滤色片的制造方法

专利名称：：滤色片的制造方法
技术领域：
：本发明涉及一种滤色片的制造方法。
背景技术：
：在滤色片的制造工序中，通常设置在基板上涂布彩色抗蚀剂液等涂布液的涂布工序。近年来，希望进一步改善该涂布工序的成品率。作为涂布工序中的使成品率降低的主要原因之一，可以举出涂布液中内含的异物。例如，如果在涂布液中有异物，则在涂布该涂布液而得到的涂膜中产生突起等缺陷。这些缺陷成为对置基板与滤色片基板接触而引起的的共通短路(〕乇y〉3—卜)或亮点、亮线、黑点、黑线之类的显示不良的原因。为了避免这样的情况，通常在向基板等被涂布材料供给涂布液的过程中，过滤除去涂布液中含有的异物(即，从涂液的制造工序混入的环境异物；或当涂液为聚合物溶液或聚合物前体溶液时的聚合物凝胶或单体残渣不溶物等异物。以下有时将它们总称为"缺陷诱因物质")。作为进一步抑制由于缺陷诱因物质而产生缺陷的技术，已知有使用细孔的过滤器进行过滤的技术(例如参照日本特开2002—219396号公报)。另外，作为用于减少细孔过滤器的交换频率的技术，已知有分2个阶段设置过滤器，在第l个阶段粗过滤，在第2个阶段细过滤的技术(例如参照日本特开2001—340732号公报)。但是，例如存在如下所述的异物，即在过滤时使用的过滤器上形成，并很快凝集、成长，流出到下游侧的凝胶状的凝集物等，而只利用所述现有的技术则不能除去。该异物成为涂布膜中的面状故障、进而滤色片中的缺陷的原因。
发明内容本发明是鉴于上述问题而进行的，目的在于提供一种能够减少涂布膜的面状故障、并能够抑制缺陷的发生的滤色片的制造方法，以达到此目的为课题。本发明提供一种能够减少涂布膜的面状故障，并能够抑制缺陷发生的滤色器的制造方法。本发明的第一方式是提供一种滤色片的制造方法，其中，包括使固化性组合物以0.1ml/mirrcm2以上、1.0ml/min'cm2以下的过滤速度通过第1过滤器进行过滤的第1过滤工序；和使经所述第1过滤工序过滤后的所述固化性组合物进一步以30ml/mirvcm2以上、200ml/miivcm2以下的过滤速度通过第2过滤器进行过滤的第2过滤工序；和在基板上涂布经所述第2过滤工序过滤后的所述固化性组合物的涂布工序。本发明人进行了潜心研究，结果发现通过以特定的过滤速度来过滤涂布液可以解决上述课题，以该发现为基础完成了本发明。艮口，用于解决所述课题的具体方法如下所述。<1>一种滤色片的制造方法，其包括使固化性组合物以0.1ml/mirvcm2以上、1.0ml/mhvcm2以下的过滤速度通过第1过滤器进行过滤的第l过滤工序；和使经所述第1过滤工序过滤后的所述固化性组合物进一步以30ml/min，cm2以上、200ml/min，cm2以下的过滤速度通过第2过滤器进行过滤的第2过滤工序；和在基板上涂布经所述第2过滤工序过滤后的所述固化性组合物的涂布工序。<2>根据所述<1>记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序的所述过滤速度为0.2ml/mirvcm2以上、0.8ml/mirvcm2以下，所述第2过滤工序的所述过滤速度为32ml/mirvcm2以上、100ml/mirvcm2以下。<3>根据所述<1>或<2>记载的滤色片的制造方法，其中，至少所述第1过滤器含有含聚丙烯的树脂。<4>根据所述<1><3>中任意一项记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤器及所述第2过滤器中的至少一个的孔径为0.2pm以上、3.0(im以下。<5>根据所述<4>记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤器的孔径为0.5,以上、1.5pm以下，所述第2过滤器的孔径为0.4|im以上、2.01im以下。<6>根据所述<1><5〉中的任意一项记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序中的过滤压力为1000Pa以上、5000Pa以下，所述第2过滤工序中的过滤压力为10000Pa以上、700000Pa以下。<7>根据所述<6>记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序中的过滤压力为2000Pa以上、4000Pa以下，所述第2过滤工序中的过滤压力为20000Pa以上、500000Pa以下。本发明主张日本专利申请第2007_229715号的利益。图1是表示在本发明的实施方式中使用的涂布装置的概略结构图。具体实施例方式构成本发明的滤色片的制造方法的工序包括使固化性组合物以0.1ml/min'cm2以上、1.0ml/mirrcm2以下的过滤速度通过第1过滤器ii行过滤的第1过滤工序；和使经所述第1过滤工序过滤后的所述固化性组合物进一步以30ml/mirvcm2以上、200ml/mhvcm2以下的过滤速度通过第2过滤器进行过滤的第2过滤工序；和在基板上涂布经所述第2过滤工序过滤后的所述固化性组合物的涂布工序。通过上述构成，可以抑制涂布所述固化性组合物而形成的涂布膜的面状故障。结果，可以获得抑制了缺陷的发生的滤色片。其原因尚不确定，可能是因为在过滤速度慢的第l过滤工序中，捕获了固化性组合物中的大部分异物(固化性组合物的凝集物等，以下相同)，接着在第2过滤工序中除去在第1过滤工序中没有完全除去的异物(例如凝胶状的凝集物等)，结果可以有效地除去固化性组合物中的异物。作为本发明中的固化性组合物，没有特别限定，可以举出在构成滤色片的各要素(例如着色像素、隔壁(例如黑矩阵)、外涂膜、感光性间隔材(photospacer)、取向控制用突起等)的形成中使用的公知的抗蚀剂液等。通过使用本发明的滤色片的制造方法，涂布固化性组合物，可以抑制所述各要素中的缺陷的产生。此外，在涂布固化性组合物后，可以利用图案曝光、显影等公知的光刻法工序形成着色像素、隔壁、外涂膜、感光性间隔材、取向控制用突起等。