一种半导体生产线路板上板防尘装置的制作方法

文档序号:13287065阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体生产线路板上板防尘装置,包括操作控制台(1),传送平台,升降装置(3),轨道(4),装板框(5)和报警灯(6),所述传送平台包括上传送平台(21)和下传送平台(22),所述装板框(5)包括多层,每层用来装载线路板,生产上板过程中,在所述操作控制台(1)控制下,所述装板框(5)连同线路板被置于传送平台上,经升降装置(3)垂直升降将每层线路板送至轨道(4),再经轨道(4)水平传送到生产线;其特征在于,所述装板框(5)顶层放置有防尘层(51),所述上板过程从所述装板框最下层所载线路板开始,由下至上逐层上板。

2.根据权利要求1所述的半导体生产线路板上板防尘装置,其特征在于,所述上板过程为,所述装板框(5)连同线路板由升降装置(3)升至上传送平台(21),然后升降装置(3)处于下降模式,由下至上将线路板逐层传送至轨道(4)。

3.根据权利要求2所述的半导体生产线路板上板防尘装置,其特征在于,上板过程完成后,空装板框从下传送平台(22)取出。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的半导体生产线路板上板防尘装置,其特征在于,所述防尘层(51)为防静电气泡袋。

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