蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆的制作方法

文档序号:8162679阅读:204来源:国知局
专利名称:蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆。
背景技术
在A1203单晶晶棒(蓝宝石)用生长炉中籽晶杆用来夹持籽晶,但是现有籽晶杆装置具有结构复杂,不易于安装的问题。在籽晶固定具有籽晶固定不牢固,以及籽晶用定位 销固定,出炉后不易取下籽晶的问题,由于籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量产生了极大的影响。发明内容本实用新型的目的是提供一种为获得高质量的A1203单晶晶棒(蓝宝石)提供了支持的蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆。上述的目的通过以下的技术方案实现一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,其组成包括实心上籽晶杆,所述的实心上籽晶杆连接联接杆,所述的联接杆插入空心下籽晶杆内,所述的联接杆前端部与所述的空心下籽晶杆前端部之间装有弹簧,所述的联接杆连接下腔结构,所述的联接杆尾部具有籽晶安装孔。所述的蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,所述的下腔结构一端位于所述的空心下籽晶杆的空腔内,所述的联接杆与所述的空心下籽晶杆之间装有轴承。有益效果I.本实用新型解决了现有籽晶杆装置结构复杂、不易于安装的问题,同时克服了现有技术中籽晶固定不牢固的问题,以及籽晶用定位销固定,出炉后不易取下籽晶的问题,同时防止了籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量的影响。本实用新型的籽晶杆在使用时热变形小,密封性好,对中性强,转动平稳不摆动。


附图I是本产品的结构示意图。
具体实施方式
实施例I :一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,其组成包括实心上籽晶杆7,所述的实心上籽晶杆连接联接杆5,所述的联接杆插入空心下籽晶杆I内,所述的联接杆前端部与所述的空心下籽晶杆前端部之间装有弹簧6,所述的联接杆连接下腔结构4,所述的联接杆尾部具籽晶安装孔2,所述的联接杆与所述的空心下籽晶杆之间装有轴承3。实施例2:实施例I所述的蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,所述的下腔结构一端位于所述的空心下籽晶杆的空腔内。实施例3 实施例I或2所述的蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,在所述的杆体上端设有与设备连接的连接结构,所述杆体具有一纵向贯通的空腔,且位于所述杆体的下端的空腔相对于其上方的空腔呈收缩状。实施例4 实施例I或2所述的蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,由上籽晶杆和下籽晶杆组成,上籽晶杆是实心杆,下籽晶杆是空心管状杆,上籽晶杆的下端带有联接杆,联接杆与下 籽晶杆上端的联接孔配合联接,并用销子穿过联接杆和联接孔,在上籽晶杆和下籽晶杆及联接杆结合部位装有弹簧,在联接杆与下籽晶杆的下腔部分有结构,为了使联接杆运动平稳,方便拆卸润滑作用,下籽晶杆下端带有籽晶安装孔,其上带有定位销孔。
权利要求1.一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,其组成包括实心上籽晶杆,其特征是所述的实心上籽晶杆连接联接杆,所述的联接杆插入空心下籽晶杆内,所述的联接杆前端部与所述的空心下籽晶杆前端部之间装有弹簧,所述的联接杆连接下腔结构,所述的联接杆尾部具有籽晶安装孔。
2.根据权利要求I所述的蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,其特征是所述的下腔结构一端位于所述的空心下籽晶杆的空腔内,所述的联接杆与所述的空心下籽晶杆之间装有轴承。
专利摘要蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆。在Al2O3单晶晶棒(蓝宝石)用生长炉中籽晶杆用来夹持籽晶,但是现有籽晶杆装置具有结构复杂,不易于安装的问题。一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,其组成包括:实心上籽晶杆(7),所述的实心上籽晶杆连接联接杆(5),所述的联接杆插入空心下籽晶杆(1)内,所述的联接杆前端部与所述的空心下籽晶杆前端部之间装有弹簧(6),所述的联接杆连接下腔结构(4),所述的联接杆尾部具有籽晶安装孔(2)。本实用新型用于拉制蓝宝石晶体时夹持籽晶。
文档编号C30B29/20GK202558973SQ201220180068
公开日2012年11月28日 申请日期2012年4月26日 优先权日2012年4月26日
发明者徐雳, 石连升, 肖飞 申请人:哈尔滨晶石光电技术有限公司
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