此外，对于外涂膜而言，也可以不进行曝光及显影而直接使用涂布膜。后述固化性组合物的优选例。在本发明中，作为被涂布固化性组合物的基板，没有特别限定，可以使用钠玻璃基板、无碱玻璃基板、低膨胀玻璃基板、石英玻璃基板等公知的玻璃基板，塑料基板，塑料薄膜或塑料片等。在本发明中，作为涂布固化性组合物的方法，没有特别限定，从形成膜的厚度薄、且均匀的涂布膜的观点出发，优选一片一片地将基板供给于涂布装置，一片一片地对被供给的基板涂布固化性组合物的片页涂布方式。作为该张页涂布方式，可以举出旋转涂布、辊涂布、棒涂布、狭缝涂布等，而从省液的观点或更有效地得到本发明的效果的观点等出发，优选狭缝涂布。本发明的滤色片的制造方法除了所述第1过滤工序及所述第2过滤工序以外，也可以在所述第l过滤工序之前、所述第1过滤工序与所述第2过滤工序之间、以及所述第2过滤工序之后的至少1处，具有1个工序以上的其他过滤工序。<第1过滤工序>本发明中的第1过滤工序是使固化性组合物以0.1ml/min，cr^以上、1.0ml/mirvcn^以下的过滤速度通过第1过滤器进行过滤的工序。从更有效地发挥本发明的效果的观点出发，所述过滤速度优选为0.2ml/min，cm2以上、0.8ml/miivcm2以下，更优选为0.3ml/mirrcm2以上、0.7ml/mirvcm2以下。第1过滤工序中的所述过滤速度可以通过调整第1过滤器的过滤面积等来实现。在此，"第1过滤器的过滤面积"是指用与过滤固化性组合物的方向相垂直的面切第1过滤器时的截面积。第1过滤器的具体面积根据第1过滤器的孔径等条件的不同而不同，而从更有效地发挥本发明的效果的观点出发，优选为50cn^以上、250cn^以下，更优选为75cm2以上、200cm2以下，特别优选为100cn^以上、150cr^以下。作为第1过滤工序中的条件，只要是过滤速度为0.1ml/miivcn^以上、1.0ml/miivci^以下的条件即可，没有特别限定，而从更有效地发挥本发明的效果的观点出发，优选以下条件。第1过滤器的孔径优选为0.2pm以上、3.0pm以下，更优选为0.5pm以上、1.5(im以下，特别优选为0.8pm以上、1.2pm以下。第1过滤工序中的固化性组合物的流量优选为5ml/min以上、250ml/min以下，更优选为15ml/min以上、160ml/min以下，特别优选为30ml/min以上、105ml/min以下。第1过滤工序中的过滤压力优选为1000Pa以上、5000Pa以下，更优选为2000Pa以上、4000Pa以下，特别优选为2500Pa以上、3500Pa以下。<第2过滤工序>本发明中的第2过滤工序是使固化性组合物以30ml/miivcm2以上、200ml/mirvcr^以下的过滤速度通过第2过滤器进行过滤的工序。从更有效地发挥本发明的效果的观点出发，所述过滤速度优选为32ml/mirrcm2以上、100ml/min'cm2以下，更优选为33ml/mirrcm2以上、40ml/min'cm2以下。第2过滤工序中的所述过滤速度可以通过调整第2过滤器的过滤面积等来实现。在此，"第2过滤器的过滤面积"是指用与过滤固化性组合物的方向相垂直的面切第2过滤器时的截面积。第2过滤器的具体面积根据第2过滤器的孔径等条件的不同而不同，而从更有效地发挥本发明的效果的观点出发，优选为0.2cm2以上、3.0cri^以下，更优选为0.4cm2以上、2.0cm2以下，特别优选为0.6cn^以上、1.00112以下。作为第2过滤工序中的条件，只要是过滤速度为30ml/mhvcm2以上、20ml/min，cr^以下的条件即可，没有特别限定，而从更有效地发挥本发明的效果的观点出发，优选以下的条件。第2过滤器的孔径优选为0.2|_1111以上、3.0pm以下，更优选为0.5pm以上、1.5pm以下，特别优选为0.8pm以上、1.2(im以下。第2过滤工序中的固化性组合物的流量优选为6ml/min以上、600ml/min以下，更优选为12.8ml/min以上、200ml/min以下，特别优选为19.8ml/min以上、40ml/min以下。第2过滤工序中的过滤压力优选为10000Pa以上、700000Pa以下，更优选为20000Pa以上、500000Pa以下，特别优选为30000Pa以上、100000Pa以下。<第1过滤器及第2过滤器的材质>作为所述第1过滤器及所述第2过滤器的材质(过滤用材料)，没有特别限定，例如可以使用内含聚丙烯、聚乙烯及四氟乙烯等的树脂；不锈钢等烧结金属；多孔陶瓷等。其中，从更有效地发挥本发明的效果的观点出发，优选内含聚丙烯、聚乙烯及四氟乙烯等的树脂，特别优选内含聚丙烯的树脂。作为使用内含聚丙烯、聚乙烯及四氟乙烯等树脂时的具体方式，可以举出将所述树脂加工成无纺布，将得到的无纺布加工成盘状的方式；将所述得到的无纺布加工成折叠状或巻轴状，收容于囊(capsule)内的方式；作为膜过滤器，加工成所述盘状、折叠状或巻轴状的方式等。在本发明中，特别的是，作为第l过滤器，通过使用含有含聚丙烯树脂的过滤器(优选以加工成无纺布的方式)，可以更有效地捕获固化性组合物中含有的凝胶状物质等，可以更有效地获得本发明的效果。<优选实施方式>作为本发明的滤色片的制造方法的优选实施方式，例如可以举出使用如图1所示的涂布装置100的实施方式。根据图1所示的实施方式，抗蚀剂液槽14中的抗蚀剂液12通过供给管20,通过供给管20的抗蚀剂液12接着通过第1管路(具有供给管21、具备过滤装置40及过滤装置41的供给管22、以及供给管23的路径)及/或第2管路(具有供给管24、具备过滤装置42及过滤装置43的供给管25、以及供给管26的路径)，通过所述第1管路及/或所述第2管路的抗蚀剂液12接着通过供给管27，被提供给狭缝喷嘴50，所提供的抗蚀剂液12由狭缝喷嘴50的喷出口51被涂布至基板10上。以下对涂布装置100进行详细说明。在涂布装置100中，具备抗蚀剂液送液泵Pl和微差压力传感器Sl的供给管20被设置成该抗蚀剂液送液泵Pl侧的一端位于抗蚀剂液槽14内的抗蚀剂液12中。