高精度朗缪尔探针的制作方法

文档序号:15650909发布日期:2018-10-12 23:08阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种高精度朗缪尔探针,涉及等离子体检测设备技术领域,该高精度朗缪尔探针包括收集器和保护环;所述保护环设置有用于所述收集器贯穿的通孔,所述收集器上套设有隔离套,且所述隔离套位于所述收集器与所述保护环之间;所述隔离套上设置承接部,所述承接部用于承接进入所述收集器与所述隔离套安装缝隙处的羽流污染物,以缓解现有技术中所用的朗缪尔探针中用于收集的收集器与保护环容易导通进而导致收集器丧失工作能力等技术问题。

技术研发人员:贺碧蛟;韩木天;郑鸿儒;凌贵龙;翁惠焱
受保护的技术使用者:北京航空航天大学
技术研发日:2018.07.25
技术公布日:2018.10.12
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