专利名称：：感光性树脂组合物的制作方法
技术领域：
：本发明涉及感光性树脂组合物。
背景技术：
：液晶显示装置或触摸面板等中构成显示装置的滤色器基板和阵列基板之间设置有隔离件以保持两个基板的间隔。该隔离件使用玻璃珠、塑料珠等球形粒子。然而，如果使用这样的球形粒子，该球形粒子在玻璃基板上会无秩序地分散，所以会损伤TFT元件或电极等，另外，如果该球形粒子存在于透过像素部内，由于入射光的散射，液晶显示元件的对比度会降低。因此，提出代替使用球形粒子而由感光性树脂组合物形成隔离件的方案。根据该方法，可以在任意场所形成隔离件，所以可以解决上述的问题点。作为这样的感光性树脂组合物，已知有含有具有羧基和縮水甘油醚基的丙烯酸共聚物作为粘合剂树脂的隔离件形成用组合物(专利文献1)，其中公开了只要使用该组合物，就可以得到耐溶剂性、耐热性出色的隔离件图案。专利文献l:特开平11一133600号公报不过，根据本发明人的研究可知，含有以脂肪族单环环氧基作为构成成分的树脂的感光性树脂组合物，其保存时的粘度上升很大，而所述以脂肪族单环环氧基作为构成成分的树脂据认为比以縮水甘油醚基作为构成成分的树脂稳定性更良好。另外，也希望开发出能形成具有微细线宽的图案的感光性树脂组合物。
发明内容本发明的目的在于，提供保存时的粘度小且可以形成具有微细线宽的图案的感光性树脂组合物。本发明人为了得到可以解决上述课题的感光性树脂组合物而进行了研究，结果发现，含有某种二元系共聚物的感光性树脂组合物在保存时的粘度上升小，可以形成具有微细线宽的图案。艮口，本发明提供以下的[1][5].一种感光性树脂组合物，含有粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)，粘合剂树脂(A)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(Al)和脂肪族多环环氧化合物(A2)的共聚物。关于[l]所述的感光性树脂组合物，脂肪族多环环氧化合物(A2)是在脂肪族多环化合物的环上具有环氧基，且具有不饱和键的化合物。关于[1]或者[2]所述的感光性树脂组合物，具有脂肪族多环环氧基的单体(A2)是从用式(I)表示的化合物和用式(II)表示的化合物组成的组中选择的至少一种化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>[在式(I)和式(II)中，R分别独立地表示氢原子或可以用羟基取代的碳数为14的烷基，X分别独立地表示单键或可以含有杂原子的碳数为16的亚烷基。]使用[1][3]中任意一项所述的感光性树脂组合物形成的图案。含有[4]所述的图案的液晶显示装置。具体实施例方式以下，详细说明本发明。本发明的感光性树脂组合物含有粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)、和光聚合引发剂(C)、进而还任意含有其他添加剂(F)、溶剂(D)。本发明的感光性树脂组合物，优选主要用作图案形成材料，粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)和光聚合引发剂(C)、任意的其他添加剂(F)优选溶解或分散于溶剂(D)中。本发明的感光性树脂组合物中使用的粘合剂树脂(A)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(Al)和具有脂肪族多环式环氧基的单体(A2)的共聚物，优选具有碱溶解性。作为上述的不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(Al)，具体可以举出例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等不饱和一元羧酸类；马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等不饱和二元羧酸类；以及上述不饱和二元羧酸类的酸酐；琥珀酸单[2—(甲基)丙烯酰氧乙基頂旨、邻苯二酸单[2—(甲基)丙烯酰氧乙基]酯等2元以上的多元羧酸的不饱和单[2—(甲基)丙烯酰氧垸基]酯类；a—(羟基甲基)丙烯酸之类的在同一分子中含有羟基和羧基的不饱和丙烯酸酯类等。其中，从共聚反应性、相对于碱水溶液的溶解性高的观点出发，优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。它们可以单独使用，还可以组合两种以上使用。上述的脂肪族多环环氧化合物(A2)是在脂肪族多环化合物的环上具有环氧基的化合物，上述的脂肪族多环环氧化合物(A2)优选是在脂肪族多环化合物的环上具有环氧基，且具有不饱和键的化合物。作为该脂肪族多环化合物，例如可以举出双环戊烷、三环癸烷、降冰片烷、异降冰片烷、双环辛烷、双环壬垸、双环十一烷、三环十一垸、双环十二烷、三环十二烷等，优选碳数为812的化合物，更优选从用式(I)表示的化合物和用式(II)表示的化合物构成的组中选择的至少一种化合物。在式(I)和式(II)中，R分别独立地表示氢原子或可以用羟基取代的碳数14的烷基。X分别独立地表示单键或可以含有杂原子的碳数16的亚烷基。作为R，具体可以举出氢原子，甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等烷基，羟基甲基、l一羟基乙基、2—羟基乙基、1一羟基正丙基、2—羟基正丙基、3—羟基正丙基、l一羟基异丙基、2—羟基异丙基、l一羟基正丁基、2—羟基正丁基、3—羟基正丁基、4一羟基正丁基等含有羟基的烷基。其中，优选的可以举出氢原子、甲基、羟基甲基、l一羟基乙基、2—羟基乙基，更优选的可以举出氢原子、甲基。作为X，具体可以举出单键，亚甲基、亚乙基、亚丙基等亚垸基，氧亚甲基、氧亚乙基、氧亚丙基、硫亚甲基、硫亚乙基、硫亚丙基、氨基亚甲基、氨基亚乙基、氨基亚丙基等含有杂原子的亚烷基等。其中，优选的可以举出单键、亚甲基、亚乙基、氧亚甲基、氧亚乙基，更优选的可以举出单键、氧亚乙基。作为用式(I)表示的化合物，可以举出用式(I一l)式(1—15)表示的化合物等，优选的可以举出式(I一l)、式(I一3)、式(I一5)、式(I一7)、式(I一9)、式(I一ll)式(1—15)，更优选的可以举出(I—1)、式(I一7)、式(I一9)、(1—15)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>作为用式(II)表示的化合物，可以举出用式(II一l)式(II—15)表示的化合物等，优选的可以举出式(n—i)、式(u—3)、式(n—5)、式(n—7)、式(n—9)、式(n—ii)式(n—i5)，更优选的可以举出(n—i)、式(n—7)、式(n—9)、(u—i5)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>从用式(i)表示的化合物和用式(n)表示的化合物构成的组中选择的至少一种化合物可以分别单独使用，还可以以任意的比率混合。在混合时，其混合比率用摩尔比率表示优选式(I):式(II)为5:9595:5，更优选IO:9090:10，进一步优选为20:8080:20。在本发明中使用的粘合剂树脂(A)是(Al)和(A2)的共聚物。在本发明中使用的粘合剂树脂(A)是使(Al)和(A2)共聚而得到的共聚物，从各化合物衍生的构成成分的比率相对于构成上述共聚物的构成成分的总摩尔数以摩尔分数计优选在以下的范围内。从(Al)衍生的构成单元575摩尔％从(A2)衍生的构成单元2595摩尔％另外，上述的构成成分的比率如果在以下的范围内则更优选。从(Al)衍生的构成单元1070摩尔％从(A2)衍生的构成单元3090摩尔％上述的构成成分的比率如果在上述的范围内，存在感光性树脂组合物的保存稳定性、从该组合物得到的图案的清晰度、显影性、耐溶剂性、耐热性和机械强度变得良好的趋势。上述的粘合剂树脂(A)例如可以参考文献《高分子合成的实验法》(大津隆行著发行所(株)化学同人第一版第一次印刷1972年3月1日发行)中记载的方法以及在该文献中记载的引用文献来制造。具体而言，将构成共聚物的单元(Al)和(A2)的规定量、聚合引发剂和溶剂放入到反应容器中，用氮来取代氧，由此在没有氧的条件下，搅拌、加热、保温，由此得到聚合物。其中，得到的聚合物可以直接使用反应后的溶液，还可以使用浓縮或稀释的溶液，还可以使用通过再沉淀等方法作为固体(粉状物体)取出的物质。上述的粘合剂树脂(A)的聚苯乙烯换算的重均分子量优选3000100000，更优选500050000。粘合剂树脂(A)的重均分子量如果在上述范围内，存在涂布性变得良好的趋势，另外，显影时难以产生"膜减少(膜減D)"，进而显影时非像素部分的脱落性(抜m生)良好，清晰度良好的趋势，所以优选。粘合剂树脂(A)的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.11.6，更优选为1.24.0。