的输送腔室的侧视图。

附图标记说明

1：输送腔室；7：负载锁定室；8a～8e：工艺腔室；11：腔室主体部；12(12a、12b)：腔室侧部；13：输送装置；14：顶板；24：开口部；s1、s2a、s2b：内部空间；41(41a～41d)：镜(反射构件的一例)；43a、43b：镜驱动单元(第二驱动单元的一例)；51：摄像机(拍摄单元的一例)；52：摄像机驱动单元(第一驱动单元的一例)；53：发送单元；61(61a～61d)：导轨构件；62：行走机构；63：摄像机驱动单元(第三驱动单元的一例)；64：摄像机驱动单元(第三驱动单元的一例)；100：基板处理装置。

具体实施方式

以下，参照附图，对本实施方式的输送腔室的一例进行说明。

在此，首先，对具备输送腔室的基板处理装置进行说明。在此列举的基板处理装置是用于对平板显示器(fpd)用的玻璃基板(以下，简称为“基板”)进行刻蚀处理的多腔室型的装置。作为fpd，例如可以列举出：液晶显示器(lcd)、发光二极管(led)显示器、电致发光(el)显示器、荧光显示管(vfd)、等离子体显示器面板(pdp)等。

图1是基板处理装置的概要图。如图1所示，基板处理装置100在其中央部配置有输送腔室1。在输送腔室1的周围，配置有作为真空预备室的负载锁定室7、和作为真空处理室的多个(本例中为五个)工艺腔室8a～8e。工艺腔室8a～8e能构成为成膜处理室、刻蚀处理室、灰化处理室等。需要说明的是，本例的输送腔室1构成为在周围配置有负载锁定室7和工艺腔室8a～8e共六个室的形状，例如俯视呈大致六边形，整体呈六面体形状，但配置室数以及整体形状并不限定于此。

在输送腔室1与负载锁定室7之间，设置有气密性地密封其间且可开关地构成的闸阀15。此外，在输送腔室1与各工艺腔室8a～8e之间、以及连通负载锁定室7与外侧的大气环境的开口部，也同样分别设置有闸阀15。

在负载锁定室7的外侧，配置有收容基板的三个盒体(cassette)9。在这些盒体9中收容例如未处理的基板、处理完的基板。在这三个盒体9之间，配置有基板输送装置90。基板输送装置90具有：滑臂部，载置基板；以及基部，可进退以及旋转地支承滑臂部。

输送腔室1具有：腔室主体部11，内部设置有用于输送基板的输送装置13；以及腔室侧部12，与腔室主体部11一起形成输送腔室1的内部空间。输送腔室1构成为能保持其内部空间为规定的减压环境(例如，真空环境下)。

在输送腔室1中，通过设置于腔室主体部11的输送装置13，在负载锁定室7以及工艺腔室8a～8e之间进行基板的移载。输送装置13具有：基座部、下段机械手基座(handbase)13b、以及上段机械手基座13d。基座部具备：驱动机构部，设置于腔室主体部11的大致中央部，使输送装置13升降和旋转；以及被驱动部，设置成相对于驱动机构部旋转和升降自如。在该被驱动部设置有下段机械手基座13b以及上段机械手基座13d。

被驱动部具备用于使下段机械手基座13b和上段机械手基座13d相对于被驱动部进退移动的驱动器、引导部以及滑动件。各滑动件固定有下段机械手基座13b以及上段机械手基座13d。通过驱动任一滑动件，使下段机械手基座13b或上段机械手基座13d进退移动。在下段机械手基座13b以及上段机械手基座13d，分别设置有下段机械手13c以及上段机械手13e(例如，在图1中为四只叉手)。通过驱动机构部的驱动，被驱动部在输送腔室1的内部空间中被旋转、升降，通过使下段机械手基座13b或上段机械手基座13d进退移动，进行基板在负载锁定室7以及工艺腔室8a～8e之间的移载。

负载锁定室7以及工艺腔室8a～8e与输送腔室1同样地构成为能使各自的内部空间保持规定的减压环境。在工艺腔室8a～8e的内部进行例如成膜、等离子刻蚀或灰化等处理。工艺腔室8a～8e同样地构成。

