构包括一个第三输送带5和三个第四输送带6。所述第四输送带6为普通的同步带，其数量根据硅片输送的距离确定，当然也可以通过增加第四输送带6的长度来延伸硅片输送的距离。第三输送带5和第四输送带6的主动轴分别与驱动电机驱动连接，具体方式可以是带传动或者链传动。所述第三输送带5的从动轴铰接于一驱动缸8的活塞杆上，驱动缸8可以为气缸，也可以为液压油缸，本实施例具体采用液压油缸，当液压油缸的活塞杆处于伸出状态下，则第三输送带5为水平设置，这时位于第三输送带5上的硅片可以被正常输送，当活塞杆处于缩回状态时，则第三输送带5为倾斜设置，这时位于第三输送带5上的硅片则滑至所述第三输送带5的从动轴的一端的下方设置的废硅片收纳盒7内。所述第三输送带5和第四输送带6串连设置，即所述第三输送带5和第四输送带6接续对硅片进行输送。
[0028]所述硅片分片机构的第二输送带2与所述硅片输送机构对接，即第二输送带2上的硅片输送至硅片输送机构的第四输送带6上。所述吹气口通过管路与一供气装置连通，该供气装置可以为鼓风机。所述第一输送带倾斜设置。所述储片盒内容纳有水。所述第四输送带水平设置。所述废硅片收纳盒内容纳有水。
[0029]为了防止硅片在硅片输送机构上跑偏而对不准硅片承载盒，在硅片输送机构，特别是第四输送带的两侧设置限位板9，使硅片在两限位板9之间移动，为了调整两限位板9之间的距离，将限位板9固定在驱动气缸10的气缸杆上，这样两限位板9之间的距离可以方便地调整。
[0030]第一输送带I的驱动轴和第二输送带的驱动轴与同一个驱动电机3驱动连接，驱动连接具体采用带传动的方式。硅片上下移动驱动装置可以为丝杠螺母机构，堆垛的硅片放置在一平台上，该平台下作用有丝杠螺母机构，该丝杠螺母机构由步进电机驱动。第一输送带共有两端，位于第二输送带上方的一端称之为第一端，位于储片盒上方的一端称之为弟~*立而O
[0031]工作方法:向储片盒内充水，也可以采用其它种类的液体替代水，但是以不损害和不影响硅片的后续加工为宜。然后将堆垛的硅片放置在储片盒内的硅片上下移动驱动装置的平台上，然后启动硅片上下移动驱动装置即步进电机，使硅片上移直至堆垛的硅片的顶层的第一片硅片接触到第一输送带I的第二端的下侧面，然后启动驱动电机以驱动第一输送带I和第二输送带2转动。当硅片接触到第一输送带的第二端的下侧面时，由于第一输送带的转动，且硅片的表面存在有水，因此硅片的一端利用水的粘结力和第一输送带转动的惯性而吸附固定在第一输送带的下表面，这样与第一输送带接触的硅片与其下的硅片之间会产生缝隙，吹气口则朝着缝隙吹气，使与第一输送带接触的硅片与其下的硅片彻底分开，分开后的硅片利用第一输送带的转动的惯性和水的粘结力，硅片由第一输送带的第二端向输送带的一端移动，该移动是在第一输送带的下侧面进行。当移动到第一输送带的第一端端部时，则落至第二输送带上表面，由第二输送带将硅片送出以实现分片操作。
[0032]第二输送带将硅片输送至第一个第四输送带上，第四输送带的上方设置硅片检测设备，即设置一个镜头，通过拍摄硅片的照片与控制系统的硅片进行对比，当硅片不合格时，控制系统发出指令，驱动缸的活塞杆缩回，不合格的硅片从第三输送带上滑至废硅片收纳盒内，由于废硅片收纳盒内容纳有水，因此废硅片不会再次被摔碎。
[0033]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种娃片插片机用供片装置，其特征在于:包括娃片分片机构、娃片输送机构和娃片位置校正装置；所述硅片分片机构包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口 ；所述第一输送带与第二输送带上下间隔设置，所述第一输送带位于所述第二输送带的上方，且所述第一输送带的第一端的投影位于所述第二输送带上，所述储片盒对应所述第一输送带的第二端设置，所述储片盒内设有硅片上下移动驱动装置；所述吹气口位于所述第一输送带的下方，吹气方向朝向所述储片盒设置；所述硅片输送机构包括至少一个第三输送带和至少一个第四输送带；所述第三输送带的从动轴铰接于一驱动缸的活塞杆上，所述第三输送带的从动轴的一端的下方设有废硅片收纳盒；所述第三输送带和第四输送带串连设置；所述硅片分片机构的第二输送带与所述硅片输送机构对接；所述硅片输送机构的两侧设有硅片位置校正装置。
2.根据权利要求1所述的硅片插片机用供片装置，其特征在于:所述吹气口通过管路与一供气装置连通。
3.根据权利要求1所述的硅片插片机用供片装置，其特征在于:所述第一输送带倾斜设置。
4.根据权利要求1所述的硅片插片机用供片装置，其特征在于:所述储片盒内容纳有
5.根据权利要求1所述的硅片插片机用供片装置，其特征在于:所述第四输送带水平设置。
6.根据权利要求1所述的硅片插片机用供片装置，其特征在于:所述废硅片收纳盒内容纳有水。
7.根据权利要求1所述的硅片插片机用供片装置，其特征在于:所述硅片位置校正装置设于第四输送带两侧。
8.根据权利要求1所述的硅片插片机用供片装置，其特征在于:所述硅片位置校正装置包括两间隔并平行设立的限位板，每个限位板作用有驱动气缸。
【专利摘要】硅片插片机用供片装置，包括硅片分片机构、硅片输送机构和硅片位置校正装置；所述硅片分片机构包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口；所述硅片输送机构包括至少一个第三输送带和至少一个第四输送带；所述第三输送带和第四输送带串连设置；所述硅片分片机构的第二输送带与所述硅片输送机构对接；所述硅片输送机构的两侧设有硅片位置校正装置。本实用新型采用硅片分片机构连续分片和取片，采用硅片输送机构对硅片进行连续运输，具有插片效率高的优点。硅片位置校正装置可以保证硅片精确对准硅片承载盒。
【IPC分类】H01L31-18, H01L21-677
【公开号】CN204391143
【申请号】CN201520108823
【发明人】邱文良
【申请人】苏州博阳能源设备有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年2月13日