分子量分布如果在上述范围内，存在显影性良好、清晰度出色的趋势，所以优选。在本发明的感光性树脂组合物中使用的粘合剂树脂(A)的含量相对于感光性树脂组合物中的固体成分(是指组合物中的成分当中25"C下为固体的成分)以质量分数计优选为590质量％，更优选为1070质量％。粘合剂树脂(A)的含量如果在上述范围内，在显影液中的溶解性充分，难以在非像素部分的基板上产生显影残渣，另外在显影时难以产生曝光部的像素部分的"膜减少"，非像素部分的脱落性良好，所以优选。作为本发明的感光性树脂组合物中含有的光聚合性化合物(B)，可以举出单官能单体、二官能单体、其他三官能以上的多官能单体。作为单官能单体的具体例子，可以举出丙烯酸壬基苯基卡必醇酯、丙烯酸2—羟基一3—苯氧基丙酯、丙烯酸2—乙基己基卡必醇酯、丙烯酸2一羟乙酯、N—乙烯基吡咯垸酮等。作为二官能单体的具体例子，可以举出二(甲基)丙烯酸l,6—己二醇酯、二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸三乙二醇酯、双酚A的双(丙烯酰氧乙基)醚、二(甲基)丙烯酸3—甲基戊二醇酯等。作为其他三官能以上的多官能单体的具体例子，可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应产物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应产物、分子内l个以上的己内酯改性的三官能以上的多官能单体、分子内3个以上的烯化氧改性的三官能以上的多官能单体等。其中，在本说明书中，己内酯改性是指在(甲基)丙烯酸酯化合物的醇来源部位和(甲基)丙烯酰氧基之间导入己内酯的开环体或开环聚合物。另外，烯化氧改性是指在(甲基)丙烯酸酯化合物的醇来源部位和(甲基)丙烯酰氧基之间导入亚烷基二醇或者其脱水縮合物以及烯化氧的开环体、或者其开环聚合物。作为分子内l个以上的己内酯改性的三官能以上的多官能单体，例如可以举出KAYARADDPCA—20、KAYARADDPCA—40、KAYARADDPCA—60、KAYARADDPCA—120(均为日本化药(株)公司制)、NK酯AD—TMP—4CL(新中村化学工业(株)制)等市售品。在分子内3个以上的烯化氧改性的三官能以上的多官能单体当中，作为优选的烯化氧，可以举出环氧乙烷、环氧丙烷。其中，优选使用二官能以上的多官能单体。这些光聚合性化合物(B)可以单独使用，还可以并用两种以上。光聚合性化合物(B)的含量相对于粘合剂树脂(A)和光聚合性化合物(B)的总量以质量分数计优选为190质量％，更优选为1080质量％。光聚合性化合物(B)的含量如果在上述范围内，存在像素部的强度或平滑性、可靠性变得良好的趋势，所以优选。作为在本发明的感光性树脂组合物中含有的光聚合引发剂(c)，优选使用苯乙酮系化合物、联二咪唑系化合物、肟系化合物、三嗪系化合物、酰基膦化氧系化合物。在这些光聚合引发剂(C)中并用光聚合引发助剂(c一o，由此得到的感光性树脂组合物的感度更高，所以如果使用其形成图案，可以提高图案的生产率，所以优选。作为上述的苯乙酮系化合物，例如可以举出二乙氧基苯乙酮、2—羟基一2—甲基一1一苯基丙烷一1一酮、苄基二甲基縮酮、2—羟基一1一[4—(2—羟基乙氧基)苯基]一2—甲基丙垸一1一酮、l一羟基环己基苯基酮、2—甲基一l一(4—甲基硫苯基)一2—吗啉代丙垸一l一酮、2—苄基一2一甲基氨基一l一(4—吗啉代苯基)丁烷一l一酮、2—(2—甲基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(3—甲基苄基)一2—二甲基氨基一l一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(4一甲基苄基)—2—二甲基氨基—l一(4一吗啉代苯基)—丁酮、2—(2—乙基苄基)一2—二甲基氨基一1—(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—丙基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—丁基苄基)一2—二甲基氨基一l一(4—吗啉代苯基)一丁酮、2—(2，3—二甲基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4—吗啉代苯基)一丁酮、2—(2，4一二甲基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—氯苄基)一2—二甲基氨基一l一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—溴苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(3—氯苄基)—2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(4一氯苄基)一2一二甲基氨基一l一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(3—溴苄基)一2—二甲基氨基一l一(4—吗啉代苯基)一丁酮、2—(4—溴苄基)一2—二甲基氨基一l一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—甲氧基苄基)一2—二甲基氨基一l一(4—吗啉代苯基)一丁酮、2—(3—甲氧基苄基)一2一二甲基氨基一1—(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(4一甲氧基苄基)一2—二甲基氨基一l一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—甲基一4一甲氧基苄基)一2—二甲基氨基一1—(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—甲基一4一溴苄基)一2—二甲基氨基一i一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—溴一4—甲氧基苄基)一2—二甲基氨基一1_(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—羟基一2—甲基一1一[4一(l一甲基乙烯基)苯基]丙烷一l一酮的低聚物等。作为上述的联二咪唑化合物，例如可以举出2，2'—双(2—氯苯基)—4，4，，5，5，一四苯基联二咪唑、2，2，一双(2，3—二氯苯基)一4，4'，5，5'—四苯基联二咪唑(例如，参照特开平6—75372号公报、特开平6—75373号公报等)、2，2，一双(2—氯苯基)一4，4，，5，5，一四苯基联二咪唑、2，2，一双(2—氯苯基)一4，4，，5，5，一四(垸氧基苯基)联二咪唑、2，2，_双(2—氯苯基)一4，4'，5，5，一四(二烷氧基苯基)联二咪唑、2，2'_双(2—氯苯基)一4，4'，5，5'—四(三烷氧基苯基)联二咪唑(例如，参照特公昭48—38403号公报、特开昭62—174204号公报等)、4，4'，5，5'—位的苯基被垸氧基碳酰基取代的咪唑化合物(例如，参照特开平7—109H号公报等)等。优选的可以举出2，2，一双(2—氯苯基)一4，4，，5，5，一四苯基联二咪唑、2，2，一双(2，3—二氯苯基)一4，4，，5，5，一四苯基联二咪唑。作为上述的肟化合物，例如可以举出O—乙氧基羰基一a—氧基亚氨基一1一苯基丙烷一1一酮、用式(3)表示的化合物、用式(4)表示的化合物等。作为上述的三嗪系化合物，例如可以举出2，4一双(三氯甲基)一6—(4一甲氧基苯基)一1，3，5—三嗪、2,4—双(三氯甲基)一6—(4—甲氧基萘基)一1，3，5—三嗪、2，4一双(三氯甲基)一6—胡椒基一1，3，5—三嗪、2，4—双(三氯甲基)一6—(4一甲氧基苯乙烯基)一1，3，5—三嗪、2,4—双(三氯甲基)一6—[2—(5—甲基呋喃一2—基)乙烯基]_1，3，5—三嗪、2，4一双(三氯甲基)_6—[2—(呋喃一2—基)<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>乙烯基]一l，3，5—三嗪、2，4—双(三氯甲基)一6—[2—(4—二乙基氨基一2—甲基苯基)乙烯基]一l，3，5—三嗪、2，4—双(三氯甲基)一6—[2—(3，4一二甲氧基苯基)乙烯基]一1，3，5—三嗪等。作为上述的酰基膦化氧系化合物，例如可以举出2，4，6—三甲基苯甲酰基二苯基膦化氧等。另外，只要是不损坏本发明的效果的程度，还可以并用在该领域中常用的光聚合引发剂等，作为该光聚合引发剂，例如可以举出苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、噻吨酮系化合物、蒽系化合物等。