专利名称：测量掩模设计图形的线宽的方法与系统的制作方法
技术领域：
本发明提供一种测量掩模设计图形的线宽的方法与系统，特别是指一种远端测量掩模设计图形的线宽的方法与系统。
背景技术：
在半导体领域中，各种元件的制作都必须经过一连串的步骤，其中的微影制作是将集成电路布局图(layout)转移至半导体芯片上的重要步骤。一般而言，晶片厂会依据集成电路布局图设计数个掩模设计图形(mask designpattern)，再请求掩模厂依据掩模设计图形来制作掩模，然后经由微影制作将掩模上的图案以一定的比例转移(transfer)到半导体芯片表面的光阻层上。
相同地，在光电(photoelectronic)领域中，各种元件的制作都必须经过一连串的步骤，其中的微影制作是将光电电路布局图(layout)转移至光电基板(例如薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，TFTLCD)的基板或彩色滤光片(Color Filter，CF)的玻璃基板)上的重要步骤。一般而言，光电厂会依光电电路布局图设计数个掩模设计图形(mask design pattern)，再请求掩模厂依据掩模设计图形来制作掩模，然后经由微影制作将掩模上的图案以一定的比例转移(transfer)到光电基板表面的光阻层上。相同的运用在印刷电路板(Printed Circuited Board，PCB)产业亦同。
随着集成电路及光电电路的复杂度与集成度(integration)的不断提升，掩模上的图案亦被设计得越来越小，因此掩模厂在制作掩模时，必须精确地掌握掩模设计图形的线宽(critical dimension)，才能将精密且复杂的掩模设计图形准确无误地呈现于实体掩模上。一般而言，当掩模厂接到订单时，会从客户手上接到掩模设计图形，由于掩模设计图形是根据集成电路布局图或光电电路布局图所设计而成，所以会对应到元件的尺寸以及位置。对某个集成电路布局图或光电电路布局图而言，若是其中有某些元件特别重要，或是布局图中的某些地方的线路配置较为紧密且复杂，则客户在提供掩模厂掩模设计图形时，会一并将这些地方的局部放大图案交给掩模厂，如此掩模厂才可以经由测量这些地方的局部放大图案找出这个掩模设计图形的线宽，然后将这些数据传递给后段的制作人员，以进一步设定制作掩模时的制作条件。
然而，对掩模厂而言，光是只有掩模设计图形以及其关键区域的局部放大图案是不够的，掩模厂虽然可以经由测量关键区域的局部放大图案而得知掩模设计图形的线宽，但是却不晓得关键区域是位在掩模设计图形上的那个位置，所以掩模厂必须先设法在整个掩模设计图形中找出关键区域的位置，这个步骤不仅耗时，而且毕竟掩模厂中负责测量的人员不是掩模设计图形的设计者，所以他所找出的关键区域或测量得的线宽可能无法完全满足设计者的本意，在这种情况下，客户与掩模厂的间就必须经由更多的书信或是电话往返，才能将掩模设计图形设计者的本意正确无误地传达给掩模厂中负责测量的人员，然而这些操作不但造成双方的不便，而且大幅降低整体掩模生产的效率。
发明内容
因此本发明的主要目的的一在于提供一种测量掩模设计图形的线宽的方法及系统，以解决上述问题。
根据本发明，其公开一种测量一掩模设计图形(mask design pattern)的线宽(critical dimension)的方法。该方法包含有建置一服务器，其包含有一测量系统；经由因特网(Internet)建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以将该掩模设计图形传送至该服务器并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。
此外，根据本发明，其还公开一种测量一掩模设计图形的线宽的系统。该系统包含有一服务器，其包含有一测量系统，该测量系统用来测量该掩模设计图形的该线宽；以及一远端终端机，经由因特网耦接于该服务器，用来传送该掩模设计图形至该服务器，并远端操作该测量系统以测量该掩模设计图形的该线宽。