所述供给管20的另一端与具备第1管路选择阀VI的供给管21—端的连接部、以及具备第2管路选择阀V2的供给管24—端的连接部相连接。抗蚀剂液送液泵Pl具有调节抗蚀剂液12的送液速度(ml/min)的机构。另外，微差压力传感器Sl测定抗蚀剂液12的送液压力，在送液压力超过预先设定的上限值的情况下会发出警告。供给管21的另一端与具备过滤装置40和过滤装置41的供给管22的过滤装置40侧的一端的连接部、以及具备洗涤液接收阀V5的供给管31的一端的连接部相连接。供给管24的另一端与具备过滤装置42和过滤装置43的供给管25的过滤装置42侧的一端的连接部、以及具备洗涤液接收阀V6的供给管32的一端的连接部相连接。供给管22的另一端与具备排液阀V7的排液管33的一端的连接部、以及具备第1管路选择阀V3的供给管23的一端的连接部相连接。供给管25的另一端与具备排液阀V8的排液管34的一端的连接部、以及具备第2管路选择阀V4的供给管26的一端的连接部相连接。供给管23的另一端与供给管26的另一端相互连接，并且两者的连接部与供给管27的一端相连接。供给管27的另一端与具有内部空心结构的狭缝喷嘴50连通，能够向狭缝喷嘴50内部提供抗蚀剂液12。狭缝喷嘴50上设置有用于喷出抗蚀剂液12的狭缝状的喷出口51。此外，图1表示分别从侧面一侧观察狭缝喷嘴50、基板10及涂布载物台52的情况。喷出口51为在狭缝喷嘴50长径方向具有狭缝长度的狭缝状的开口部。在与狭缝喷嘴50的喷出口51相对的位置，设置用于载置基板10的涂布载物台52，当将基板10载置于涂布载物台52上时，喷出口51与基板10相对。狭缝喷嘴50与涂布载物台52按照能够在图1中M方向上相对移动的方式构成，通过从喷出口51向基板10喷出抗蚀剂液12，同时进行所述相对移动，从而可在基板10上涂布抗蚀剂液12。过滤装置40、过滤装置41、过滤装置42及过滤装置43由盘状的过滤器和滤壳(filterhousing)构成。在此，也可以使用带折痕的筒状的过滤器来代替盘状的过滤物。具体而言，过滤装置40按照下述方式构成，S卩，在内部具有盘状的第1过滤器，育巨够以0.1ml/min'cn^以上、1.0ml/min'cm2以下的过滤速度过滤固化性组合物。所述过滤速度可以通过利用在过滤装置40内具备的未图示的流量计测定抗蚀剂液12的过滤流量，而用第1过滤器的过滤面积除所测定的过滤流量来求得。过滤装置42的结构与过滤装置40的结构相同。另外，过滤装置41按照下述方式构成，S卩，在内部具有盘状的第2过滤器，能够以30ml/mirvcm2以上、200ml/miircm2以下的过滤速度过滤固化性组合物。所述过滤速度可以通过利用在过滤装置41内具备的未图示的流量计测定抗蚀剂液12的过滤流量，而用第2过滤器的过滤面积除所测定的过滤流量来求得。过滤装置43的结构与过滤装置41的结构相同。供给管31的另一端(没有与供给管21及供给管22相连接的一侧的端》与供给管32的另一端(没有与供给管24及供给管25相连接的一侧的端)相互连接，并且该连接部与供给管30的一端连接。由此，可以从供给管30的另一端向各供给管内提供洗涤液(箭头S的方向)。另外，排液管33的另一端(没有与供给管22及供给管23相连接的一侧的端)与排液管34的另一端(没有与供给管25及供给管26连接的一侧的端)彼此连接，并且该连接部与排液管35的一端连接。由此，可以从排液管35的另一端进行洗涤液的排液(箭头D的方向)。接着，以使用涂布装置100的所述第1管路，在基板10上进行抗蚀剂液12的涂布的情况为例进行说明。首先，打开第1管路选择阀VI及V3，关闭第2管路选择阀V2及V4、洗涤液接收阀V5及V6以及排液阀V7及V8，起动抗蚀剂液送液泵Pl。由此，抗蚀剂液槽14中的抗蚀剂液12被送液至供给管20、供给管21及供给管22。在供给管22中，抗蚀剂液12首先被过滤装置40内部的第1过滤器以0.1ml/mhvcr^以上、l.Oml/mhvcm2以下的过滤速度过滤(第1过滤工序)。经第1过滤工序过滤的抗蚀剂液12进一步被过滤装置41内部的第2过滤器以过滤速度30ml/min，cm2以上、200ml/miivcm2以下的过滤速度过滤(第2过滤工序)。所述已过滤的抗蚀剂液12流经供给管23及27，被提供给狭缝喷嘴50，并通过喷出口51被涂布在基板IO上。如果连续地对多片基板进行所述的第1管路中的涂布，则有时过滤装置40内部的第1过滤器或过滤装置41内部的第2过滤器会发生堵塞，从而不能维持所述的过滤速度，而此时通过将抗蚀剂液12的流路切换到第2管路，则可以在不停止生产的情况下对过滤器(第1过滤器及/或第2过滤器)进行清洗或更换。具体而言，在连续地对多片基板进行所述的第1管路中的涂布过程中，利用微差压力传感器S1观测抗蚀剂液12的送液压力，在该微差压力传感器S1的输出值达到预先设定的上限值的情况下，通过关闭第1管路选择阀V1及V3，并打开第2管路选择阀V2及V4，从而可以将抗蚀剂液12的流路从第1管路切换成第2管路。在此，微差压力传感器Sl的所述上限值预先设定第1过滤工序中的过滤速度不到0.1ml/minxn^时的送液压力。可以在将抗蚀剂液12的流路从第1管路切换成第2管路之后，在关闭第1管路选择阀VI及V3的情况下打开洗涤液接收阀V5及排液阀V7，向供给管22供给洗涤液，清洗过滤装置40内部的第1过滤器及过滤装置41内部的第2过滤器。作为洗涤液，例如可以使用后述的溶剂等。另外，根据需要，也可以进行第1过滤器及/或第2过滤器的更换。在本实施方式中，可以采用与已述的使用第1管路的情况同样的方式，使用第2管路在基板10上进行抗蚀剂液12的涂布。即使在过滤装置42内部的第1过滤器或过滤装置43内部的第2过滤器发生堵塞的情况下，也可以通过与上述相同的操作，再次将抗蚀剂液12的流路从第2管路切换成第1管路，在不停止生产的情况下进行过滤器的清洗或更换。此外，本实施方式的涂布不限定于交替使用所述的第1管路及第2管路的方式，也可以通过全部打开第1管路选择阀VI及V3、第2管路选择阀V2及V4，同时使用第1管路及第2管路进行涂布。