接着，参照图2～图10，详细地说明输送腔室1。

图2是用于说明输送腔室1的构成的立体图。图2的(a)表示卸下顶板14的状态，图2的(b)表示嵌有顶板14的状态。如图2的(a)以及(b)所示，输送腔室1的腔室主体部11是俯视以及侧视呈长方形的部位。此外，一对腔室侧部12a、12b是俯视呈大致梯形的部位。一对腔室侧部12a、12b是用于确保输送装置13可旋转的输送用空间的部位，分别从腔室主体部11的长边的对置的侧部朝外侧延伸。而且，在腔室主体部11的上表面，拆装自如地接合有封闭后述的开口部24的顶板14。需要说明的是，图1表示卸下顶板14的状态的输送腔室1。此外，图2的(a)以及(b)所示的腔室主体部11和腔室侧部12a、12b一体设置。当然，可以将三者分开设置。

腔室主体部11具备构成输送腔室1的底部的底板21。腔室主体部11的上部构成大致整面开口的开口部24。

在腔室主体部11，形成有用于在其与负载锁定室7(参照图1)之间搬入搬出基板的输送用开口26。此外，在与上述输送用开口26对置的位置，形成有用于在腔室主体部11与工艺腔室8c之间搬入搬出基板的输送用开口27。而且，在腔室主体部11的底板21，形成有用于设置输送装置13(参照图1)的开口28。

顶板14陷入腔室主体部11的开口部24的内缘而嵌入。顶板14由与腔室主体部11相同的构成材料构成，并通过例如螺栓等固定构件固定于开口部24的内缘。顶板14在输送腔室1的实际使用时，即在使内部空间保持真空环境时被装上，并在维护输送腔室1的内部空间以及输送装置13等时被拆下。

通过腔室侧部12a、12b和腔室主体部11，腔室主体部11的内部空间s1与各腔室侧部12a、12b的内部空间s2a、s2b合拢形成一个输送用空间。

在腔室侧部12a的两侧壁33a、34a，形成有用于在输送用空间与图1所示的工艺腔室8a、8b之间搬入搬出基板的输送用开口35a、36a。此外，在腔室侧部12b的两侧壁33b、34b，形成有用于在输送用空间与图1所示的工艺腔室8d、8e之间搬入搬出基板的输送用开口35b、36b。此外，在腔室侧部12a、12b的上部设置有上壁32a、32b。

(第一实施方式)

图3以及图4是表示第一实施方式的输送腔室1a的图。图3表示输送腔室1a的立体图。图4表示图3的输送腔室1a的iv-iv线剖面图。在图3以及图4中，示出维护时的输送腔室1a，并示出了顶板14被卸下而露出开口部24的状态。如图3以及图4所示，输送腔室1a在腔室主体部11的开口部24的周缘具备镜41(反射构件的一个例子)。

镜41(41a、41b)分别设置于腔室主体部11的开口部24的上侧周缘。在开口部24装上了顶板14的情况下，镜41(41a、41b)设置为位于顶板14的上侧，即配置在腔室主体部11的外侧。例如，设置有以包围开口部24的周围的方式向上方延伸的安全围栏44。镜41(41a、41b)设置于安全围栏44的位于开口部24的长边侧的被上下两分出的下框部分44b。通过将镜41(41a、41b)设置于安全围栏44的下框部分44b，不需要用于设置镜41(41a、41b)的新的空间。此外，通过将镜41(41a、41b)设置于下框部分44b，镜成为遮挡物，放置在腔室主体部11以及腔室侧部12a、12b的上部的维护用工具等不会误掉落至输送用空间内。其结果是，不会因掉落物等而导致输送用空间破损。

镜41(41a、41b)分别使反射面对置地设置于腔室主体部11的开口部24的长边侧。镜41(41a、41b)构成为能进行上下变动朝向的纵摇驱动和左右变动朝向的横摇驱动。镜41(41a、41b)连接有用于纵摇驱动以及横摇驱动各个镜的镜驱动单元43a、43b(第二驱动单元的一例)。镜驱动单元43a、43b例如构成为操作者(观察者)能使用示教器等便携式信息终端等进行操作。