本发明所公开的测量系统与方法，让客户可以利用远端终端机经由因特网登入掩模厂所提供的服务器，进而远端操作测量系统来测量掩模设计图形的线宽，然后掩模厂中的制作人员便直接依据客户的测量结果来制作掩模。因此，利用本发明测量系统与方法就可以大幅地减少公知技术中因为人为沟通不足所造成的人力与时间的浪费。
图1为本发明线宽测量系统的第一实施例的示意图。
图2为本发明线宽测量系统的第二实施例的示意图。
主要元件符号说明100、200线宽测量系统110远端终端机115因特网120服务器125登入系统130测量系统140数据库210主机220防火墙具体实施方式
为了解决公知技术所遭遇的问题，本发明提出一种测量线宽的方法与系统。请参阅图1，图1为本发明第一实施例的线宽测量系统100的示意图。掩模厂本身建置一服务器120，而客户可以使用一远端终端机110，通过因特网(Internet)115与服务器120取得联系。服务器120内部安装一套专门用来测量掩模设计图形的线宽的测量系统130以及一套登入系统125，当客户委托掩模厂制作掩模时，掩模厂会先在登入系统125中设定例如帐号、密码等登入数据，因此，客户便可以经由在远端终端机110上输入此登入数据而登入服务器120。这套登入系统125是用来保护客户的数据，以避免被盗用或窃取，而客户必须在登入系统125中输入正确的登入数据以符合登入系统125的安全规则，如此才可以顺利地登入服务器120。于客户于成功登入服务器120后，便可将掩模设计图形经由因特网115传送至服务器120上，并且在远端终端机110直接远端操作建置于服务器120上的测量系统130，而测量结果可以存储于数据库140中，以供后段的制作人员使用。请注意，登入系统125以及测量系统130都是以网页(web page)介面的形式呈现，因此远端终端机110上只须安装有一般的网页浏览器(web browser)，就可以轻易地连接上登入系统125或是使用测量系统130，而不需要安装其他的的应用程序。经由本案所公开的线宽测量系统100，由于客户本身为掩模设计图形的设计者，所以其可以直接利用测量系统130来快速地找出掩模设计图形中关键区域的位置，并且进一步地远端操作测量系统130来测量其线宽，而不需通过掩模厂中的测量人员来代为寻找或是测量，所以利用本案所提出的方法与系统，双方因沟通不足而产生的失误便可以大幅降低，同时掩模厂也可以省下原本投入于测量的人力资源，因此掩模的生产过程便会更加顺利且大幅降低生产成本。
此外，为了更加保护客户的数据，本案提供另一种实施方式，请参阅图2，图2为本发明第二实施例的线宽测量系统200的示意图。图2与图1的差别在于图2中多了一台主机210，并且在主机210与服务器120的间设置有一道防火墙(firewall)220，而原本位于服务器120内部的测量系统130则移到主机210上。请注意，由于图2与图1中重复出现的元件具有相同的功能，所以于此不多加赘述。在此一实施例中，掩模厂额外建置防火墙220，目的是为了在掩模厂的内部网路与其外部网路的间作一区隔，并且将测量系统130从服务器120上移至位于防火墙220所保护的内部网路的主机210上，利用防火墙220所提供的更严格的安全机制，来进一步限制位于外部网路的使用者存取内部网路中的主机210的权限，如此一来，客户经由登入系统125的认证而登入服务器120后，即可把掩模设计图形经由因特网、服务器120传送到主机210上，然后经由服务器120与主机210的间的指令传递，来远端操作测量系统130，以完成后续寻找关键区域以及测量线宽等操作，而测得的线宽同样可存储于数据库140中以供后段的制作人员使用。
在整套的掩模制作程序中，因客户端与掩模厂的间沟通不足所引起的失误往往是整个制作程序效率不彰的重要因素，所以本案提出一种测量掩模设计图形的线宽的方法与系统，让客户能够简单地利用网页浏览器就能够在客户端的终端机上操作掩模厂所提供的测量系统，来自行找出掩模设计图形中关键区域的位置，并且提供正确的线宽数据。如此一来，不仅可以大大地减少因为双方沟通不足而引起的失误，而且掩模厂更可以省下原本投入于测量的人力资源。
以上所述仅为本发明的优选实施例，凡依本发明权利要求所进行的等效变化与修改，皆应属本发明的涵盖范围。
权利要求
