合。
[0050] 此外，对于上述废料剔除单元而言，真空吸嘴气压可以由专设真空发生器提供，旋 转臂的轴端应直接与伺服电机连接，由此实现废料的高速精确的定位和排废。
[0051] 考虑到在检测、转移与排废等多功能叠加的过程中，为保证柔性电子薄膜运动速 度的平稳性，面临多个运动规律的协调控制问题，为此，本发明为保证柔性电子薄膜线速度 稳定性，还提出了一套电机运动控制方法，以实现高速柔性电子薄膜检测、转移和排废过程 中的稳定性。
[0052] 按照本发明的一个优选实施方式，上述逐片转移装置还可以配备有电机编码器分 别对所述薄膜进给对辊103、模切刀辊102、旋转轴201和载带输送对辊602的转动位置实 时获取位置反馈信号，然后通过位置控制器优选依照以下公式对它们执行统一的同步控 制：
[0053] P,.: * r, = Pr，r2 = P,. * r, = P,4 * r4
[0054] 其中，ri表示所述薄膜进给对辊的半径，$表示所述位置控制器对该薄膜进给对 辊所施加的转动位移指令；r 2表示所述模切刀辊的半径，IV表示所述位置控制器对该模切 刀辊所施加的转动位移指令；r3表示所述旋转轴的半径，&表示所述位置控制器对该旋转 轴所施加的转动位移指令；r4表示所述载带输送对辊的半径，巧4表示所述位置控制器对该 载带输送对辊所施加的转动位移指令。
[0055] 本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以 限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含 在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1. 一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置，其特征在于，该逐片转移装置包括 薄膜进给单元（100)、载带输送单元（600)、真空辑吸附单元（200)、压辑转移单元（300)和 废料剔除单元（400)，其中： 所述薄膜进给单元（100)包括沿着薄膜进给路径依次设置的薄膜放料辊（101)、第一 惰辊（104)、薄膜进给对辊（103)和模切刀辊（102)，其中薄膜放料辊（101)用于将成卷的 柔性电子器件薄膜执行开卷，然后经由第一惰辊（104)和薄膜进给对辊（103)输送至模切 刀辊（102)处；模切刀辊（102)则与模切支撑台（105)相互配合，用于将柔性电子器件薄膜 切割成所需规格的多个片状结构； 所述载带输送单元（600)整体设置在所述薄膜进给单元（100)的下部，并包括沿着载 带输送路径依次设置的载带放料辊（603)、第二惰辊（601)、载带输送对辊（602)和载带收 料车昆（604)，由此用于执行载带从载带放料辑（603)到载带收料辑（604)的输送； 所述真空辊吸附单元（200)与所述压辊转移单元（300)相互保持对置地分别设置在所 述载带输送路径的上下两侧，其中真空辊吸附单元（200)处于所述模切刀辊（102)的下游 侦牝并用于将所述多个片状结构以逐片转移的方式真空吸附到它的上面，然后执行旋转运 动；压辊转移单元（300)则通过其相对于所述真空辊吸附单元（200)的上下移动和施压操 作，使得各个片状结构粘附在所述载带上，同时逐片从真空辊吸附单元（200)上予以剥离； 所述废料剔除单元（400)包括粘着前传感器（401)、旋转臂（403)、粘着前废料盒（404) 和粘着后废料盒（405)，其中粘着前传感器（401)用于在所述片状结构与载带完成粘附之 前，对各个片状结构的质量缺陷执行实时检测，然后根据工况的不同需求来选择性执行以 下的废料剔除方式： (a) 吸嘴吸取剔除方式，即当粘着前传感器（401)检测发现存在质量缺陷的废料后，所 述旋转臂（403)通过其配置的真空吸嘴（402)对各废料执行真空吸附，然后旋转一定角度 后喷出至所述粘着如废料盒（404)中； (b) 真空正压剔除方式，即当粘着前传感器（401)检测发现存在质量缺陷的废料后，所 述压辊转移单元（300)相对于所述真空辊吸附单元（200)向下移动，避免该废料粘附在载 带上，然后所述真空辊吸附单元（200)旋转一定角度后由其自身产生正压，由此将此废料 喷出至所述粘着后废料盒（405)中。2. 如权利要求1所述的逐片转移装置，其特征在于，所述模切刀辊（102)包括辊体、模 切刀槽（1022)和模切刀（1021)，其中模切刀槽（1022)的数量为多个，它们沿着辊体的周向 方向彼此等距间隔地布置，并且各个模切刀槽（1022)的长度一致且沿着辊体的轴向方向 平行延伸；模切刀（1021)可拆卸地安装在各个模切刀槽（1022)中，并可根据柔性电子器件 薄膜的长度来调整其安装位置，由此实现对所述片状结构的切割规格的粗调整。