在本实施方式中，举出了在下框部分44b设置有两个腔室主体部11的长边的长度的大致一半的镜41(41a、41b)的例子，但并不限定于此。例如，可以在下框部分44b仅设置一个与长边的长度大致相同的长度的镜，此外，也可以在下框部分44b设置三个以上比长边的长度短的镜。而且，也可以仅在下框部分44b的至少一部分设置比长边的长度短的镜。此外，镜41(41a、41b)的形状既可以是本实施方式这样的平板状的平面镜，或者也可以是反射面侧凹陷的凹面镜。

例如，在维护时观察者站立在腔室侧部12a、12b的上壁32a、32b上的情况下，该观察者能使用镜41(41a、41b)直接观察输送腔室1a的内部空间。例如，如图4所示，当观察者站立在腔室侧部12a的上壁32a上时，观察者能直接视觉确认隔着腔室主体部11设置于相反侧的腔室侧部12b的内部空间s2b的状态、以及腔室主体部11的内部空间s1的状态。而且，能通过映在镜41b上的像来确认设置于观察者站立处的下侧的腔室侧部12a的内部空间s2a的状态、以及腔室主体部11的内部空间s1的状态。因此，观察者能不移动观察位置地，即站立在腔室侧部12a的上壁32a上直接确认输送腔室1a的内部空间整体的状态，能检测出内部空间内是否有操作者。

此外，根据本实施方式的输送腔室1a，观察者能不移动观察位置地几乎同时确认两个腔室侧部12a、12b的内部空间s2a、s2b以及腔室主体部11的内部空间s1。此时，在确认整个内部空间的状态时，当观察者需要移动观察位置时，在观察者移动期间，有可能会有操作者移动、进入确认一次后的内部空间内的区域。这会成为看漏内部空间中存在的操作者的原因。相对于此，本实施方式的输送腔室1a能几乎同时确认整个内部空间，因此，能可靠地检测出内部空间中是否有人。

此外，由于能上下左右改变镜41(41a、41b)的朝向，因此，即使例如镜41的表面积小，也能大范围地容易地确认内部空间(s1、s2a以及s2b)的状态。

此外，如图4所示，不仅在观察者站立于远离腔室主体部11的开口部24的位置的情况下，而且例如在站立于开口部24附近的情况下，也能通过上下左右改变镜41(41a、41b)的朝向来确认整个内部空间(s1、s2a以及s2b)的状态。此外，不受观察者的身高(视线位置高度)影响，通过改变镜41(41a、41b)的朝向，能确认整个内部空间(s1、s2a以及s2b)的状态。

而例如与本实施方式不同，在内部空间(s1、s2a以及s2b)内设置有镜41(41a、41b)的情况下，为了避免输送装置13与镜41(41a、41b)干扰，需要提高腔室主体部11以及腔室侧部12a、12b的高度。其结果是会导致内部空间(s1、s2a以及s2b)大型化。相对于此，输送腔室1a将镜41(41a、41b)设置于开口部24的上侧周缘，因此，能无须担心输送装置13与镜41(41a、41b)的干扰地抑制内部空间(s1、s2a以及s2b)大型化。

此外，由于输送腔室1a能通过使用镜41(41a、41b)来确认整个内部空间(s1、s2a以及s2b)的状态，因此无需在腔室主体形成用于视觉确认输送腔室1a内的观察窗。其结果是无需确保腔室主体的密封性，能得到气密性高的输送腔室1a。

此外，由于镜41(41a、41b)可装配于安全围栏44的下框内，因此能无需实施用于将镜41(41a、41b)装配于输送腔室1a本身的孔加工等地确保输送腔室1a的气密性。此外，在将镜41(41a、41b)装配于安全围栏44时，能无需特别的工具地容易地进行镜41(41a、41b)的装配、拆卸、调整等。

(第二实施方式)

图5以及图6是表示第二实施方式的输送腔室1b的示意图。图5表示输送腔室1b的俯视图。图6表示输送腔室1b的侧视图。需要说明的是，针对与第一实施方式同样的结构标注相同的附图标记，并适当省略其说明。

如图5以及图6所示，输送腔室1b具备拍摄输送腔室1b的内部空间的摄像机51(拍摄单元的一个例子)。

摄像机51与镜41(41a、41b)对置地设置于开口部24的周缘。虽然在本实施方式中构成为在腔室侧部12a侧设置有摄像机51并在腔室侧部12b侧设置有镜41b，但也可以与此相反地，在腔室侧部12b侧设置摄像机51并在腔室侧部12a侧设置镜41a。或者，也可以在腔室侧部12a侧和腔室侧部12b侧都设置摄像机和镜的两方。此外，摄像机51的设置位置并不限定于开口部24的周缘，只要是腔室侧部12a的上壁32a上、腔室侧部12b的上壁32b上的任一方即可。

