薄膜晶体管阵列基板及其制作方法、液晶显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶显示技术领域，且特别是涉及一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法，以及具有该薄膜晶体管阵列基板的液晶显示装置。
【背景技术】
[0002]液晶显示器(LCD，Liquid Crystal Display)是目前被广泛使用的一种平面显示器，跟其他显示方式相比，具有低功耗、外型薄、重量轻、无辐射等优点。一般而言，LCD包括薄膜晶体管阵列基板、彩膜基板及填充在薄膜晶体管阵列基板与彩膜基板之间的液晶层。薄膜晶体管阵列基板上的显示区域包含多个子像素区域，每个子像素区域一般为两条栅极线(又称扫描线)与两条数据线交叉所形成的矩形或者其他形状区域，其内设置有薄膜晶体管以及像素电极，薄膜晶体管充当开关元件；彩膜基板上的共通电极与薄膜晶体管阵列基板上的像素电极之间或者薄膜晶体管阵列基板上的共通电极与像素电极之间的电场强度调制着液晶分子的偏转方向。
[0003]LCD的配线包括数据线、栅极线、修复线等。由于配线本身存在的电阻，以及该层配线和薄膜晶体管阵列基板其它导电层间的电容、该层配线与彩膜基板上的共通电极之间形成的电容，使得配线存在信号延迟。随着液晶显示面板尺寸的增加及分辨率的提高，LCD的配线的信号延迟也会随之增大。而过大的信号延迟会影响液晶显示器的亮度、对比度等，从而降低显示品质。如数据线上的信号延迟则会影响加在液晶层上的信号电压，从而影响显示特性。
[0004]图1是现有一种液晶显示装置的薄膜晶体管阵列基板的平面结构示意图，图2是图1所示的薄膜晶体管阵列基板的沿I1-1I线的剖面结构示意图，请参阅图1和图2，薄膜晶体管阵列基板I包括多条扫描线和多条数据线，且多条扫描线和多条数据线相互交叉限定出多个像素区域，扫描线和数据线交叉位置处设置有薄膜晶体管。现有的薄膜晶体管阵列基板I包括衬底基板10、形成在衬底基板10上的栅极11、第一绝缘保护层12、半导体层13、源极14a、漏极14b、数据线14c、第二绝缘保护层15、第一电极16、第三绝缘保护层17和第二电极18。第一绝缘保护层12形成在衬底基板10上。数据线14c形成在第一绝缘保护层12上。第二绝缘保护层15形成在第一绝缘保护层12上，并覆盖数据线14c。第一电极16形成在第二绝缘保护层15上。第三绝缘保护层17覆盖第一电极16。第二电极18形成在第三绝缘保护层17上。数据线14c与第一电极16之间仅设置有一层第二绝缘保护层15，使得数据线14c与第一电极16之间的距离较小，导致数据线14c与第一电极16之间的电容较大，从而增大薄膜晶体管阵列基板的电极上的总电容。基于信号延迟的时间常数τ正比于总电容和总电阻的乘积，当薄膜晶体管阵列基板的总电阻基本保持不变，且总电容较大时，导致该薄膜晶体管阵列基板的信号延迟增大，从而影响具有该薄膜晶体管阵列基板的显示装置的显示特性。
【发明内容】
[0005]本发明提供了一种薄膜晶体管阵列基板，其有助于提高液晶显示装置的穿透率并减小液晶显示装置的信号延迟。
[0006]本发明提供了一种薄膜晶体管阵列基板的制作方法，其所制作的薄膜晶体管阵列基板有助于提高液晶显示装置的穿透率并减小液晶显示装置的信号延迟。
[0007]本发明提供了一种液晶显示装置，其具有较高的穿透率与较小的信号延迟。
[0008]本发明解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。
[0009]—种薄膜晶体管阵列基板，包括衬底基板、第一金属层、第一绝缘保护层、半导体层、第二金属层、第二绝缘保护层、第一导电层、第三绝缘保护层和第二导电层。第一金属层形成在该衬底基板上。该第一金属层包括栅极和扫描线。第一绝缘保护层形成在该衬底基板上并覆盖该第一金属层。半导体层形成在该第一绝缘保护层上并位于该栅极上方。第二金属层形成在该第一绝缘保护层上，该第二金属层包括源极、漏极和数据线，该源极和该漏极彼此分隔并分别与该半导体层接触，该半导体层的一部分从该源极和该漏极之间露出，该数据线与该源极相连，由多条该扫描线和多条该数据线交叉形成多个像素单元。第二绝缘保护层形成在该第一绝缘保护层上并覆盖该源极、该漏极、该数据线、以及从该源极和该漏极之间露出的部分该半导体层。