带可旋转托盘的单晶炉的制作方法

文档序号:8025960阅读:151来源:国知局
专利名称:带可旋转托盘的单晶炉的制作方法
技术领域
本实用新型涉及非金属晶体的制造设备,具体指一种单晶炉。
背景技术
单晶炉是生产人工晶体的重要设备。一般晶体的生产过程是将原料混合后,成形、锻烧、熔融,再在单晶炉中拉出单晶。但晶体在原料熔融与晶体生长过程中,常会因原料组分的偏聚而产生熔体老化现象并导致晶体生长失败,严重影响产品的生长成功率。
实用新型内容本实用新型的目的在于提出一种带可旋转托盘的单晶炉,通过该设备可以较方便地克服晶体生长时熔体老化的现象,以提高激光晶体的生长成功率。
本实用新型的一种带可旋转托盘的单晶炉,主要包括一单晶炉,该单晶炉由炉体、上转电机、上升降电机、下升降电机、导轨、螺杆、托盘组成,其特征在于所述托盘被制成一转盘,该转盘由一下转电机驱动。
本实用新型的优点在于采用本实用新型的带可旋转托盘的单晶炉,且通过控制托盘旋转方向与转速,可有效克服晶体生长中的组分偏聚现象。根据不合格品分析报告,采用了本实用新型的设备后,熔体老化现象从原来的50%下降到0。


现结合实施例及其附图对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型的带可旋转坩锅的单晶炉的结构示意图。
图中1升降电机,2上旋转电机,3炉体,4升降拖板,5下旋转电机,6下升降电机,7固定板,8螺杆,9导轨,10托盘,11坩锅,12托盘轴。
具体实施方式
本实用新型的一种带可旋转托盘的单晶炉,主要包括一单晶炉,该单晶炉由炉体3、上转电机2、上升降电机3、下升降电机4、导轨9、螺杆8、托盘10组成,所述托盘10被制成一转盘,该转盘10由一下转电机5驱动。工作时,原料置于铱坩锅11中,放置坩锅的托盘10既可升降,也可旋转。所述下转电机5通过一个控制单元可根据需要设定并控制电机的转速与转动方向及其变化规律,使坩锅按设计要求旋转。
权利要求1.一种带可旋转托盘的单晶炉,主要包括一单晶炉,该单晶炉由炉体、上转电机、上升降电机、下升降电机、导轨、螺杆、托盘组成,其特征在于所述托盘被制成一转盘,该转盘由一下转电机驱动。
专利摘要一种带可旋转托盘的单晶炉,主要包括一单晶炉,该单晶炉由炉体、上转电机、上升降电机、下升降电机、导轨、螺杆、托盘组成,所述托盘被制成一转盘,该转盘由一下转电机驱动。采用本实用新型的带可旋转托盘的单晶炉,且通过控制托盘旋转方向与转速,可有效克服晶体生长中的组分偏聚现象。根据不合格品分析报告,采用了本实用新型的设备后,熔体老化现象从原来的50%下降到0。
文档编号C30B15/30GK2764789SQ20052003975
公开日2006年3月15日 申请日期2005年2月23日 优先权日2005年2月23日
发明者马笑山, 陈健, 陈福恭 申请人:上海中晶企业发展有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1