摄像机51以能纵摇驱动(参照图6的箭头b)以及横摇驱动(参照图5的箭头c)的方式构成。此外，摄像机51以能上下移动(参照图6的箭头d)的方式构成。摄像机51连接有用于纵摇驱动、横摇驱动以及上下移动摄像机的摄像机驱动单元52(第一驱动单元的一例)。摄像机驱动单元52例如构成为操作者能使用示教器、遥控器等进行远程操作。或者，摄像机驱动单元52以能拍摄设置的输送腔室1b的整个内部空间(s1、s2a以及s2b)的方式，预先编程纵摇角度、横摇角度等，并根据该程序来驱动摄像机51。

摄像机51例如能使用ccd(chargecoupleddevice：电荷耦合器件)摄像机、cmos(complementarymetaloxidesemiconductor：互补金属氧化物半导体)摄像机等。摄像机驱动单元52具备：发送单元53，将被摄像机51拍摄到的内部空间(s1、s2a以及s2b)的图像作为数据进行发送。数据例如能通过示教器等移动终端、设置于远距离的管理室的终端等接收单元进行接收。接收的数据由设置于接收单元的显示单元图像显示。需要说明的是，作为摄像机51，例如也可以使用夜视摄像机、热成像摄像机等。

接收单元具有：判定装置，解析接收到的数据并判定内部空间(s1、s2a以及s2b)有无异常(异常通知单元的一例)。判定装置例如解析或监控由夜视摄像机、热成像摄像机等拍摄(测定)到的数据，并判定内部空间(s1、s2a以及s2b)内是否留有操作者。此外，接收单元具有：通知装置，通知判定装置的判定结果(异常通知单元的一例)。通知装置在通过判定装置的判定结果判定为存在异常的情况下，例如通过在显示单元上显示警告标记或通过输出警告声来通知该情况。需要说明的是，通知装置也可以设置于摄像机驱动单元52。摄像机驱动单元52基于由上述判定装置发送来的信号，在存在异常的情况下，例如通过输出警告声、点亮警告灯等通知该情况。

需要说明的是，本实施方式的镜41(41a、41b)也与第一实施方式的镜同样以能纵摇驱动以及横摇驱动的方式构成。

根据这样构成的输送腔室1b，例如在维护时，能使用摄像机51观察输送腔室1b的内部空间(s1、s2a以及s2b)。因此，即使观察者不坐在腔室侧部12a、12b上进行作业，例如在远离输送腔室1b的位置，也能一边通过显示单元监控由发送单元53发送来的数据，一边确认内部空间(s1、s2a以及s2b)的状态。由此，能检测在内部空间(s1、s2a以及s2b)内是否有操作者。

此外，由于能纵摇驱动以及横摇驱动摄像机51，因此能通过一台摄像机51拍摄内部空间(s1、s2a以及s2b)的大范围。此外，在例如使用多台摄像机的情况下，也能以更少的台数拍摄整个内部空间(s1、s2a以及s2b)。

此外，由于不仅能对摄像机51还能对镜41(41a、41b)进行纵摇驱动以及横摇驱动，因此能进一步可靠地确认内部空间(s1、s2a以及s2b)的状态，能检测内部空间(s1、s2a以及s2b)内是否有操作者。此外，在内部空间(s1、s2a以及s2b)存在异常的情况下，由于能通过来自异常通知单元的警告声、警告灯等来察觉，因此能进一步可靠地检测内部空间(s1、s2a以及s2b)是否留有操作者。

当然，也可以与上述方式不同，构成为只能纵摇驱动以及横摇驱动摄像机51，而将镜41(41a、41b)固定为不能纵摇驱动以及横摇驱动。

(第三实施方式)

图7以及图8是表示第三实施方式的输送腔室1c的示意图。图7表示输送腔室1c的俯视图。图8表示输送腔室1c的侧视图。

如图7以及图8所示，第三实施方式的输送腔室1c在摄像机51能沿着开口部24的周缘在左右方向(图7的箭头e方向)上移动这一点上与上述第二实施方式的输送腔室1b不同。因此，针对与第二实施方式同样的结构标注相同的附图标记，并适当省略其说明。