更具体地可以举出如下所述的化合物，可以分别单独使用它们，还可以组合使用两种以上。作为上述的苯偶姻系化合物，例如可以举出苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚等。作为上述的二苯甲酮系化合物，例如可以举出二苯甲酮、o—苯酰苯甲酸甲酯、4—苯基二苯甲酮、4一苯甲酰一4'一甲基二苯基硫化物、3，3，，4，4，一四(过氧叔丁基羰基)二苯甲酮、2，4，6—三甲基二苯甲酮等。作为上述的噻吨酮系化合物，例如可以举出2—异丙基噻吨酮、4一异丙基噻吨酮、2，4一二乙基噻吨酮、2，4一二氯噻吨酮、l一氯一4—丙氧基噻吨酮等。作为上述的蒽系化合物，例如可以举出9，IO—二甲氧基蒽、2—乙基—9，10—二甲氧基蒽、9，10—二乙氧基蒽、2—乙基一9，10—二乙氧基蒽等。除此之外，作为光聚合引发剂还例示有10—丁基一2—氯吖啶酮、2一乙基蒽醌、偶苯酰、9，IO—菲醌、樟脑醌、苯基乙醛酸甲酯、二茂钛等。另外，具有可以引起链转移的基团的光聚合引发剂，可以使用在特表2002—544205号公报中记载的光聚合引发剂。作为上述的具有可以引起链转移的基团的光聚合引发剂，例如可以举出下述式(5)(10)的光聚合引发剂。另外，可以光和/或热阳离子聚合引发剂。光和/或热阳离子聚合引发剂还可以使用由鎗阳离子和源自路易斯酸的阴离子构成的物质。作为上述鎗阳离子的具体例子，可以举出二苯基碘鎗、双(对甲苯基)碘鐺、双(对叔丁基苯基)碘鎗、双(对辛基苯基)碘鎗、双(对十八垸基苯基)碘総、双(对辛基氧基苯基)碘錄、双(对十八烷基氧基苯基)碘鑰、苯基(对十八垸基氧基苯基)碘鎗、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鐵、三苯基锍、三(对甲苯基)锍、三(对异丙基苯基)锍、三(2，6<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>一二甲基苯基)锍、三(对叔丁基苯基)锍、三(对氰基苯基)锍、三(对氯苯基)锍、二甲基(甲氧基)锍、二甲基(乙氧基)锍、二甲基(丙氧基)锍、二甲基(丁氧基)锍、二甲基(辛氧基)锍、二甲基(十八垸氧基)锍、二甲基(异丙氧基)锍、二甲基(叔丁氧基)锍、二甲基(环戊氧基)锍、二甲基(环己氧基)锍、二甲基(氟甲氧基)锍、二甲基(2一氯乙氧基)锍、二甲基(3—溴丙氧基)锍、二甲基(4一氰基丁氧基)锍、二甲基(8—硝基辛氧基)锍、二甲基(18—三氟甲基十八烷氧基)锍、二甲基(2—羟基异丙氧基)锍、或者二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍等。作为优选的鑰阳离子，可以举出双(对甲苯基)碘鎗、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎗、双(对叔丁基苯基)碘鎗、三苯基锍或者三(对叔丁基苯基)锍等。作为上述源自路易斯酸的阴离子的具体例子，可以举出六氟磷酸盐、六氟砷酸盐、六氟锑酸盐、或者四(五氟苯基)硼酸盐等。作为优选的源自路易斯酸的阴离子，可以举出六氟锑酸盐或者四(五氟苯基)硼酸盐。上述的鎗阳离子和源自路易斯酸的阴离子可以任意组合。作为阳离子聚合引发剂的具体例子，可以举出二苯基碘鐺六氟磷酸盐、双(对甲苯基)碘鑰六氟磷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鑰六氟磷酸盐、双(对辛基苯基)碘錄六氟磷酸盐、双(对十八烷基苯基)碘鎗六氟磷酸盐、双(对辛基氧基苯基)碘鐺六氟磷酸盐、双(对十八烷基氧基苯基)碘鎗六氟磷酸盐、苯基(对十八垸基氧基苯基)碘鎗六氟磷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎗六氟磷酸盐、甲基萘基碘鎿六氟磷酸盐、乙基萘基碘鐺六氟磷酸盐、三苯基锍六氟磷酸盐、三(对甲苯基)锍六氟磷酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟磷酸盐、三(2，6—二甲基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟磷酸盐、三(对氯苯基)锍六氟磷酸盐、二甲基萘基锍六氟磷酸盐、二乙基萘基锍六氟磷酸盐、二甲基(甲氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(乙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(丁氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(辛氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(异丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(环戊氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(环己氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(2—氯乙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(3—溴丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(4一氰基丁氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(8—硝基辛氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(18—三氟甲基十八烷氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(2—羟基异丙氧基)锍六氟磷酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍六氟磷酸盐；二苯基碘鐵六氟砷酸盐、双(对甲苯基)碘鎗六氟砷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鐵六氟砷酸盐、双(对辛基苯基)碘鎗六氟砷酸盐、双(对十八垸基苯基)碘鑰六氟砷酸盐、双(对辛基氧基苯基)碘鐺六氟砷酸盐、双(对十八烷基氧基苯基)碘鎗六氟砷酸盐、苯基(对十八烷基氧基苯基)碘鎗六氟砷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎗六氟砷酸盐、甲基萘基碘鎗六氟砷酸盐、乙基萘基碘鑰六氟砷酸盐、三苯基锍六氟砷酸盐、三(对甲苯基)锍六氟砷酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟砷酸盐、三(2，6—二甲基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟砷酸盐、三(对氯苯基)锍六氟砷酸盐、二甲基萘基锍六氟砷酸盐、二乙基萘基锍六氟砷酸盐、二甲基(甲氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(乙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(丁氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(辛氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(异丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(环戊氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(环己氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(2—氯乙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(3—溴丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(4一氰基丁氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(8—硝基辛氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(18—三氟甲基十八烷氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(2—羟基异丙氧基)锍六氟砷酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍六氟砷酸盐；二苯基碘鎗六氟锑酸盐、双