另外，涂布装置100中的抗蚀剂液12的管路构成(流路的构成)并不限于图1所示的第1管路和第2管路构成的2个系统的管路构成，可以为1个系统的管路构成，也可以为3个系统以上的管路构成。<固化性组合物的优选例>作为本发明中的固化性组合物的优选例，可以举出在着色像素的形成中所使用的公知的着色固化性组合物(例如公知的彩色抗蚀剂液等)；在黑矩阵等隔壁的形成中使用的公知的深色固化性组合物(例如公知的黑抗蚀剂液等)；在外涂膜、感光性间隔材、取向控制用突起等的形成中使用在公知的固化性组合物(例如公知的抗蚀剂液等)等。从更有效地发挥本发明的效果的观点出发，固化性组合物在23。C下的粘度优选为120Pa's，更优选为215Pa's，特别优选为310Pa-s。作为本发明中的固化性组合物，优选例如含有树脂和感光剂(光聚合引发剂或光酸发生剂)，进而根据需要含有着色剂、聚合性化合物、溶剂等的感光性树脂组合物。对于着色剂、树脂、感光剂(光聚合引发剂或光酸发生剂)、聚合性化合物、溶剂等各成分而言，可以适当选择使用在日本特开2003—241368号公报段落编号或日本特开2005—70152号公报段落编号中记载的成分。<着色剂〉作为所述着色剂，例如可以使用1种或混合使用2种以上的以往公知的各种染料或颜料。作为该着色剂，从耐光性的观点出发，优选为颜料。作为所述颜料，可以使用以往公知的公知无机颜料或有机颜料。另外，无论是无机颜料还是有机颜料，均优选为高透过率，从这一点出发，优选使用尽可能细的颜料，而若考虑到操作性，所述颜料的平均粒径优选为0.01nm0.1^im，更优选为0.01|im0.05|am。另外，作为所述无机颜料，可以举出以金属氧化物、金属络盐等所表示的金属化合物，具体而言，可以举出铁、钴、铝、镉、铅、铜、钕、镁、铬、锌、锑等金属氧化物以及所述金属的复合氧化物。作为有机颜料，例如可以举出C丄颜料黄ll、24、31、53、83、93、99、108、109、110、138、139、147、150、151、154、155、167、180、185、199;C.I.颜料橙36、38、43、71;C.I.颜料红81、105、122、149、150、155、171、175、176、177、209、220、224、242、254、255、264、270;C丄颜料紫19、23、32、39;C.I.颜料蓝1、2、15、15:1、15:3、15:6、16、22、60、66;C.I.颜料绿7、36、37;C.I.颜料褐25、28;C.I.颜料黑1、7;炭黑等。在本发明中，可以特别优选使用在颜料的结构式中具有碱性的N原子的颜料。这些具有碱性的N原子的颜料在本发明的组合物中显示出良好的分散性。其原因尚不十分清楚，推测受感光性聚合成分与颜料的亲合性的好坏所影响。作为可以在本发明中优选使用的颜料，可以举出以下颜料。不过，本发明并不限定与此。C.I.颜料黄ll、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185，C丄颜料橙36、71，C丄颜料红122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264，C.I.颜料紫19、23、32，C.I.颜料蓝15:1、15:3、15:6、16、22、60、66，C.I.颜料黑1这些有机颜料可以单独或者为了提高色纯度而进行各种组合使用。所述组合的具体实例如下所示。例如，作为红色像素用的颜料，可以使用蒽醌系颜料、二萘嵌苯(perillene)系颜料、二羰代吡咯并吡咯(diketopyrrol叩yrrole)颜料单独或它们的至少1种与双偶氮系黄色颜料、异吲哚满系黄色颜料、奎酞酮系黄色颜料或二萘嵌苯系红色颜料的混合物等。例如，作为蒽醌系颜料，可以举出C丄颜料红177，作为二萘嵌苯系颜料，可以举出C丄颜料红155、C丄颜料红224,作为二羰代吡咯并吡咯，可以举出C丄颜料红254，从色再现性的点出发，优选与C.I.颜料黄139的混合。另外，红色像素用颜料中的黄色颜料与黄色颜料的质量比优选为100:5100:50。如果所述质量比为100:5以上，则能够进一步减少400nm500nm的光透过率，可以进一步提高色纯度。另夕卜，如果为100:50以下，则可以更有效地抑制主波长偏向短波长的现象或从NTSC目标色相的偏离变大的现象。作为所述质量比，特别优选100:10100:30的范围。另外，在红色颜料之间进行组合的情况下，可以与色度一起调整。作为绿色像素用的颜料，可以单独使用卤化酞菁系颜料或者使用其与双偶氮系黄色颜料、喹酞酮系黄色颜料、甲亚胺系黄色颜料或异吲哚满系黄色颜料的混合物。例如，作为这样的例子，可以优选举出C.I.颜料绿7、36、37与C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C.L颜料黄180或C.I.颜料黄185的混合。绿色像素用的颜料中的绿颜料与黄色颜料的质量比优选为100:5100:150。如果所述质量比为100:5以上，则可以进一步减少400nm450nm的光透过率，进一步提高色纯度。另外，如果为100:150以下，则可以更有效地抑制主波长偏向长波长的现象或从NTSC目标色相的偏离变大的现象。作为所述质量比，特别优选100:30100:120的范围。作为蓝色像素用的颜料，可以单独使用酞菁系颜料单独或使用其与二噁嗪系紫色颜料的混合物。例如，优选C.I.颜料蓝15:6与C.I.颜料紫23的混合物。蓝色像素用的颜料中的蓝色颜料与紫色颜料的质量比优选为100:0100:30，更优选为100:10以下。其中，作为着色剂，优选从三烯丙基甲垸系、蒽醌系、甲亚胺系、亚节基(benzylidene)系、氧杂菁(oxonol，才年y乂一AO系、花青苷系、吩噻嗪系、吡咯并吡唑甲亚胺(pyrropyrazoleazomethine)系、氧杂蒽(xanthene)系、酞菁系、苯并吡喃系、靛蓝系、吡唑偶氮系、苯胺基偶氮系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、蒽吡啶酮系中选择的着色剂。