在开口部24，沿着周缘设置有导轨构件61。摄像机51沿着导轨构件61在左右方向上移动。在导轨构件61上装配有：行走机构62，例如从两侧用行走轮夹持导轨构件61，使该行走轮由电机驱动而行走。摄像机51搭载于该行走机构62，与行走机构62一起移动。此外，摄像机51与上述第二实施方式的摄像机同样也能纵摇驱动、横摇驱动以及上下移动。

摄像机51连接有：摄像机驱动单元63，用于纵摇驱动、横摇驱动、上下移动以及左右移动摄像机(第三驱动单元的一例)。摄像机驱动单元63例如构成为操作者能使用遥控器等进行远程操作。或者，摄像机驱动单元63以能拍摄输送腔室1c的整个内部空间(s1、s2a以及s2b)的方式，预先编程纵摇角度、横摇角度以及上下左右的移动量等，并根据该程序驱动摄像机51。

根据这样构成的输送腔室1c，例如在维护时，通过使摄像机51沿着导轨构件61移动，能确认输送腔室1c的内部空间(s1、s2a以及s2b)的状态，能检测内部空间(s1、s2a以及s2b)内是否有操作者。此外，在采用设置于开口部24的周缘的导轨作为导轨构件61的情况下，使行走机构62行走时产生的灰尘少，有利于进行刻蚀处理、灰化处理等的基板处理装置。

(第四实施方式)

图9以及图10是表示第四实施方式的输送腔室1d的示意图。图9表示输送腔室1d的俯视图。图10表示输送腔室1d的侧视图。

如图9以及图10所示，第四实施方式的输送腔室1d在摄像机51能沿着开口部24的周缘移动整周(参照图7的箭头e、f)这一点上与上述第三实施方式的输送腔室1c不同。因此，针对与第三实施方式同样的结构标注相同的附图标记，并适当省略其说明。

在开口部24的周缘遍及整周地设置有导轨构件61(61a～61d)。摄像机51沿着该导轨构件61(61a～61d)在开口部24的整周移动。在导轨构件61(61a～61d)，与上述第三实施方式同样装配有供摄像机51搭载的行走机构62。摄像机51的台数既可以为单台又可以为多台。需要说明的是，摄像机51与上述第三实施方式的摄像机同样也能纵摇驱动、横摇驱动以及上下移动。

此外，在开口部24的周缘遍及整周地设置有镜41(41a～41d)。

需要说明的是，导轨构件61和镜41也可以遍及开口部24的周缘的半周地设置。例如，在图9中，在设置有导轨构件61a和61b的情况下，只要设置镜41b和41d即可。同样地，在设置有导轨构件61c和61d的情况下，只要设置镜41a和41c即可。

摄像机51连接有：摄像机驱动单元64，用于纵摇驱动、横摇驱动、上下方向移动以及周向移动摄像机(第三驱动单元的一例)。摄像机驱动单元64例如构成为操作者能使用遥控器等进行远程操作。或者，摄像机驱动单元64以能拍摄输送腔室1d的整个内部空间(s1、s2a以及s2b)的方式，预先编程纵摇角度、横摇角度、上下方向的移动量以及周向的移动量等，并根据该程序驱动摄像机51。

需要说明的是，虽然在本实施方式中，沿俯视为长方形的开口部24设置了直线状的导轨构件61(61a～61d)，但在例如开口部24的形状为圆孔、长孔的情况下，也可以根据该形状设置曲线状的导轨构件。

在这样构成的输送腔室1d的情况下，也能实现与上述第三实施方式的输送腔室1c同样的效果。

在上述实施方式中，说明了用于进行真空处理的基板处理装置的输送腔室，但本发明也可以用于在大气压下使用的输送腔室。

此外，本发明的输送腔室既可以应用于腔室主体部与腔室侧部为一体的一体构造的腔室，也可以应用于腔室主体部与腔室侧部分开的分体构造的腔室。

需要说明的是，本发明并不限定于上述实施方式，能自如地适当变形、改良等。除此以外，对于上述实施方式中的各构成要素的材质、形状、尺寸、数值、方式、数量、配置位置等，只要能实现本发明就是任意的，并不限定。