(对甲苯基)碘鎗六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鑰六氟锑酸盐、双(对辛基苯基)碘鐵六氟锑酸盐、双(对十八垸基苯基)碘鑰六氟锑酸盐、双(对辛基氧基苯基)碘鎗六氟锑酸盐、双(对十八烷基氧基苯基)碘鑰六氟锑酸盐、苯基(对十八垸基氧基苯基)碘鎿六氟锑酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鑰六氟锑酸盐、甲基萘基碘鑰六氟锑酸盐、乙基萘基碘錄六氟锑酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、三(对甲苯基)锍六氟锑酸盐、三(对异丙基苯基)锍六氟锑酸盐、三(2，6—二甲基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对氰基苯基)锍六氟锑酸盐、三(对氯苯基)锍六氟锑酸盐、二甲基萘基锍六氟锑酸盐、二乙基萘基锍六氟锑酸盐、二甲基(甲氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(乙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(丁氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(辛氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(异丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(环戊氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(环己氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(2—氯乙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(3—溴丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(4一氰基丁氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(8—硝基辛氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(18—三氟甲基十八烷氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(2—羟基异丙氧基)锍六氟锑酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍六氟锑酸盐；二苯基碘鑰四(五氟苯基)硼酸盐、双(对甲苯基)碘鐡四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鑰四(五氟苯基)硼酸盐、双(对辛基苯基)碘鎿四(五氟苯基)硼酸盐、双(对十八垸基苯基)碘鐵四(五氟苯基)硼酸盐、双(对辛基氧基苯基)碘鑰四(五氟苯基)硼酸盐、双(对十八烷基氧基苯基)碘鑰四(五氟苯基)硼酸盐、苯基(对十八烷基氧基苯基)碘鎗四(五氟苯基)硼酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鑰四(五氟苯基)硼酸盐、甲基萘基碘鎗四(五氟苯基)硼酸盐、乙基萘基碘鐵四(五氟苯基)硼酸盐、三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对甲苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对异丙基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(2，6—二甲基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对氰基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对氯苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基萘基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二乙基萘基锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(甲氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(乙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(辛氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(十八烷氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(异丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(叔丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(环戊氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(环己氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(氟甲氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(2—氯乙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(3—溴丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(4一氰基丁氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(8—硝基辛氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(18—三氟甲基十八烷氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(2—羟基异丙氧基)锍四(五氟苯基)硼酸盐、二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍四(五氟苯基)硼酸盐；优选的可以举出双(对甲苯基)碘鎗六氟磷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘錄六氟磷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎗六氟磷酸盐、三苯基锍六氟磷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟磷酸盐、双(对甲苯基)碘総六氟砷酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鑰六氟砷酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鑰六氟砷酸盐、三苯基锍六氟砷酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟砷酸盐、双(对甲苯基)碘鑰六氟锑酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鐵六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)碘絲六氟锑酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、双(对甲苯基)碘鎿四(五氟苯基)硼酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎗四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎿四(五氟苯基)硼酸盐、三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐等；更优选的可以举出双(对甲苯基)碘鐺六氟锑酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鐵六氟锑酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鑰六氟锑酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、三(对叔丁基苯基)锍六氟锑酸盐、双(对甲苯基)碘鑰四(五氟苯基)硼酸盐、(对甲苯基)(对异丙基苯基)碘鎗四(五氟苯基)硼酸盐、双(对叔丁基苯基)碘鎗四(五氟苯基)硼酸盐、三苯基锍四(五氟苯基)硼酸盐、或三(对叔丁基苯基)锍四(五氟苯基)硼酸盐等。