专利名称：有机溶剂再生系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种再生及循环利用碳酸酯(carbonate)类有机溶剂的有机溶剂再生系统，所述碳酸酯(carbonate)类有机溶剂用于去除制造平板显示器用基板的过程中成形于基板上的感光薄膜。
背景技术：
一般情况下，用于平板显示器(Flat Panel Display)、半导体晶板、液晶显示器光掩膜玻璃等领域的基板，要经过光致抗蚀涂覆(Photoresist coatingP/R)、曝光(Expose)、显影(Develop)、蚀刻(Etching)、剥离(Stripping)、清洗(Cleaning)、干燥(Dry)等工艺流程进行处理。而剥离设备一般使用碳酸酯类溶剂作为剥离液，而且最好使用包含碳酸乙烯酯(Ethylene CarbonateEC)的溶剂。
即，在液晶显示器制造工程中，将碳酸乙烯酯作为剥离剂，以去除光阻材料。
为此，特别需要对包含于碳酸乙烯酯等剥离液中的有机物进行分解，并对此进行再循环利用，但是目前还没有有效的方法解决这一问题。
发明内容
本发明的目的是弥补上述不足，提供一种有机溶剂再生系统，以在制造平板显示器用基板过程中，最大限度地提高包含于碳酸乙烯酯等剥离液中的有机物的分解能力。
为实现上述目的，本发明采取了如下技术方案。本发明有机溶剂再生系统包括可储存有机溶剂、并设置有可使有机溶剂注入或排出的至少一个管道的第一储液罐；结合于所述第一储液罐，用于向储存于所述第一储液罐内的有机溶剂照射紫外线的紫外线照射器；连接于所述第一储液罐，用于向所述第一储液罐内部注入氧气，使所述氧气与所述紫外线发生反应，以分解有机物的氧气注入器。
本发明还包括邻接于所述第一储液罐，通过管道与所述第一储液罐连接，用于向第一储液罐内注入或从第一储液罐内排出有机溶剂，以临时储存有机溶剂的第二储液罐。
所述管道上设置有阀门。
所述管道上设置有用于输送有机溶剂的泵。
由于本发明能使包含于储液罐内有机溶剂中的有机物与紫外线及氧气(O2)发生反应而分解，从而可再生作为剥离剂的碳酸乙烯酯，并可再循环利用，进而降低了平板显示器用基板的制造成本。
图1是本发明实施例1的结构示意图；图2是本发明实施例2的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明进行更为详细的说明。
图1是本发明有机溶剂再生系统实施例1的结构示意图。如图1所示，本发明有机溶剂再生系统，设置有可储存有机溶剂的第一储液罐1；设置于所述第一储液罐1上部的紫外线照射器3；用于向所述第一储液罐1供给氧气(O2)的氧气注入器5。
储存于所述第一储液罐1的剥离液为碳酸酯类溶剂，并优先使用碳酸乙烯酯(Ethylene CarbonateEC)。
所述的第一储液罐1上连接有可使碳酸乙烯酯注入或排出的管道7、9。所述管道7、9用于输送碳酸乙烯酯，即，将已在剥离工艺中被使用、并包含有机物的碳酸乙烯酯供应到第一储液罐1，或者将通过紫外线的照射等过程而发生反应、从而去除掉有机物的碳酸乙烯酯排出，以使其能够再次循环使用。
所述的管道7、9上分别设置有用于阻断碳酸乙烯酯的注入和排出的阀门11、13。所述阀门11、13既可以通过电气控制，也可通过手动控制，这些可根据设计要求自由选择。
并且，所述的紫外线照射器3设置于所述第一储液罐1的内侧，并包括用于发出紫外线的紫外线灯3a。
所述的紫外线照射器3的作用是向储存于第一储液罐1中的碳酸乙烯酯照射紫外线，以分解包含于其中的有机物。因此，所述紫外线照射器3的结构并没有特殊限制，只要能向碳酸乙烯酯照射紫外线即可采用。
另外，所述的第一储液罐1的一侧设置有氧气注入器5，以向第一储液罐1内部注入氧气。所述氧气注入器5通过管道连接于所述第一储液罐1，用于向第一储液罐1内部供给氧气。
对所述氧气注入器5的结构没有特殊限制，只要能发生氧气，并与储存于第一储液罐1内的碳酸乙烯酯混合，有助于去除有机物即可采用。