在本发明中可使用的着色剂优选染料或满足平均粒径r(单位nm)为20Sr^300、优选为125SrS250、特别优选为30^r^200的颜料。通过使用这样的平均粒径r的颜料，可以得到具有高对比度比且高光透过率的红色和绿色的像素。在此所述的"平均粒径"是指颜料的一次粒子(单微晶体)集合而成的二次粒子的平均粒径。另外，在本发明中可使用的颜料的二次粒子的粒径分布(以下简称为"粒径分布")优选粒径在(平均粒径士IOO)nm的二次粒子占整体的70质量％以上，优选为80质量％以上。具有所述的平均粒径及粒径分布的颜料是市售的颜料与根据情况使用的其他颜料(平均粒径通常超过300nm)、同时优选与分散剂和溶剂混合而成的颜料混合液，例如通过使用珠磨机、辊磨机等粉碎机粉碎，并混合、分散来配制。这样得到的颜料通常为颜料分散液的形态。作为本发明的固化性组合物中含有的着色剂的含量，优选在固化性组合物的全部固态成分中为2595质量％，更优选为3090质量。％，更优选为4080质量％。如果着色剂的含量在所述范围内，则在制作滤色片时可以得到更适合的色度。另外，如果着色剂的含量在所述范围内，则可以更有效地防止光固化不充分的膜的强度降低的现象、或碱显影时的显影范围变窄的现象。<分散剂>本发明的固化性组合物在含有颜料作为着色剂的情况下，从提高该颜料的分散性的观点出发，优选添加分散剂。作为在本发明中可使用的分散剂(颜料分散剂)，可以举出高分子分散剂(例如聚酰胺胺和其盐、聚羧酸和其盐、高分子量不饱和酸酯、改性聚氨酯、改性聚酯、改性聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸系共聚物、萘磺酸甲醛縮合物)及聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、链烷醇胺、颜料衍生物等。高分子分散剂由其结构可分为直链状高分子、末端改性型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。高分子分散剂吸附于颜料的表面，起到防止再凝集的作用。所以，作为优选结构，可以举出具有可锚定于颜料表面的部位的末端改性型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。另一方面，颜料衍生物具有通过对颜料表面进行改良，从而促进高分子分散剂的吸附的效果。作为可以在本发明中使用的颜料分散剂的具体例，可以举出BYKChemie公司制"disperbyk—101(聚酰胺胺磷酸盐)、107(羧酸酯)、110(含酸根的共聚物)、130(聚酰胺)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共聚物)"、"BYK—P104、P105(高分子量不饱和聚羧酸)、EFKA公司制"EFKA4047、4050、4010、4165(聚氨酯系)、EFKA4330、4340(嵌段共聚物)、4400、4402(改性聚丙烯酸酯)、5010(聚酯酰胺)、5765(高分子量聚羧酸盐)、6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞菁衍生物)、6750(偶氮颜料衍生物)"、味之素精细化学株式会社(AjinomotoFineTechno.co.jp)制"AJISPERPB821、PB822"、共荣社化学公司制"FLOWLENTG—710(氨基甲酸酯寡聚物)"、"POLYFLOWNo,50E、No.300(丙烯酸系共聚物)"、楠本化成公司制"DISPARLONKS-860、873SN、874、#2150(脂肪族多元羧酸)、#7004(聚醚酯)、DA—703—50、DA—705、DA—725"、花王公司制"DEMOLRN、N(萘磺酸甲醛縮聚物)、MS、C、SN—B(芳香族磺酸甲醛缩聚物)"、"HOMOGENOLL—18(高分子聚羧酸)"、"HOMOGENOL920、930、935、985(聚氧化乙烯壬基苯醚)"、"ACETAMIN86(乙酸硬脂酰胺)"、路博润公司(TheLubrizolCorporation)制"SOLSPERES5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮顔料衍生物)、13240(聚酯胺)、3000、17000、27000(在末端部具有功能部的高分子)、24000、28000、32000、38500(接枝型高分子)，'、日光CHEMICAL公司帝U"NIKKORT106(聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯)、MYS—IEX(聚氧乙烯一硬脂酸酯)"等。这些分散剂可以单独使用，也可以组合使用2种以上。在本发明中，特别优选组合使用颜料衍生物和高分子分散剂。作为所述分散剂的含量，相对于颜料优选为180质量％，更优选为570质量％，更优选为1060质量％。具体而言，在使用高分子分散剂的情况下，作为其使用量，相对于颜料优选在5100质量Q^的范围，更优选1080质量％的范围。另外，在使用颜料衍生物的情况下，作为其使用量，相对颜料优选在130质量％的范围，更优选在320质量％的范围，特别优选在515质量％的范围。在本发明中，在使用作为着色剂的颜料和分散剂的情况下，从固化灵敏度、色浓度的观点出发，着色剂和分散剂的含量的总和相对于构成固化性组合物的全部固态成分，优选为30质量％以上、90质量％以下，更优选为40质量％以上、85质量％以下，更优选为50质量％以上、80质量Q/^以下。<树脂>作为所述树脂，例如优选为，线状有机高分子聚合物并可溶于有机溶剂。