另外，也可以在光聚合引发剂中组合使用光聚合引发助剂(C一l)，还可以以多个组合使用光聚合引发助剂。作为光聚合引发助剂，可以举出胺化合物、羧酸化合物、多官能硫醇化合物、用式(III)表示的化合物等。作为上述的胺化合物，优选芳香族胺化合物。作为光聚合引发剂，优选胺化合物，多官能硫醇、用式(m)表示的化合物。作为光聚合引发助剂(c一i)，例如可以举出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺等脂肪族胺化合物，4—二甲基氨基苯甲酸甲酯、4—二甲基氨基苯甲酸乙酯、4一二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4一二甲基氨基苯甲酸2—乙基己酯、苯甲酸2—二甲基氨基乙酯、N，N—二甲基对甲苯胺、4，4，一双(二甲基氨基)二苯甲酮(通称；米蚩酮)、4，4'一双(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物；苯基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、乙基苯基硫代乙酸、甲基乙基苯基硫代乙酸、二甲基苯基硫代乙酸、甲氧基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫代乙酸、N—苯基氨基乙酸、苯氧基乙酸、萘基硫代乙酸、N—萘基氨基乙酸、萘氧基乙酸等芳香族杂乙酸类等羧酸化合物；己二硫醇、癸二硫醇、1，4一二甲基巯基苯、丁二醇二硫代丙酸酯、丁二醇二硫代乙醇酸酯、乙二醇二硫代乙醇酸酯、三羟甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、丁二醇二硫代丙酸酯、三羟甲基丙垸三硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代乙醇酸酯、三羟乙基三硫代丙酸酯、季戊四醇四(3—巯基丁酸酯)、1，4一双(3—巯基丁酰氧基)丁烷等多官能硫醇化合物；用下述式(III)表示的化合物等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>在式(III)中，用X表示的虚线表示可以用卤原子取代的碳数612的芳香族环。Y表示氧原子、硫原子。Ri表示碳数l6的烷基。W表示可以用卤原子取代的碳数112的垸基或可以用卤原子取代的芳基。作为卤原子，可以举出氟原子、氯原子、溴原子等。作为碳数612的芳香族环，可以举出苯环、萘环等。作为可以用卤原子取代的碳数612的芳香族，可以举出苯环、甲基苯环、二甲基苯环、乙基苯环、丙基苯环、丁基苯环、戊基苯环、己基苯环、环己基苯环、氯苯环、二氯苯环、溴苯环、二溴苯环、联苯环、氯联苯环、溴联苯环、萘环、氯萘环、溴萘环等。作为碳数16的垸基，可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、l一甲基一正丙基、2—甲基一正丙基、叔丁基、正戊基、l一甲基—正丁基、2—甲基一正丁基、3—甲基一正丁基、1，l一二甲基一正丙基、1，2—二甲基一正丙基、2，2—二甲基一正丙基、正己基、环己基等。作为可以用卤原子取代的碳数112的垸基，可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、l一甲基一正丙基、2—甲基一正丙基、叔丁基、正戊基、l一甲基一正丁基、2—甲基一正丁基、3—甲基一正丁基、1，1一二甲基一正丙基、1，2—二甲基一正丙基、2，2—二甲基一正丙基、正己基、环己基、l一氯一正丁基、2—氯一正丁基、3—氯一正丁基等。作为可以用卤原子取代的芳基，可以举出苯基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、联苯基、氯联苯基、二氯联苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。作为用式(III)表示的化合物，具体可以举出2—苯甲酰亚甲基一3一甲基一萘[2，l一d]噻唑啉、2—苯甲酰亚甲基一3—甲基一萘[l，2—d]噻唑啉、2—苯甲酰亚甲基一3—甲基一萘[2，3—d]噻唑啉、2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基苯并噻唑啉、2—(1—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基苯并噻唑啉、2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—苯基苯并噻唑啉、2—(l一萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—苯基苯并噻唑啉、2—(2一萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—氟苯并噻唑啉、2—(l一萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—氟苯并噻唑啉、2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—氯苯并噻唑啉、2—(1—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—氯苯并噻唑啉、2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—溴苯并噻唑啉、2—(l一萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—溴苯并噻唑啉、2—(4一联苯甲酰基亚甲基)一3—甲基苯并噻唑啉、2—(4—联苯甲酰基亚甲基)一3一甲基一5—苯基苯并噻唑啉、2—(2—萘甲酰亚甲基)一3—甲基一萘[2，l一d]噻唑啉、2—(2—萘甲酰亚甲基)一3—甲基一萘[1,2—d]噻唑啉、2—(4一联苯甲酰基亚甲基)一3—甲基一萘[2，l一d]噻唑啉、2—(4一联苯甲酰基亚甲基)一3—甲基一萘[1，2—d]噻唑啉、2—(对氟苯甲酰基亚甲基)一3—甲基一萘[2，1—d]噻唑啉、2—(对氟苯甲酰基亚甲基)一3—甲基一萘[1，2—d]噻唑啉、2—苯甲酰亚甲基一3—甲基一萘[2，1—d]噁唑啉、2—苯甲酰亚甲基一3—甲基一萘[1，2—d]噁唑啉、2—苯甲酰亚甲基一3—甲基一萘[2，3—d]噁唑啉、2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基苯并噁唑啉、2—(l一萘甲酰基亚甲基)一3—甲基苯并噁唑啉、2—(2一萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—苯基苯并噁唑啉、2_(l—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—苯基苯并噁唑啉、2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—氟苯并噁唑啉、2—(l—萘甲酰基亚甲基)_3—甲基一5—氟苯并噁唑啉、2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—氯苯并噁唑啉、2—(l一萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—氯苯并噁唑啉、2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—溴苯并噁唑啉、2—(l一萘甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—溴苯并噁唑啉、2—(4一联苯甲酰基亚甲基)一3—甲基苯并噁唑啉、2—(4一联苯甲酰基亚甲基)一3—甲基一5—苯基苯并噁唑啉、2—(2—萘甲酰亚甲基)一3—甲基一萘[2，l一d]噁唑啉、2—(2—萘甲酰亚甲基)一3—甲基一萘[l，2—d]噁唑啉、2—(4—联苯甲酰基亚甲基)一3甲基一萘[2，l一d]噁唑啉、2_(4—联苯甲酰基亚甲基)一3一甲基一萘[l，2—d]噁唑啉、2—(对氟苯甲酰基亚甲基)一3—甲基一萘[2，l一d]噁唑啉、2—(对氟苯甲酰基亚甲基)一3—甲基一萘[l，2—d]噁唑啉等。其中，优选用式(III—1)表示的2—(2—萘甲酰基亚甲基)一3—甲基苯并噻唑啉、用式(m—2)表示的2—苯甲酰基亚甲基一3—甲基一萘[1，2—d]噻唑啉以及用式(ni—3)表示的2—(4—联苯甲酰基亚甲基)3—甲基一萘[1，2—d]噻唑啉。