3. 如权利要求1或2所述的逐片转移装置，其特征在于，所述模切支撑台（105)优选呈 具有加强筋的悬臂结构，由此在增加强度的同时，为柔性电子器件薄膜提供平滑的运动过 渡平台。4. 如权利要求1-3任意一项所述的逐片转移装置，其特征在于，所述真空辊吸附单元 (200)优选包括旋转轴（201)、真空腔盖板（205)、真空腔挡板（204)、轴心（202)、真空腔隔 板（206)以及多分舱隔板（207)，其中该旋转轴（201)呈空心结构，并通过套设在其内部的 所述真空腔盖板（205)、以及设置在其端部的所述真空腔挡板（204)共同构成内部的密闭 腔室；该轴心（202)沿着轴向方向贯穿安装于所述密闭腔室中，并开设有由外端部通向所 述密闭腔室的气道；该真空腔隔板（206)的数量为多个，它们沿着径向方向分别设置在所 述轴心（202)与所述所述真空腔盖板（205)之间，由此将所述密闭腔室划分为多个舱室；该 多分舱隔板（207)则沿着径向方向将各个舱室进一步划分为多个分舱；以此方式，在所述 旋转轴（201)的运转过程中，通过外部气流阀门来调节气流经由所述气道进入到各个分舱 间的气压值，从而实现以上真空辊吸附单元在正负气压之间的快速转换。5. 如权利要求4所述的逐片转移装置，其特征在于，各个所述真空腔隔板（206)的端 部、以及各个所述多分舱隔板（207)的端部均优选呈T型凹槽的形式，并配合嵌入有橡胶密 封条。6. 如权利要求1-5任意一项所述的逐片转移装置，其特征在于，所述压辊转移单元 (300)包括安装模块（304)、力输出件（303)、压辊支撑件（302)和压辊（301)，其中该力输 出件（303)安装在所述安装模块（304)上，并用于沿着竖直方向输出驱动力；该压辊支撑件 (302)在所述力输出件（303)的驱动作用下，连同所述压辊（301) -同沿着竖直方向向上移 动，由此使得所述片状结构粘附于所述载带之上，或是沿着竖直方向向下移动，由此避免出 现质量缺陷的废料粘附在所述载带上，进而执行所述真空正压剔除的过程。7. 如权利要求1-6任意一项所述的逐片转移装置，其特征在于，上述逐片转移装置还 包括检测单元（500)，该检测单元（500)包括粘着后传感器（501)、标记部件（503)及其相 应的驱动部件（502)，其中该粘着后传感器（501)用于在所述片状结构与载带完成粘附之 后，对各个柔性电子器件产品的质量缺陷执行实时检测；该标记部件（503)则在所述驱动 部件（502)的驱动下，相应对存在质量缺陷的废品施加相应的标记。8. 如权利要求1-7任意一项所述的逐片转移装置，其特征在于，上述逐片转移装置还 配备有电机编码器分别对所述薄膜进给对辊（103)、模切刀辊（102)、旋转轴（201)和载带 输送对辊（602)的转动位置实时获取位置反馈信号，然后通过位置控制器优选依照以下公 式对它们执行统一的同步控制：其中，Γι表示所述薄膜进给对辊的半径，IV表示所述位置控制器对该薄膜进给对辊所 施加的转动位移指令；r2表示所述模切刀辊的半径，表示所述位置控制器对该模切刀辊 所施加的转动位移指令；r 3表示所述旋转轴的半径，表示所述位置控制器对该旋转轴所 施加的转动位移指令；r4表示所述载带输送对辊的半径，：P14表示所述位置控制器对该载带 输送对辊所施加的转动位移指令。
【专利摘要】本发明公开了一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置，包括薄膜进给单元、载带输送单元、真空辊吸附单元、压辊转移单元和废料剔除单元，其中薄膜进给单元用于薄膜的进给运动并对薄膜进行模切，模切后的薄膜经真空辊吸附单元驱动至压辊转移单元，模切后的薄膜在压辊转移单元中实现与载带之间的粘着和固定，废料剔除单元则根据工况需要提供多种对废料的实时检测和剔除操作。通过本发明，各个模块单元之间相互联系，共同协作，实现对成卷柔性电子器件逐片的高速检测转移过程，同时具备运动稳定性和可靠性好等优点。
【IPC分类】H01L21/66, H01L21/67, H01L21/677
【公开号】CN105070674
【申请号】CN201510461370
【发明人】陈建魁, 洪金华, 尹周平, 马亮, 黄永安
【申请人】华中科技大学
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年7月31日