作为这样的线状有机高分子聚合物，可以举出在侧链具有羧酸的聚合物，例如在日本特开昭59—44615号、日本特公昭54—34327号、日本特公昭58—12577号、日本特公昭54—25957号、日本特开昭59—53836号、日本特开昭59—71048号的各公报中记载的那类甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、马来酸共聚物、部分酯化马来酸共聚物等，另外，同样也可以使用在侧链具有羧酸的酸性纤维素衍生物。在这些各种树脂中，从耐热性的观点出发，优选聚羟基苯乙烯系树脂、聚硅氧烷系树脂、丙烯酸系树脂、丙烯酰胺系树脂、丙烯酸/丙烯酰胺共聚物树脂，从显影性控制的观点出发，优选丙烯酸系树脂、丙烯酰胺系树脂、丙烯酸/丙烯酰胺共聚物树脂。作为所述丙烯酸系树脂，优选由(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酰胺等中选择的单体构成的共聚物，例如甲基丙烯酸苄基酯/甲基丙烯酸、甲基丙烯酸苄酯/苄基甲基丙烯酰胺之类的各种共聚物、KSRESIST—106(大阪有机化学工业(株)制)、CYCLOMERP系歹lj(日本大赛璐化学工业株式会社(DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD)制)等。通过使所述着色剂以高浓度分散在这些粘合剂中，可赋予与下层等的粘附性，这些也有利于旋转涂布、狭缝涂布时的涂布面状。作为所述树脂的重均分子量，优选为5,000以上，更优选为1万30万的范围，对于数均分子量而言，优选为1,000以上，更优选为2,00025万的范围。多分散度(重均分子量/数均分子量)优选为1以上，更优选为1.110的范围。这些聚合物也可以为无规聚合物、嵌段聚合物、接枝聚合物等任意一种。作为所述树脂的添加量，优选在本发明中的固化性组合物的全部固态成分中为520重量％的范围，更优选为512质量％。<光聚合引发剂>作为所述光聚合引发剂，例如可以举出遇光分解，引发、促进后述的聚合性化合物的聚合的化合物。其中，优选在波长300500nm的区域具有吸收的光聚合引发剂。另外，光聚合引发剂可以单独使用或并用2种以上。作为光聚合引发剂，例如可以举出有机卤化化合物、噁二唑化合物、羰基化合物、酮縮醇化合物、苯偶姻化合物、吖啶化合物、有机过氧化化合物、偶氮化合物、香豆素化合物、叠氮化合物、茂金属化合物、联二咪唑系化合物、有机硼酸盐化合物、二砜化合物、肟酯化合物、鎰盐化合物、酰基膦化物(氧化物)化合物。作为有机卤化化合物，具体而言，可以举出若林等、"BullChem.SocJapan"42、2924(1969)、美国专利第3，卯5，815号说明书、日本特公昭46—4605号、日本特开昭48—36281号、日本特开昭55—32070号、日本特开昭60—239736号、日本特开昭61—169835号、日本特开昭61—169837号、日本特开昭62—58241号、日本特开昭62—212401号、日本特开昭63—70243号、日本特开昭63—298339号、M.P.Hutt"JurnalofHeterocyclicChemistry"l(No3)，(1970)等中记载的化合物，尤其可以举出经三卤甲基取代的噁唑化合物、s—三嗪化合物。作为s—三嗪化合物，更优选在s—三嗪环上结合有至少1个单、二或三卤代甲基的s—三嗪衍生物，具体而言，例如可以举出2，4，6—三(一氯甲基)一s—三嗪、2，4，6—三(二氯甲基)一s—三嗪、2，4，6一三(三氯甲基)一s—三嗪、2—甲基一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—正丙基一4，6_双(三氯甲基)一s—三嗪、2—(a，a，P—三氯乙基)一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—苯基一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—(对甲氧基苯基)一4，6_双(三氯甲基)一s—三嗪、2—(3,4—环氧基苯基)一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—(对氯苯基)一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—[1一(对甲氧基苯基)—2，4一丁二烯基]一4，6_双(三氯甲基)一s—三嗪、2—苯乙烯基一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—(对甲氧基苯乙烯基)一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—(对异丙氧基苯乙烯基)一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—(对甲苯基)一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—(4一萘氧基萘基)—4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2—苯基硫代—4，6_双(三氯甲基)一s—三嗪、2—苄基硫代一4，6—双(三氯甲基)一s—三嗪、2，4，6—三(二溴甲基)一s—三嗪、2，4，6—三(三溴甲基)_s—三嗪、2—甲基一4，6_双(三溴甲基)一s—三嗪、2—甲氧基一4，6_双(三溴甲基)一s—三嗪、2，4一双(三氯甲基)一6—[4，一(N，N—双乙氧羰基甲基)氨基一3，一溴苯基]一s—三嗪等。作为联二咪唑系化合物，例如优选六芳基联二咪唑化合物等。作为六芳基联二咪唑化合物，例如在日本特公平6—29285号公报、美国专利第3，479，185号、美国专利第4，311，783号、美国专利第4，622，286号等的各说明书中记载的各种化合物，具体而言，可以举出2，2'—双(邻氯苯基)一4，4，，5，5'—四苯基联二咪唑、2，2'—双(邻溴苯基)一4，4'，5，5'—四苯基联二咪唑、2，2'—双(邻，对二氯苯基)—4，4'，5，5'—四苯基联二咪唑、2，2'—双(邻氯苯基)一4，4'，5，5'—四(间甲氧基苯基)联二咪唑、2，2'—双(邻，邻'一二氯苯基)—4，4，，5，5，一四苯基联二咪唑、2，2，一双(邻硝基苯基)一4，4，，5，5，一四苯基联二咪唑、2，2'—双(邻甲基苯基)一4，4，，5，5'—四苯基联二咪唑、2，2'—双(邻三氟苯基)一4，4，，5，5'—四苯基联二咪唑等。