技术总结
本实用新型公开了一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手，晶圆盒包括盒体和把手，把手俯视大体呈U字形，机械手包括手爪、定位传感器以及锁紧机构，手爪侧视大体呈J字形，定位传感器设置在手爪的非弯钩一侧并与搬运控制器通讯，锁紧机构包括锁紧块、锁紧驱动单元以及锁紧控制器，锁紧块设置在手爪的弯钩一侧，锁紧驱动单元驱动锁紧块上下运动，锁紧块上行以使其下端远离手爪的弯钩自由端或下行以使其下端抵靠在手爪的弯钩自由端。该机械手体积小、结构紧凑、带视觉识别和传感检测功能，并在机械结构上配置有物料锁紧机构。可保证机械手能够准确可靠地抓取晶圆盒，在搬运过程中可避免晶圆盒滑落，有助于实现高效可靠地作业。
技术研发人员：叶磊;戴军;王宏军;林睿;厉茂海
受保护的技术使用者：苏州元谋智能机器人系统有限公司
文档号码：201621015655
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2017.05.10