1.一种测量一掩模设计图形的线宽的方法，其包含有建置一服务器，其包含有一测量系统；经由因特网建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以将该掩模设计图形传送至该服务器并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。
2.如权利要求1所述的方法，其还包含有于该服务器中另设置一登入系统；以及使用该登入系统来依据一安全规则决定该远端终端机能否登入该服务器；其中当该远端终端机输入至该登入系统的登入数据符合该安全规则时，该登入系统允许该远端终端机登入该服务器。
3.如权利要求1所述的方法，其还包含有设置一数据库来存储该线宽。
4.如权利要求1所述的方法，其中该测量系统以网页介面呈现。
5.一种测量一掩模设计图形的线宽的系统，其包含有一服务器，其包含有一测量系统，该测量系统用来测量该掩模设计图形的该线宽；以及一远端终端机，经由因特网耦接于该服务器，用来传送该掩模设计图形至该服务器，并远端操作该测量系统以测量该掩模设计图形的该线宽。
6.如权利要求5所述的系统，其中该服务器还包含有一登入系统，用来依据一安全规则以决定该远端终端机能否登入该服务器；其中当该远端终端机输入至该登入系统的登入数据符合该安全规则时，该登入系统允许该远端终端机登入该服务器。
7.如权利要求5所述的系统，其还包含有一数据库，用来存储该线宽。
8.如权利要求5所述的系统，其中该测量系统以网页介面呈现。
9.一种测量一掩模设计图形的线宽的方法，其包含有建置一服务器与一主机，其中该主机设置有一测量系统；提供一安全机制，以确保只有该服务器能够连上该主机以及操作该测量系统；经由因特网建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以通过该服务器将该掩模设计图形传送至该主机并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。
10.如权利要求9所述的方法，其中该安全机制由一防火墙所提供。
11.如权利要求9所述的方法，其还包含有于该服务器中设置一登入系统；以及使用该登入系统来依据一安全规则决定该远端终端机能否登入该服务器；其中当该远端终端机输入至该登入系统的登入数据符合该安全规则时，该登入系统允许该远端终端机登入该服务器。
12.如权利要求9所述的方法，其还包含有设置一数据库来存储该线宽。
13.如权利要求9所述的方法，其中该测量系统以网页介面呈现。
14.一种测量一掩模设计图形的线宽的系统，其包含有一服务器；一主机，其经由一安全机制耦接于该服务器，且该主机上设置有一测量系统，其中该测量系统用来测量该掩模设计图形的该线宽，以及该安全机制用来确保只有该服务器能够连上该主机以及操作该测量系统；以及一远端终端机，经由因特网耦接于该服务器，用来通过该服务器将该掩模设计图形传送至该主机并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。
15.如权利要求14所述的方法，其中该安全机制为一防火墙。
16.如权利要求14所述的系统，其中该服务器包含有一登入系统，用来依据一安全规则以决定该远端终端机能否登入该服务器；其中当该远端终端机输入至该登入系统的登入数据符合该安全规则时，该登入系统允许该远端终端机登入该服务器。
17.如权利要求14所述的系统，其还包含有一数据库，用来存储该线宽。
18.如权利要求14所述的系统，其中该测量系统以网页介面呈现。
全文摘要
本发明提供一种测量一掩模设计图形的线宽的方法与系统。该方法包含有建置一服务器，其包含有一测量系统；经由因特网建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以将该掩模设计图形传送至该服务器并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。
文档编号G03F1/68GK1797730SQ20041008202
公开日2006年7月5日 申请日期2004年12月22日 优先权日2004年12月22日
发明者何明丰, 陈华人 申请人:盟图科技股份有限公司