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>(<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>光聚合引发剂(C)的含量相对于粘合剂树脂(A)和光聚合性化合物(B)的总量以质量分数计优选为0.140质量％，更优选为130质另外，光聚合引发助剂(C一l)的含量以与上述相同的基准优选为0.0150质量％,更优选为0.140质量％。光聚合引发剂(C)的总量如果在上述范围内，感光性树脂组合物具有高感度，使用上述的感光性树脂组合物形成的像素部的强度、或上述像素的表面的平滑性有变得良好的倾向，所以优选。除上述之外，光聚合引发助剂(C一l)的量如果在上述范围内，得到的感光性树脂组合物的感度进一步提高，使用上述的感光性树脂组合物形成图案基板的生产率有提高的倾向，所以优选。本发明的感光性树脂组合物含有溶剂(D)。作为上述的溶剂(D)，可以举出在感光性树脂组合物的领域使用的各种有机溶剂，作为其具体例子，可以举出乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚和乙二醇单丁醚之类的乙二醇单烷基醚类；二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚等二乙二醇二垸基醚类；甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯类；丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、乙酸甲氧基丁酯、乙酸甲氧基戊酯等亚垸基二醇垸基醚乙酸酯类；丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚等丙二醇单垸基醚类；丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、丙二醇乙基甲醚、丙二醇二丙醚、丙二醇丙基甲醚、丙二醇乙基丙醚等丙二醇二垸基醚类；丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯类；甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、丙氧基丁醇、丁氧基丁醇等丁二醇单烷基醚类；乙酸甲氧基丁酯、乙酸乙氧基丁酯、乙酸丙氧基丁酯、乙酸丁氧基丁酯等丁二醇单烷基醚乙酸酯类；丙酸甲氧基丁酯、丙酸乙氧基丁酯、丙酸丙氧基丁酯、丙酸丁氧基丁酯等丁二醇单垸基醚丙酸酯类；二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲基乙醚等二丙二醇二烷基醚类；苯、甲苯、二甲苯、均三甲基苯等芳香族烃类；甲基乙基甲酮、丙酮、甲基戊基甲酮、甲基异丁基甲酮、环己酮等酮类；乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、甘油等醇类；乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2—羟基丙酸乙酯、2—羟基一2—甲基丙酸甲酯、2—羟基一2—甲基丙酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3—羟基丙酸甲酯、3—羟基丙酸乙酯、3—羟基丙酸丙酯、3—羟基丙酸丁酯、2—羟基一3—甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2—甲氧基丙酸甲酯、2—甲氧基丙酸乙酯、2—甲氧基丙酸丙酯、2—甲氧基丙酸丁酯、2—乙氧基丙酸甲酯、2一乙氧基丙酸乙酯、2—乙氧基丙酸丙酯、2—乙氧基丙酸丁酯、2—丁氧基丙酸甲酯、2—丁氧基丙酸乙酯、2—丁氧基丙酸丙酯、2—丁氧基丙酸丁酯、3—甲氧基丙酸甲酯、3—甲氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸丙酯、3一甲氧基丙酸丁酯、3—乙氧基丙酸甲酯、3—乙氧基丙酸乙酯、3—乙氧基丙酸丙酯、3—乙氧基丙酸丁酯、3—丙氧基丙酸甲酯、3—丙氧基丙酸乙酯、3—丙氧基丙酸丙酯、3—丙氧基丙酸丁酯、3—丁氧基丙酸甲酯、3一丁氧基丙酸乙酯、3—丁氧基丙酸丙酯、3—丁氧基丙酸丁酯等酯类；四氢呋喃、吡喃等环状醚类；Y—丁内酯等环状酯类等。在上述溶剂当中，从涂布性、干燥性的观点出发，优选上述溶剂中沸点为10(TC20(TC的有机溶剂，更优选亚烷基二醇烷基醚乙酸酯类、酮类、丁二醇烷基醚乙酸酯类、丁二醇单烷基醚类、3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯等酯类，进一步优选丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、环己酮、乙酸甲氧基丁酯、甲氧基丁醇、3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯。这些溶剂(D)可以分别单独使用，还可以2种以上混合使用。本发明的感光性树脂组合物中溶剂(D)的含量相对于感光性树脂组合物以质量分数计优选为6090质量％，更优选为7085质量％。溶剂(D)的含量如果在上述范围内，在用旋涂机、缝隙&旋涂机、缝隙涂敷机(有时也称为模涂机、帘式流涂机)、喷墨等涂布装置进行涂布时，涂布性变得良好，所以优选。在本发明的感光性树脂组合物中，根据需要还可以并用填充剂、其他高分子化合物、流平剂、附着促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、防絮凝材料、链转移剂等添加剂(F)。作为填充剂，具体可以举出玻璃、二氧化硅、氧化铝等。作为其他高分子化合物，具体可以举出环氧树脂、马来酰亚胺树脂等固化性树脂或聚乙烯基醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚丙烯酸氟烷基酯、聚酯、聚氨酯等热塑性树脂等。作为流平剂，可以使用市售的表面活性剂，例如可以举出硅酮系、氟系、酯系、阳离子系、阴离子系、非离子系、两性等表面活性剂等，它们可以分别单独使用，还可以组合2种以上使用。作为上述的表面活性剂，例如可以举出聚氧乙烯垸基醚类、聚氧乙烯烷基荠基醚类、聚乙二醇二酯类、山梨糖醇酐脂肪酸酯类、脂肪酸改性聚酯、叔胺改性聚氨酯类、聚乙烯亚胺类等，除此之外，还可以举出商品名为KP(信越化学工业(株)制)、求]J7口一(共荣化学(株)帝ij)、工7卜:y7。(卜一^r厶7。口夕'夕、7公司制)、乂力、77、乂夕(大日本油墨化学工业(株)制)、7口，一K(住友3M(株)制)、7廿匕力、一K、廿一7口y(以上为旭销子(株)制)、乂/P7^—7(if氺力(株)制)、EFKA(EFKACHEMICALS公司制)、PB821(味之素(株)制)等。作为附着促进剂，优选硅烷系化合物，具体可以举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅垸、乙烯基三(2—甲氧基乙氧基)硅垸、N—(2一氨基乙基)一3—氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N—(2—氨基乙基)一3一氨基丙基三甲氧基硅垸、3—氨基丙基三乙氧基硅垸、3—环氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸、3—环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅垸、2—(3,4—环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、3—氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3—氯丙基三甲氧基硅垸、3—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸、3—巯基丙基三甲氧基硅垸等。作为抗氧化剂，具体可以举出2—叔丁基一6—(3—叔丁基一2—羟基一5—甲基苄基)一4一甲基苯基丙烯酸酯、2—[1一(2—羟基一3，5—二叔戊基苯基)乙基]一4，6—二叔戊基苯基丙烯酸酯、6—[3—(3—叔丁基一4一羟基一5—甲基苯基)丙氧基]一2，4，8，10—四叔丁基二苯[d、f][1，3，2]二氧磷杂环庚烯、3，9—双[2—{3—(3—叔丁基一4—羟基—5—甲基苯基)丙酰基氧基}一1，1—二甲基乙基]一2，4，8，10—四氧螺[5.5]十一烷、2，2，一亚甲基双(6—叔丁基一4一甲基苯酚)、4，4，一亚丁基双(6—叔丁基一3—甲基苯酚)、4，4，一硫代双(2—叔丁基一5—甲基苯酚)、2，2，一硫代双(6—叔丁基一4一甲基苯酚)、二月桂基3，3'一硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基3，3'—硫代二丙酸酯、二硬脂基3，3'一硫代二丙酸酯、季戊四醇基四(3—月桂基硫代丙酸酯)、1，3，5—三(3,5—二叔丁基一4—羟基节基)一l，3，5—三嗪—2，4，6(1H，3H,5H)—三酮、3，3，，3"，5，5，，5"—六叔丁基—a，a，，a，，—(均三甲苯基一2，4，6—三基)三一对甲酚、季戊四醇四[3—(3，5—二叔丁基一4—羟基苯基)丙酸酯]、2，6—二叔丁基一4一甲基苯酚等。