图案化发光二极管基板的制作方法_3

文档序号:9930527阅读:来源:国知局
各自所具有的一个或多个第一孔洞40的开口面积及一个或多个第三孔洞444的开口面积的总和占每个突起结构4的总表面积不超过70% (也就是,就单一个突起结构4而言,其所具有的一个或多个第一孔洞40的开口面积及一个或多个第三孔洞444的开口面积的总和占此单一个突起结构4的总表面积不超过70% )。一个或多个第一孔洞40及一个或多个第三孔洞444可提供更多的散射表面,而有助于使发光二极管组件中所产生的光线更有机会辐射至外界,从而提升出光效率。
[0094]图7(a)为本发明又另一实施例的图案化发光二极管基板的突起结构5的立体图。图7(b)为图7(a)的突起结构5的俯视图。应注意的是,本实施例的图案化发光二极管基板除了突起结构5之外,其余部分与图1或图2的图案化发光二极管基板I类似。
[0095]如图7 (a)及7 (b)所示,突起结构5包括下方部52及上方部54。下方部52的表面为圆锥面,而有利于后续磊晶的稳定性,且其具有一个或多个第一孔洞50。一个或多个第一孔洞50的宽度小于0.2 μm,而深度小于0.2 μπι。每个突起结构5各自所具有的一个或多个第一孔洞50的开口面积占每个突起结构5的总表面积不超过70% (也就是,就单一个突起结构5而言,其所具有的一个或多个第一孔洞50的开口面积占此单一个突起结构5的总表面积不超过70% )。上方部54的表面为粗糙表面540。
[0096]图7(c)为图7(a)的I部分的放大剖面示意图。如图7(c)所示,粗糙表面540具有表面高低差。本文中的表面高低差是指同一表面的特定范围内的最高点与最低点之间的差距(例如dl)。在本实施例中,粗糙表面540的表面高低差的范围在20nm至10nm之间。此外,一般而言,粗糙表面540在特定距离L内具有特定数量的高点542及低点544。例如,在本实施例中,粗糙表面540在I μπι的距离内具有3至20个高点542。一个或多个第一孔洞50及粗糙表面540可提供更多的散射表面,而有助于使发光二极管组件中所产生的光线更有机会辐射至外界,从而提升出光效率。
[0097]图8(a)为图4(a)的图案化发光二极管基板的部分的侧视扫描式电子显微镜(SEM)影像。图8(b)显示如图8(a)的图案化发光二极管基板的突起结构的俯视SEM影像。由图8(a)及8(b)可观察到此实施例的突起结构的下方部的表面为圆锥面且具有孔洞;中间部的表面为六角锥面,并具有三个彼此相间隔且不具有孔洞的平滑面及三个彼此相间隔且具有孔洞的孔洞面;上方部的表面为三角锥面,并具有三个不具有孔洞的平滑面。
[0098]图9 (a)为图5 (a)的图案化发光二极管基板的部分的侧视SEM影像。图9 (b)显示如图9(a)的图案化发光二极管基板的部分的俯视SEM影像。由图9(a)及9 (b)可观察到此实施例的突起结构的下方部的表面为圆锥面且具有孔洞;上方部的表面为六角锥面,并具有三彼此相间隔且具有孔洞的孔洞面及三彼此相间隔且不具有孔洞的平滑面。
[0099]图10为图7(a)的图案化发光二极管基板的部分的侧视SEM影像。由图10可观察到此实施例的突起结构的上方部的表面为粗糙表面,而下方部的表面则为圆锥面且具有孔洞。
[0100]虽然本发明已参考较佳实施例及图式详加说明,但其仅为举例性者而非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神与范畴的情况下,可进行各种修改、变化以及等效替代。故本发明的保护范围当以随附的申请专利范围所界定者为准。
【主权项】