本发明中，所述的紫外线照射器3、氧气注入器5和阀门11、13也可以通过其它控制器进行控制(未图示)。采用这种方式，可以提高碳酸乙烯酯的再生处理效率。
如上所述，本发明中用于回收碳酸乙烯酯的回收装置，通过管道7将碳酸乙烯酯溶液注入到所述的第一储液罐1。并且，通过紫外线照射器3向所述碳酸乙烯酯照射紫外线。此外，在照射紫外线的同时，通过氧气注入器5向储存于所述第一储液罐1的碳酸乙烯酯供给氧气。
此时，由紫外线照射器3照射的紫外线(UV)与氧气发生反应，转化为不稳定的臭氧，而不稳定的臭氧形成氧自由基(oxygenradical)，与有机物发生反应，使有机物氧化断链，从而得到可再循环利用的碳酸乙烯酯。其反应式如下所示
如上所述，本发明的碳酸乙烯酯与氧气反应，在紫外线的作用下分解有机物，从而成为可再利用状态。所述的碳酸乙烯酯通过管道9排出，可再用作剥离剂，从而可降低平板显示器用基板的制造成本。
图2是本发明实施例2的结构示意图，用以说明有机溶剂再生系统。本发明的实施例2仅对不同于实施例1的部分进行了说明，对相同的部分不作重复说明。
如图2所示，本发明有机溶剂再生系统包括用于储存碳酸乙烯酯，并在紫外线的照射下分解有机物的第一储液罐1(与实施例1中的编号相同)和与所述第一储液罐1相隔一定距离而设置的第二储液罐51。所述的第二储液罐51，通过管道53、55连接于第一储液罐1，用于临时储存碳酸乙烯酯。所述的管道53、55上设置有用以阻断碳酸乙烯酯在第一储液罐1和第二储液罐51之间流通的阀门57、59。所述的阀门57、59可采用普通的阀门。为了便于说明，本发明图示的是手动阀门。
用于连接所述的第一储液罐1和第二储液罐51的管道53、55上设置有用于输送碳酸乙烯酯溶液的泵P。所述的泵P，可采用一般的泵。
本发明的实施例2中，所述第二储液罐51上设置有可使碳酸乙烯酯注入或排出的管道7、9及阀门11、13。所述管道7、9及阀门11、13的功能与实施例1中的管道及阀门的功能相同。为了便于说明，采用了与实施例1相同的编号。
本发明的实施例2所采用的通过氧气及紫外线分解包含于碳酸乙烯酯的有机物的结构及方法与实施例1相同。与实施例1比较，实施例2具有更多的实施方式。实施例2中，通过管道连接有第二储液罐51，因而可减少由设备的安装位置或场地大小所引起的影响。此外，与实施例1比较，实施例2中的第二储液罐51可临时储存碳酸乙烯酯，起到缓冲罐的作用，因此可以连续再生处理碳酸乙烯酯。
权利要求
1.一种有机溶剂再生系统，其特征在于它包括可储存有机溶剂、并设置有可使有机溶剂注入或排出的至少一个管道的第一储液罐；结合于所述第一储液罐，用于向储存于所述第一储液罐内的有机溶剂照射紫外线的紫外线照射器；连接于所述第一储液罐，用于向所述第一储液罐内注入氧气，使氧气与所述紫外线发生反应，以分解有机物的氧气注入器。
2.根据权利要求1所述的一种有机溶剂再生系统，其特征在于它还包括邻接于所述第一储液罐，通过管道与所述第一储液罐连接，用于向第一储液罐内注入或从第一储液罐内排出有机溶剂，以临时储存有机溶剂的第二储液罐。
3.根据权利要求1或2所述的一种有机溶剂再生系统，其特征在于所述管道上设置有阀门。
4.根据权利要求1或2所述的一种有机溶剂再生系统，其特征在于所述管道上设置有用于输送有机溶剂的泵。
全文摘要
本发明公开了一种可再生及循环利用碳酸酯(carbonate)类有机溶剂的有机溶剂再生系统，所述碳酸酯(carbonate)类有机溶剂用于去除制造平板显示器用基板过程中成形于基板上的感光薄膜。本发明的有机溶剂再生系统包括可储存有机溶剂、并设置有可使有机溶剂注入或排出的多个管道的第一储液罐；结合于所述第一储液罐，并用于向储存于所述第一储液罐内的有机溶剂照射紫外线的紫外线照射器；连接于所述第一储液罐，并用于向所述第一储液罐内部注入氧气，使所述氧气与所述紫外线发生反应，以分解有机物的氧气注入器。
文档编号G03F7/42GK1821885SQ20061000743
公开日2006年8月23日 申请日期2006年2月10日 优先权日2005年2月14日
发明者朴庸硕, 李硕周 申请人:显示器生产服务株式会社