太阳能硅片的水膜喷射设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种太阳能硅片的水膜喷射设备。
【背景技术】
[0002]在太阳能硅片的生产过程中，刻蚀工序在将硅片背表面和周边的PN结去掉的同时需要保证太阳能硅片正面的PN结不被破坏。为了解决这一问题，同时使太阳能硅片具有较好的光学性能，通常会在太阳能硅片表面喷射一层水膜。
[0003]在喷射水膜时也同样存在一些影响水膜质量的因素。水膜在喷射到太阳能硅片正面时往往存在覆盖不完全或水膜过多、过厚的情况，当水膜在太阳能硅片的表面覆盖不完全时容易引起未被覆盖的太阳能娃片上的PN结被破坏，从而导致太阳能娃片外观受影响甚至太阳能硅片的电性不合格等问题；而当太阳能硅片表面的水膜过多、过厚时，容易导致多余的水进入工艺槽引起工艺流程不合格，进而导致刻蚀效果较差，使太阳能硅片产生漏电问题，存在太阳能硅片转换效率低下、质量不合格的问题。
[0004]而镀水膜进料口处的硅片滚动过快或过慢都是影响水膜质量的因素，一方面容易导致太阳能硅片的碎片率升高，另一方面，也容易导致水膜质量降低。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是针对上述的技术现状而提供一种能调节进料口的进料速度、提高水膜质量的太阳能硅片的水膜喷射设备。
[0006]本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种太阳能硅片的水膜喷射设备，包括水膜喷射机，该水膜喷射机的一端具有用于输送太阳能硅片的进料轨道，其特征在于:还包括靠近所述进料轨道设置的输送机构，该输送机构包括支座、活动设置于该支座上的输送单元及与该输送单元驱动连接的电机，所述支座的顶部具有沿宽度方向设置的第一滑槽，所述输送单元的下端具有与该第一滑槽导向配合的第一滑块；所述输送单元包括传动平台、传动轮及传动带，所述传动平台沿长度方向设于支座上，所述传动轮为两组并分别转动设置于传动平台的两端，所述传动带设于传动轮的外周并与传动轮传动连接。
[0007]作为本实用新型的进一步改进，所述输送单元为多个并平行间隔布置于支座上，各输送单元的传动平台两端分别设置有向下布置的支撑件，该支撑件的下端滑动设置于所述的支座上。采用上述结构，可以根据需要调整各输送单元的位置，使之与相应的进料轨道相对应，提高了进料口处的进料精度。
[0008]在上述各方案中，所述传动平台包括本体及设置于该本体两端的连接件，所述本体的两侧分别开设有沿长度布置的第二滑槽，对应的，所述连接件的内侧设置有与第二滑槽导向配合的第二滑块，且所述连接件的侧壁上设置有一能穿过该连接件并与第二滑槽的底部相紧抵的螺杆。采用上述结构，可以根据对输送单元的长度进行调整，通过调节输送长度及电机的运行速度共同对进料速度进行控制。
[0009]作为优选，各所述输送单元的位于同一端的传送轮之间连接有一使各传动轮同步转动的轴杆，所述电机的输出轴通过一传动皮带与上述轴杆驱动连接。采用该结构，整个输送机构只需要一台电机即可，在一定程度上简化了输送机构的结构。
[0010]与现有技术相比，本实用新型的优点在于:本实用新型在水膜喷射机的进料口处设置了输送机构，该输送机构可通过控制电机的运行速度，从而调节传动轮的转动速度，进而调节进料口的进料速度，使硅片的进料速度恰好与镀水膜的工作速率相吻合，获得高质量的水膜；同时，输送机构可通过第一滑槽与第一滑块的配合而调整位置，从而使输送单元与相应的进料轨道相对应，提高进料精确度，降低太阳能硅片的碎片率。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型实施例的部分结构示意图；
[0012]图2为图1中输送机构的结构示意图；
[0013]图3为图2的分解图；
[0014]图4为图2中C部分的放大结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
[0016]如图1?4所示，本实施例的太阳能硅片的水膜喷射设备包括水膜喷射机B及输送机构A，水膜喷射机的一端具有用于输送太阳能硅片的进料轨道BI，输送机构A靠近进料轨道BI设置。具体的，输送机构A包括支座1、活动设置于该支座I上的输送单元2、与该输送单元2驱动连接的电机3及控制器4，电机3受控于控制器4，支座I的顶部具有沿宽度方向设置的第一滑槽11，输送单元2的下端导向设置于第一滑槽11内并与该第一滑槽11相定位连接。