作为光聚合引发剂，从高灵敏度化的观点出发，优选从三卤甲基三嗪系化合物、联二咪唑系化合物、肟系化合物构成的组中选择的至少1种化合物，最优选联二咪唑系化合物。作为光聚合引发剂的含量，从更有效地得到本发明的效果的观点出发，相对固化性组合物的全部固态成分，优选为0.150质量％，更优选为0.130质量Q/^，特别优选为0.320质量％。在该范围内，可以得到良好的灵敏度和图案形成性。<聚合性化合物>作为所述聚合性化合物，例如可以举出具有至少一个乙烯性不饱和双键的加聚性化合物。其中，优选从具有至少l个、优选2个以上末端乙烯性不饱和键的化合物中选择的化合物。这样的化合物组是在该产业领域中被广泛所知的，在本发明中，可以没有特别限定地使用它们。它们具有例如单体，预聚物即2聚体、3聚体以及寡聚物，或它们的混合物以及它们的共聚物等化学形态。作为单体及其共聚物的例子，可以举出不饱和羧酸(例如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、异巴豆酸、马来酸等)或它们的酯类、酰胺类，优选使用不饱和羧酸与脂肪族多元醇化合物的酯、不饱和羧酸与脂肪族多元胺化合物的酰胺类。另外，还优选使用具有羟基或氨基、巯基等亲核性取代基的不饱和羧酸酯或者酰胺类与单官能或多官能异氰酸酯类或者环氧类的加成反应物，以及与单官能或多官能的羧酸的脱水縮合反应物等。另外，还优选具有异氰酸酯基或环氧基等亲电子性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能的醇类、胺类、硫醇类的加成反应物，更优选具有卤素基团或对苯基磺酰氧基等脱离性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类或酰胺类与单官能或多官能的醇类、胺类、硫醇类的取代反应物。另外，作为其他例子，还可以使用经过取代的不饱和膦酸、苯乙烯、乙烯醚等的化合物组来代替所述的不饱和羧酸。作为脂肪族多元醇化合物与不饱和羧酸的酯的单体的具体例，作为丙烯酸酯，包括乙二醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、1，3—丁二醇二丙烯酸酯、四亚甲基二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙垸三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、1，4一环己二醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)三聚异氰酸酯、聚酯丙烯酸酯寡聚物、三聚异氰酸EO改性三丙烯酸酯等。聚合性化合物的含量在本发明中的固化性组合物的固态成分中，优选为550质量％，更优选为740质量％，更更优选为1035质量％。<溶剂>作为所述溶剂，例如可以举出丙酮、丁酮、环己垸、乙酸乙酯、二氯乙烯、四氢呋喃、甲苯、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇二甲醚、一縮二丙二醇一甲醚、丙二醇一乙醚、乙酰丙酮、环己酮、双丙酮醇、乙二醇一甲醚乙酸酯、乙二醇乙醚乙酸酯、乙二醇一异丙醚、乙二醇一丁基醚乙酸酯、3—甲氧基丙醇、甲氧基甲氧基乙醇、二甘醇一甲醚、二甘醇一乙醚、二甘醇一乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、3—甲氧基丙基乙酸酯、N，N—二甲基甲酰胺、二甲亚砜、Y一丁内酰胺、乳酸甲酯、乳酸乙酯等。这些溶剂可以单独或混合使用。在固化性组合物中含有溶剂的情况下，该固化性组合物中的固态成分的浓度优选为260质量％。<其他成分>(增感剂)本发明中的固化性组合物也可含有至少1种增感剂。作为所述增感剂，优选用电子移动机构或能量移动机构使自由基引发剂增感的增感剂。另外，作为所述增感剂，可以举出属于以下列举的化合物类且在300nm450nm的波长区域具有吸收波长的增感剂。作为优选的增感剂的例子，可以举出属于以下化合物类且在330nm450nm域具有吸收波长的增感剂。作为所述增感剂，例如可以举出多环芳香族类(例如菲、蒽、芘、二萘嵌苯、苯并菲、9，IO—二垸氧基蒽)、氧杂蒽类(例如荧光素、四溴萤光素、红霉素、若丹明B、玫瑰红琼脂(rosebengal,口一乂^:/力W)、噻吨类(异丙基噻吨、二乙基噻吨、氯噻吨)、花青苷类(例如噻羰花青(thi證bo—ne)、氧杂羰花青)、份菁类(例如份菁、羰份菁)、酞菁类、噻嗪类(例如硫堇、亚甲蓝、甲苯胺蓝)、吖啶类(例如吖啶橙、氯黄素、吖啶黄)、蒽醌类(例如蒽醌)、斯夸琳(7夕7i;々厶)类(例如斯夸母)、香豆素类(例如7—二乙胺基一4一甲基香豆素)、香豆素酮、吩噻嗪类、吩嗪类、苯乙烯基苯类、偶氮化合物、二苯甲垸、三苯甲烷、二苯乙烯基苯类、咔唑类、卟啉、螺环化合物、喹吖(二)酮、靛青、苯乙烯基化合物、吡喃鑰化合物、亚甲基吡咯化合物、吡唑并三唑化合物、苯并噻唑化合物、巴比妥酸衍生物、硫代巴比妥酸衍生物、乙酰苯、苯甲酮、噻吨酮、米歇勒酮等芳香族酮化合物、N—芳基噁唑烷酮等杂环化合物等。作为更优选的增感剂的例子，例如可以适当地选择使用在日本特开2006—274076段落01250137、日本特开2006—91479段落01510185中记载的增感色素。所述增感剂的含量优选在固化性组合物的全部固态成分中为0.1质量。％20质量％，更优选为0.1质量％20质量％，更优选为0.2质量％20质量％。(共增感剂)本发明中的感光性组合物也可以含有至少1种共增感剂。