1.一种图案化发光二极管基板,包含一表面,所述表面上具有多个突起结构,其中,每个突起结构具有一个或多个第一孔洞。2.如权利要求1所述的图案化发光二极管基板,其中,所述一个或多个第一孔洞的宽度小于0.2 μ m。3.如权利要求2所述的图案化发光二极管基板,其中,每个突起结构各自所具有的所述一个或多个第一孔洞的开口面积占其总表面积不超过70%。4.如权利要求3所述的图案化发光二极管基板,其中,每个突起结构为圆锥体。5.如权利要求4所述的图案化发光二极管基板,其中,所述表面包含不具有所述突起结构的一曝露面部,所述曝露面部具有一个或多个第二孔洞,所述一个或多个第二孔洞的宽度小于0.2 μπι。6.如权利要求5所述的图案化发光二极管基板,其中,所述一个或多个第二孔洞的开口面积占所述曝露面部的总表面积不超过70%。7.一种图案化发光二极管基板,包含一表面,所述表面上具有多个突起结构,其中,每个突起结构包括一上方部及一下方部,所述下方部的表面为圆锥面且具有一个或多个第一孔洞。8.如权利要求7所述的图案化发光二极管基板,其中,所述一个或多个第一孔洞的宽度小于0.2 μ m。9.如权利要求8所述的图案化发光二极管基板,其中,所述上方部的表面为三角锥面并具有三个平滑面,所述平滑面不具有孔洞。10.如权利要求9所述的图案化发光二极管基板,其中,每个突起结构还包括介于所述上方部及所述下方部之间的一中间部,所述中间部的表面为六角锥面并具有三个彼此相间隔的平滑面及三个彼此相间隔的孔洞面,每个孔洞面具有一个或多个第三孔洞。11.如权利要求10所述的图案化发光二极管基板,其中,所述一个或多个第三孔洞的宽度小于0.2 μπι,且每个突起结构各自所具有的所述一个或多个第一孔洞的开口面积及所述一个或多个第三孔洞的开口面积的总和占所述突起结构的总表面积不超过70%。12.如权利要求8所述的图案化发光二极管基板,其中,所述上方部的表面为六角锥面并具有三个彼此相间隔的平滑面及三个彼此相间隔的孔洞面,每个孔洞面具有一个或多个第三孔洞。13.如权利要求12所述的图案化发光二极管基板,其中,所述一个或多个第三孔洞的宽度小于0.2 μπι,且每个突起结构各自所具有的所述一个或多个第一孔洞的开口面积及所述一个或多个第三孔洞的开口面积的总和占所述突起结构的总表面积不超过70%。14.如权利要求8所述的图案化发光二极管基板,其中,所述上方部的顶面呈圆弧状,且所述上方部具有一个或多个第三孔洞。15.如权利要求14所述的图案化发光二极管基板,其中,所述一个或多个第三孔洞的宽度小于0.2 μπι,且每个突起结构各自所具有的所述一个或多个第一孔洞的开口面积及所述一个或多个第三孔洞的开口面积的总和占所述突起结构的总表面积不超过70%。16.如权利要求8所述的图案化发光二极管基板,其中,所述上方部的表面为粗糙表面。17.如权利要求16所述的图案化发光二极管基板,其中,所述粗糙表面的表面高低差的范围在20nm至10nm之间,且所述粗糙表面在I μπι的距离内具有3至20个高点。18.如权利要求11、13、15或17所述的图案化发光二极管基板,其中,所述图案化发光二极管基板的所述表面包含不具有所述突起结构的一曝露面部,所述曝露面部具有一个或多个第二孔洞,所述一个或多个第二孔洞的宽度小于0.2 μπι。19.如权利要求18所述的图案化发光二极管基板,其中,所述一个或多个第二孔洞的开口面积占所述曝露面部的总表面积不超过70 %。
【专利摘要】本发明提供一种图案化发光二极管基板,其中图案化发光二极管基板包含一表面,该表面上具有多个突起结构,其中,每个突起结构具有一个或多个第一孔洞。本发明还提供一种图案化发光二极管基板,其中图案化发光二极管基板包含一表面,该表面上具有多个突起结构,其中,每个突起结构包括上方部及下方部,该下方部的表面为圆锥面且具有一个或多个第一孔洞。
【IPC分类】H01L33/22
【公开号】CN105720158
【申请号】CN201510700987
【发明人】杨日成, 杨日豪
【申请人】固美实国际股份有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2015年10月26日
【公告号】CN205069670U
当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1