[0017]具体的，输送单元2包括传动平台21、传动轮22及传动带23，传动平台21沿长度方向设于支座I上，传动轮22为两组并分别转动设置于传动平台21的两端，传动带23设于传动轮22的外周并与传动轮22传动连接。本实施例中的输送单元2为多个并平行间隔布置于支座I上，各输送单元2的传动平台21两端分别设置有向下布置的支撑件211，位于同一第一滑槽11上方的支撑件211底部连接有一装配件5，该装配件5的下端面成型有与第一滑槽11导向配合的第一滑块51，支撑件211通过上述装配件5滑动设置于支座I上。采用上述结构，可以根据需要调整各输送单元2的位置，使之与相应的进料轨道相对应，提高了进料口处的进料精度。输送单元2的位于同一端的传送轮22之间连接有一使各传动轮22同步转动的轴杆24，电机3的输出轴通过一传动皮带31与上述轴杆24驱动连接。采用该结构，整个输送机构只需要一台电机即可，在一定程度上简化了输送机构的结构。
[0018]在本实施例中，传动平台21包括本体212及设置于该本体212两端的连接件213，本体212的两侧分别开设有沿长度布置的第二滑槽2121，对应的，连接件213的内侧设置有与第二滑槽2121导向配合的第二滑块2131，且连接件213的侧壁上设置有一能穿过该连接件213并与第二滑槽2121的底部相紧抵的螺杆2132。采用上述结构，可以根据对输送单元2的长度进行调整，通过调节输送长度及电机3的运行速度共同对进料速度进行控制。
[0019]支座I上设置有一硅片的容置盒6，该容置盒6的顶部具有上端口，外侧具有侧端口，底部与水平面之间形成为倾角α，α为30°?45°。采用上述结构，便于放置待进料的硅片，而容置盒的结构设计为取放硅片提供了便利。
[0020]使用本实施例的输送机构时，先根据实际需要通过调节第二滑槽2121与第二滑块2131之间的连接位置驱动输送单元2的长度，然后采用相应长度的传送带23与之相适配；然后通过第一滑槽11与第一滑块51的配合对各输送单元2的位置进行调节，使之与相应的进料轨道相对应；最后，在输送机构运行中，通过控制器4调节电机3的运行速度，对输送机构的输送速度进行实时调节即可。
【主权项】
1.一种太阳能硅片的水膜喷射设备，包括水膜喷射机(B)，该水膜喷射机(B)的一端具有用于输送太阳能硅片的进料轨道(BI)，其特征在于:还包括靠近所述进料轨道(BI)设置的输送机构(A)，该输送机构(A)包括支座(I)、活动设置于该支座(I)上的输送单元(2)及与该输送单元(2)驱动连接的电机(3)，所述支座(I)的顶部具有沿宽度方向设置的第一滑槽(11)，所述输送单元⑵的下端具有与该第一滑槽(11)导向配合的第一滑块(51);所述输送单元(2)包括传动平台(21)、传动轮(22)及传动带(23)，所述传动平台(21)沿长度方向设于支座(I)上，所述传动轮(22)为两组并分别转动设置于传动平台(21)的两端，所述传动带(23)设于传动轮(22)的外周并与传动轮(22)传动连接。
2.根据权利要求1所述的太阳能硅片的水膜喷射设备，其特征在于:所述输送单元(2)为多个并平行间隔布置于支座(I)上，各输送单元(2)的传动平台(21)两端分别设置有向下布置的支撑件(211)，该支撑件(211)的下端滑动设置于所述的支座(I)上。
3.根据权利要求1所述的太阳能硅片的水膜喷射设备，其特征在于:所述传动平台(21)包括本体(212)及设置于该本体(212)两端的连接件(213)，所述本体(212)的两侧分别开设有沿长度布置的第二滑槽(2121)，对应的，所述连接件(213)的内侧设置有与第二滑槽(2121)导向配合的第二滑块(2131)，且所述连接件(213)的侧壁上设置有一能穿过该连接件(213)并与第二滑槽(2121)的底部相紧抵的螺杆(2132)。
4.根据权利要求1或2或3所述的太阳能硅片的水膜喷射设备，其特征在于:各所述输送单元(2)的位于同一端的传送轮(22)之间连接有一使各传动轮(22)同步转动的轴杆(24)，所述电机(3)的输出轴通过一传动皮带(31)与上述轴杆(24)驱动连接。
【专利摘要】一种太阳能硅片的水膜喷射设备，包括水膜喷射机及输送机构，输送机构包括支座、活动设置于该支座上的输送单元、与该输送单元驱动连接的电机，所述支座的顶部具有沿宽度方向设置的第一滑槽，所述输送单元的下端具有与该第一滑槽导向配合的第一滑块。本实用新型在水膜喷射机的进料轨道前设置了输送机构，该输送机构可通过控制电机的运行速度，从而调节传动轮的转动速度，进而调节进料口的进料速度，使硅片的进料速度恰好与镀水膜的工作速率相吻合，获得高质量的水膜；同时，输送机构可通过第一滑槽与第一滑块的配合而调整位置，从而使输送单元与相应的进料轨道相对应，提高进料精确度，降低太阳能硅片的碎片率。
【IPC分类】H01L21-677, H01L31-18
【公开号】CN204516732
【申请号】CN201520291333
【发明人】竺峰, 赵国成
【申请人】宁波富星太阳能有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年5月7日