作为紫外线吸收剂，具体可以举出2—(3—叔丁基一2—羟基一5—甲基苯基)一5—氯苯并三唑、烷氧基苯甲酮等。另外，作为防絮凝剂，具体可以举出聚丙烯酸钠等。作为链转移剂，可以举出十二烷硫醇、2，4一二苯基一4一甲基一1一戊烯等。感光性树脂组合物例如可以如上所述涂布在基材上进行光固化和显影而形成图案。首先，将该组合物涂布在基板(通常为玻璃)或事先形成的由感光性树脂组合物的固态成分构成的层上，通过预烘焙从所涂布的感光性树脂组合物层除去溶剂等挥发成分，得到平滑的涂膜。此时的涂膜的厚度通常为16um左右。借助用于形成目标图案的掩模向如上述得到的涂膜照射紫外线。此时，优选使用向整个曝光部均匀地照射平行光线且进行掩模和基板的准确定位那样的掩模对准器或分档器(stepper)等装置。此后，使结束固化的涂膜接触碱水溶液使非曝光部溶解，显影，由此得到目的图案形状。显影方法可以是盛液(液盛19)法、浸渍法、喷射法等的任意。进而在显影时可以将基板倾斜成任意角度。作为涂布方法，例如通过旋涂法、流延涂布法、辊涂布法、缝隙&旋涂法、或者缝隙涂布法等进行。在涂布后进行加热干燥(预烘焙)、或者在减压干燥后加热，使溶剂等挥发成分挥发，由此形成感光性树脂组合物层。在这里，加热的温度通常为70200°C，优选80130'C。该感光性树脂组合物层几乎不含挥发成分。另外，上述感光性树脂组合物层的厚度通常为1.58um左右。在图案曝光后的显影中使用的显影液通常是含有碱性化合物和表面活性剂的水溶液。碱性化合物可以是无机和有机的碱性化合物的任意。作为无机碱性化合物的具体例子，可以举出氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、氨等。另外，作为有机碱性化合物的具体例子，可以举出氢氧化四甲基铵、氢氧化2—羟乙基三甲基铵、单甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、单乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、单异丙基胺、二异丙基胺、乙醇胺等。这些无机和有机碱性化合物可以分别单独使用，还可以组合2种以上使用。碱性显影液中的碱性化合物的浓度优选为0.0110质量％，更优选为0.035质量/b。碱性显影液中的表面活性剂可以是非离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂或阳离子系表面活性剂的任意。作为非离子系表面活性剂的具体例子，可以举出聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、氧乙烯/氧丙烯嵌段共聚物、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。作为阴离子系表面活性剂的具体例子，可以举出月桂醇硫酸酯钠或油醇硫酸酯钠之类的高级醇硫酸酯盐类、月桂基硫酸钠或月桂基硫酸铵之类的垸基硫酸盐类、十二垸基苯磺酸钠或十二烷基萘磺酸钠之类的烷基芳基磺酸盐类等。作为阳离子系表面活性剂的具体例子，可以举出硬脂胺盐酸盐或月桂基三甲基铵氯化物之类胺盐或季铵盐等。这些表面活性剂可以分别单独使用，还可以组合2种以上以上。碱性显影液中的表面活性剂的浓度优选0.0110质量％的范围，更优选0.058质量％，进一步优选0.15质量％。在显影后，进行水洗，进而根据需要也可以在150230'C下实施1060分钟的后烘焙。使用本发明的感光性树脂组合物，经过如上所述的各工序，可以在基板上或滤色器基板上形成图案。该图案作为液晶显示装置所使用的光隔离件是有用的。另外，在向干燥涂膜实施图案形成曝光时，如果使用孔形成用光掩模，可以形成孔，作为层间绝缘膜是有用的。进而，在对干燥涂膜进行曝光时，不使用光掩模而通过全面曝光和加热固化、或仅通过加热固化而可以形成透明膜，该透明膜作为保护涂层是有用的，另外，还可以用于触摸面板。因此，通过将如此得到的图案装入液晶显示装置等显示装置，能够以高成品率制造品质优秀的显示装置。本发明的感光性树脂组合物，其在保存时的粘度变化小，即便是微细的图案也可以解像，可以形成耐溶剂性、耐热性出色的图案或涂膜。本发明的感光性树脂组合物适合用作例如用于形成构成保护涂层、光隔离件、绝缘膜、液晶取向控制用突起、用于配合着色图案的膜厚的涂层等滤色器的一部分的透明膜的材料。实施例以下，通过实施例对本发明进行更详细的说明，但本发明并不被这些实施例所限定。在实施例中，表示含量或使用量的％以及份如果没有特别说明就是指质量基准。合成例1在具备回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌机的1L的烧瓶内以0.02L/分钟流过氮气，使其为氮气气氛，加入3—甲氧基一1一丁醇200质量份和乙酸3—甲氧基丁酯105质量份，边搅拌边加热至70℃。接着，将其溶解于甲基丙烯酸60质量份、3，4一环氧三环[5.2.1.0(26)]癸基丙烯酸酯(用式(I一l)表示的化合物和用式(II一l)表示的化合物的摩尔比为50:50的混合物)240质量份、和乙酸3—甲氧基丁酯140质量份中，调制溶液，使用滴液漏斗将该溶解液用4个小时的时间滴到保温至70℃的烧瓶内。另一方面，使用其他滴液漏斗用4个小时的时间将在乙酸3—甲氧基丁酯225质量份中溶解聚合引发剂2，2'—偶氮双(2，4一二甲基戊腈)30质量份得到的溶液滴到烧瓶内。在聚合引发剂的溶液的滴加结束之后，在70℃保持4小时，随后冷却至室温，得到固态成分32.6质量％、酸值110mg—KOH/g(固态成分换算)的共聚物(树脂Aa)的溶液。得到的树脂Aa的重均分子量Mw为13400，分散度为2.50。合成例2在具备回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌机的1L的烧瓶内以0.02L/分钟流过氮气，使其为氮气气氛，加入3—甲氧基一1一丁醇200质量份和乙酸3—甲氧基丁酯105质量份，边搅拌边加热至70'C。接着，将甲基丙烯酸55质量份、3，4一环氧三环[5.2丄026]癸基丙烯酸酯(用式(1—1)表示的化合物和用式(II—1)表示的化合物的摩尔比为50:50的混合物)175质量份、以及N—环己基马来酰亚胺70质量份溶解于乙酸3—甲氧基丁酯140质量份，调制溶液，使用滴液漏斗将该溶解液用4个小时的时间滴到保温至7(TC的烧瓶内。另一方面，使用其他滴液漏斗用4个小时的时间将在乙酸3—甲氧基丁酯225质量份中溶解聚合引发剂2，2，一偶氮双(2，4一二甲基戊腈)30质量份得到的溶液滴到烧瓶内。在聚合引发剂的溶液的滴加结束之后，在4小时保持70°C，随后冷却至室温，得到固态成分32.6质量％、酸值105mg—KOH/g的共聚物(树脂Ab)的溶液。得到的树脂Ab的重均分子量Mw为13600，分散度为2.54。合成例3与特开平ll一133600号公报的合成例1相同，向具备冷凝器和搅拌机的烧瓶中加入2，2，一偶氮双(2，4—二甲基戊腈)7质量份、二乙二醇二甲醚200质量份。接着，加入苯乙烯30质量份、甲基丙烯酸20质量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯50质量份，在进行氮置换之后，开始缓慢搅拌。将溶液的温度上升至7(TC，保持该温度5小时，得到含有树脂Ac的聚合物溶液。得到的树脂Ac的聚苯乙烯换算重均分子量为24000。关于上述的粘合剂聚合物的重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)的测定，使用GPC法在以下的条件下进行。装置K2479((株)岛津制作所制)柱SHIMADZUShim—packGPC—80M柱温度40°C溶剂THF(四氢呋喃)流速1.0mL/min检测器RI将在上述中得到的聚苯乙烯换算的重均分子量和数均分子量的比作为分散度(Mw/Mn)。实施例1混合含有在合成例1中得到的树脂Aa的树脂溶液(A)169份(固态成分换算55份)、二季戊四醇六丙烯酸酯(B)45份、2，2'—双(2—氯苯基)一4，4，，5，5，一四苯基联二咪唑(C)4份、2—(2—萘基亚甲基)一3—甲基苯并噻唑啉(C一l)0.5份、季戊四醇四硫代丙酸酯)一C一l)3份、IRGANOX3114(CibaSpecialtyChemicals公司制)(F)0.8份、丙二醇单甲醚乙酸酯58份、3—乙氧基乙基丙酸酯42份、3—甲氧基一1一丁醇3份和乙酸3—甲氧基丁酯2份，得到感光性树脂组合物1。