第一导电层形成在该第二绝缘保护层上，该第一导电层包括横跨该数据线的导电连接部。第三绝缘保护层形成在该第一导电层上，该第三绝缘保护层于对应该导电连接部的位置具有第一通孔以露出部分的该导电连接部，该第三绝缘保护层和该第二绝缘层于对应该漏极的位置具有第二通孔以露出部分的该漏极。第二导电层形成在该第三绝缘保护层上，该第二导电层包括彼此分隔设置的第一部分和第二部分，该第一部分对应位于该数据线上方并顺延该数据线设置，该第一部分还填入该第一通孔中与该导电连接部接触实现电连接，由该第一导电层和该第二导电层的该第一部分共同形成第一电极，该第一电极是公共电极，该第二部分位于对应的像素单元内且还填入该第二通孔中与该漏极接触实现电连接，该第二部分形成第二电极，该第二电极是像素电极。
[0010]在本发明较佳实施例中，该第一导电层于对应该数据线的位置形成第一缺口以露出下方的该第二绝缘保护层，形成在该第一导电层上的该第三绝缘保护层还填入该第一缺口中与该第二绝缘保护层接触。
[0011]在本发明较佳实施例中，该第一导电层于对应薄膜晶体管所在的位置形成第二缺口以露出下方的该第二绝缘保护层，形成在该第一导电层上的该第三绝缘保护层还填入该第二缺口中与该第二绝缘保护层接触。
[0012]在本发明较佳实施例中，该第二导电层的第一部分为与该数据线相对应的条状结构并覆盖该数据线。
[0013]—种液晶显示装置，包括上述的薄膜晶体管阵列基板。
[0014]—种薄膜晶体管阵列基板的制作方法，包括:在衬底基板上制作形成第一金属层，该第一金属层包括栅极和扫描线；在该衬底基板上制作形成第一绝缘保护层，该第一绝缘保护层覆盖该第一金属层；在该第一绝缘保护层上制作形成半导体层，该半导体层位于该栅极上方；在该第一绝缘保护层上制作形成第二金属层，该第二金属层包括源极、漏极和数据线，该源极和该漏极彼此分隔并分别与该半导体层接触，该半导体层的一部分从该源极和该漏极之间露出，该数据线与该源极相连，由多条该扫描线和多条该数据线交叉形成多个像素单元；在该第一绝缘保护层上制作形成第二绝缘保护层，该第二绝缘保护层覆盖该源极、该漏极、该数据线、以及从该源极和该漏极之间露出的部分该半导体层；在该第二绝缘保护层上制作形成第一导电层，该第一导电层包括横跨该数据线的导电连接部；在该第一导电层上制作形成第三绝缘保护层，该第三绝缘保护层于对应该导电连接部的位置形成第一通孔以露出部分的该导电连接部，该第三绝缘保护层和该第二绝缘层于对应该漏极的位置形成第二通孔以露出部分的该漏极；以及在该第三绝缘保护层上制作形成第二导电层，该第二导电层包括彼此分隔设置的第一部分和第二部分，该第一部分对应位于该数据线上方并顺延该数据线设置，该第一部分还填入该第一通孔中与该导电连接部接触实现电连接，由该第一导电层和该第二导电层的第一部分共同形成第一电极，该第一电极是公共电极，该第二部分位于对应的像素单元内且还填入该第二通孔中与该漏极接触实现电连接，该第二部分形成第二电极，该第二电极是像素电极。
[0015]在本发明较佳实施例中，在该第二绝缘保护层上制作形成该第一导电层时，包括在该第一导电层于对应该数据线的位置制作形成第一缺口以露出下方的该第二绝缘保护层，使形成在该第一导电层上的该第三绝缘保护层还填入该第一缺口中与该第二绝缘保护层接触。
[0016]在本发明较佳实施例中，在该第二绝缘保护层上制作形成该第一导电层时，包括在该第一导电层于对应薄膜晶体管所在的位置制作形成第二缺口以露出下方的该第二绝缘保护层，使形成在该第一导电层上的该第三绝缘保护层还填入该第二缺口中与该第二绝缘保护层接触。
[0017]在本发明较佳实施例中，该第二导电层的第一部分为与该数据线相对应的条状结构并覆盖该数据线。
[0018]在本发明较佳实施例中，该第一部分和该第二部分是在制作该第二导电层的同一道光罩制程中制作形成的。
[0019]本发明的有益效果是，本发明的薄膜晶体管阵列基板的第二导电层包括第一部分和第二部分，第一部分填入第一通孔中与第一导电层的导电连接部接触实现电连接，由第一导电层和第二导电层的第一部分共同形成第一电极，即第一电极由位于不同层的第一导电层和第二导电层的第一部分共同形成，第二部分位于对应的像素单元内且还填入第二通孔中与漏极接触实现电连接，第二部分形成第二电极。除了由位于