<图案形成>用中性洗剂、水和醇依次清洗2英寸方形的玻璃基板(^一夕、'》2000;〕一二y夕、'公司制)，然后干燥。在该玻璃基板上旋涂感光性树脂组合物1使得以100mJ/cr^的曝光量(405nm)进行曝光，显影、水洗、后烘焙时的膜厚为3.0um，接着在干净的炉中90'C预烘焙3分钟。冷却后，按照使已涂布该感光性树脂组合物的基板和石英玻璃制光掩模的间隔为10um的方式，使用曝光机(TME—150RSK;TOPCOM(株)制)，在大气气氛下以100mJ/cm"的曝光量(405nm基准)照射光。其中，向此时的聚合性树脂组合物的照射是将来自超高压水银灯的放射光通过光学过滤器(LU0400;朝日分光(株)制)，切断400nm以下的光使用。其中，作为光掩模，使用在同一平面上形成了下述图案的光掩模。-具有l个边为10um的正方形的透光部(图案)，该正方形的间隔为100lim。具有1个边为15um的正方形的透光部(图案)，该正方形的间隔为100tim。在照射光之后，25'C下将该基板的上述涂膜浸渍在含有非离子系表面活性剂0.12%和氢氧化钾0.04%的水系显影液中显影100秒，水洗后，在炉中22(TC下进行20分钟的后烘焙。自然冷却之后用膜厚测定装置(DEKTAK3;日本真空技术(株)制)测定得到的固化膜的膜厚，结果为3,0ym。<保存稳定性>测定在上述中得到的感光性树脂组合物1的粘度。此外，将感光性树脂组合物1密封到遮光容器中，在23'C的恒温槽中保存该容器2周。测定保管后的感光性树脂组合物1的粘度。根据下述式求得的粘度变化为100%。粘度变化=----------------------X100(%)粘度变化越小，例如如果为100103%的范围就是良好。其中，粘度的测定可以以如下所示的方法进行。其中，使用粘度计(VISCOMETERTV—30;东机产业(株)制)在23'C下测定粘度。<线宽、截面形状>对于得到的固化膜，使用扫描型电子显微镜(S—4000;(株)日立制作所制)观察、测定线宽、形状(截面)。对与光掩模上的10um图案相对应的图案测定的线宽为10.0um。就截面形状而言，图案相对基板的角度不到90度，为正锥形。其中，当图案相对基板的角度为90度以上，判断为反锥形。如果为正锥形，在形成液晶显示装置时，难以发生ITO配线的断线，所以优选。<机械特性>(总位移量和恢复率)对于得到的固化膜，使用动态超微小硬度计(DUH—W201;(株)岛津制作所制)测定其总位移量("m)和弹性位移量(ixm)。从这些数值求出恢复率(％)。总位移量为0.57um，恢复率为92.9%。—测定条件一试验模式负载一去载试验试验力5gf!SI单位换算值，49.0mN]负载速度0.45gPsec[SI单位换算值，4.41mN/sec]保持时间5sec压头圆锥台压头(直径50iim)200710161125.2说明书第30/35页恢复率(％):[弹性位移量(um)]/[总位移量(um)]XIOO<耐溶剂性>在曝光工序中，除了不使用光掩模之外，进行同样的操作，制作涂膜，测定其膜厚。将得到涂膜浸渍到4(TC的N—甲基吡咯垸酮中40分钟，测定浸渍后的膜厚。按照下式求出膜厚变化，将其作为耐溶剂性的指标。得到的值为103.9%。膜厚变化(％):[浸渍后的膜厚(ym)]/[浸渍前的膜厚(ixm)]X100上述的膜厚变化优选为104%以下。<耐热性〉在曝光工序中，除了不使用光掩模之外，进行同样的操作，制作涂膜，测定其膜厚。将得到涂膜放置在24(TC的干净炉中l个小时，测定加热前后的膜厚。按照下式求出其膜厚变化，将其作为耐热性的指标。得到的值为98.2%。膜厚变化(％):[加热后的膜厚(ym)]/[加热前的膜厚(um)]X100上述的膜厚变化优选为97%以上。实施例2按照表1所示的组成，得到感光性树脂组合物2，与实施例1一样进行评价。结果示于表2。实施例3按照表1所示的组成，得到感光性树脂组合物3，与实施例1一样进行评价。结果示于表2。比较例1按照表1所示的组成，得到感光性树脂组合物4，与实施例1一样进行评价。结果示于表2。比较例2按照表l所示的组成，得到感光性树脂组合物5，与实施例l一样测定保存稳定性，结果为增稠，所以中止评价。<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>实施例4按照表3所示的组成，得到感光性树脂组合物6。<图案形成>用中性洗剂、水和乙醇依次清洗2英寸方形的玻璃基板(,一7'》2000;^—二y夕、'公司制)，然后干燥。在该玻璃基板上旋涂感光性树脂组合物1使得以40mJ/cr^的曝光量(365nm)进行曝光，显影、水洗、后烘焙时的膜厚为3.0ym，接着在干净炉中85'C预烘焙3分钟。冷却后使已涂布该感光性树脂组合物的基板和石英玻璃制光掩模的间隔为lOlim，使用曝光机(TME—150RSK;TOPCOM(株)制)，在大气气氛下以40mJ/cm2的曝光量(365nm基准)照射光。其中，向此时的聚合性树脂组合物的照射是将来自超高压水银灯的放射光通过光学过滤器(UV—31;朝日分光(株)制)。其中，作为光掩模，使用在同一平面上形成下述图案的光掩模。*具有1个边为lOlim的正方形的透光部(图案)，该正方形的间隔为100iim。具有1个边为15um的正方形的透光部(图案)，该正方形的间隔为100um。在照射光之后，23t:下将该基板的上述涂膜浸渍在含有非离子系表面活性剂0.12°%和氢氧化钾0.04%的水系显影液中显影40秒，水洗后，在炉中22(TC下进行20分钟的后烘焙。自然冷却之后用膜厚测定装置(DEKTAK3;日本真空技术(株)制)测定得到的固化膜的膜厚，结果为3.0lim。图案形成后的评价与实施例1相同。比较例3按照表3所示的组成，得到感光性树脂组合物7。与实施例4一样进行评价。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage36</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>从表2所示的实施例13的结果可知，含有包含脂肪族多环环氧化合物的粘合剂树脂的本发明的感光性树脂组合物，保存稳定性出色。另外，如果使用本发明的感光性树脂组合物，得到图案形状、机械特性、耐溶剂性、耐热性良好的图案和涂膜。另外，如果与比较例l相比，还可以解像到微细的图案。另外，从表4所示的实施例4的结果可知，含有包含脂肪族多环环氧化合物的粘合剂树脂的本发明的感光性树脂组合物，保存稳定性出色。另外，如果使用本发明的感光性树脂组合物，得到图案形状良好的图案和涂膜。另外，如果与比较例3相比，还可以解像到微细的图案。工业上的可利用性本发明的感光性树脂组合物的保存稳定性出色，可以形成图案形状、表面平滑性、机械特性、耐热性、耐溶剂性出色的图案和涂膜，可以很好地用于形成保护涂层、光隔离件、绝缘膜、液晶取向控制用突起、用于配合着色图案的膜厚的涂层等在显示装置中使用的膜。权利要求1.一种感光性树脂组合物，含有粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)，其中粘合剂树脂(A)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(A1)和脂肪族多环环氧化合物(A2)的共聚物。2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，脂肪族多环环氧化合物(A2)是在脂肪族多环化合物的环上具有环氧基，且具有不饱和键的化合物。3.如权利要求1或者2所述的感光性树脂组合物，具有脂肪族多环环氧基的单体(A2)是从用式(I)表示的化合物和用式(II)表示的化合物组成的组中选择的至少一种化合物，在式(I)和式(II)中，R分别独立地表示氢原子或可以用羟基取代的碳数为14的烷基，X分别独立地表示单键或可以含有杂原子的碳数为16的亚烷基。4.一种使用权利要求13中任意一项所述的感光性树脂组合物形成的图案。5.—种含有权利要求4所述的图案的液晶显示装置。全文摘要一种感光性树脂组合物，含有粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)，其中粘合剂树脂(A)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(A1)和脂肪族多环环氧化合物(A2)的共聚物。根据本发明可以提供保存时的粘度小且可以解像至微细图案的、可形成耐溶剂性、耐热性优异的图案或涂膜的新型感光性树脂组合物。文档编号G03F7/028GK101206402SQ20071016112公开日2008年6月25日申请日期2007年12月18日优先权日2006年12月22日发明者井上胜治,武部和男申请人:住友化学株式会社