作为所述共增感剂的例子，可以举出胺类，例如在M.R.SANDER等著"JoumalofPolymerSociety"第10巻3173页(1972)、日本特公昭44—20189号公报、日本特开昭51—82102号公报、日本特开昭52—134692号公报、日本特开昭59—138205号公报、日本特开昭60—84305号公报、日本特开昭62—18537号公报、日本特开昭64—33104号公报、ResearchDisclosure33825号中记载的化合物等，具体而言，可以举出三乙醇胺、对二甲胺基苯甲酸乙酯、对甲酰基二甲基苯胺、对甲基硫代二甲基苯胺等。作为共增感剂的其他例子，可以举出硫醇及硫化物类，例如日本特开昭53_702号公报、日本特公昭55—500806号公报、日本特开平5—142772号公报中记载的硫醇化合物、日本特开昭56—75643号公报中记载的二硫化物等，具体而言，可以举出2—巯基苯并噻唑、2—巯基苯并噁唑、2—巯基苯并咪唑、2—巯基一4(3H)—喹唑啉、卩一巯基萘等。另外，作为共增感剂的其他例子，可以举出氨基酸化合物(例如N—苯基甘氨酸等)、日本特公昭48—42965号公报中记载的有机金属化合物(例如三丁基锡乙酸酯等)、日本特公昭55_34414号公报中记载的氢供给体、日本特开平6—308727号公报记载的硫化合物(例如三噻烷等)等。共增感剂的总含量相对固化性组合物的全部固态成分的质量，优选为0.230质量％的范围，更优选为0.525质量％的范围，更优选为120质量％的范围。(聚合抑制剂)本发明中的固化性组合物也可以含有至少1种聚合抑制剂。作为可以在本发明中使用的热聚合防止剂，可以举出氢醌、氢醌一甲醚、对甲氧基苯酚、二一叔丁基一对甲酚、邻苯三酚、叔丁基邻苯二酚、苯醌、4，4'一硫代双(3—甲基一6—叔丁基苯酚)、2，2，一亚甲基双(4一甲基一6—叔丁基苯酚)、N—亚硝基苯基羟胺亚铈盐等。热聚合防止剂的添加量优选相对全部组合物的质量约为0.01质量%约5质量。％。另外，根据需要，为了防止氧对聚合的阻碍，也可以添加山嵛酸或山嵛酸酰胺之类的高级脂肪酸衍生物等，在涂布后的干燥过程中使其遍布于感光层的表面。高级脂肪酸衍生物的添加量优选为全组合物的约0.5质量％约10质量％。(粘附促进剂)本发明中的固化性组合物也可以含有至少1种粘附促进剂。在本发明中，为了提高与作为基材的硬质表面(基板)的粘附性，优选添加粘附促进剂。作为粘附促进剂，可以举出硅烷系偶合剂、钛偶合剂等。作为硅烷系偶合剂，例如可以举出Y—(2—氨乙基)氨基丙基三甲氧基硅焼、Y一(2—氨乙基)氨丙基二甲氧基硅垸、j3—(3，4—环氧基环己基)乙基三甲氧基硅垸、Y一氨基丙基三甲氧基硅烷、Y—氨丙基三乙氧基硅烷、Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸、Y—甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅垸、Y一丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸、Y—丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅垸、Y—异氰酸酯基丙基三甲氧基硅烷、Y一异氰酸酯基丙基三乙氧基硅垸、N—(3—(N—乙烯基苄基氨乙基)一Y—氨丙基三甲氧基硅垸-盐酸盐、Y—环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y—环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、氨基硅烷、Y—巯基丙基三甲氧基硅垸、Y—巯基丙基三乙氧基硅烷、甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅垸、乙烯基三乙酰氧基硅烷、Y一氯丙基三甲氧基硅垸、六甲基二硅氮烷、r"苯胺基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅垸、乙烯基三(P—甲氧基乙氧基)硅烷、十八烷基二甲基[3—(三甲氧基甲硅烷基)丙基]氯化铵、Y—氯丙基甲基二甲氧基硅垸、Y—巯基丙基甲基二甲氧基硅垸、甲基三氯硅垸、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷、2—(3，4一环氧基环己基)乙基三甲氧基硅垸、双烯丙基三甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、双(三甲氧基甲硅垸基)己烷、苯基三甲氧基硅烷、N—(3—丙烯酰氧基一2—羟丙基)一3—氨丙基三乙氧基硅烷、N—(3—甲基丙烯酰氧基一2—羟丙基)一3—氨丙基三乙氧基硅烷、(甲基丙烯酰氧基甲基)甲基二乙氧基硅烷、(丙烯酰氧基甲基)甲基二甲氧基硅烷等。其中，优选Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、Y—甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、Y—丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、Y—丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅垸、巯基丙基三甲氧基硅垸、Y一氨丙基三乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷，最优选Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。粘附促进剂的添加量优选在固化性组合物的全部固态成分中为0.530质量％，更优选为0.720质量Q^。(其他添加剂)进而，在本发明中，为了改良固化被膜的物性，也可以加入无机填充剂或增塑剂、感脂化剂等公知的添加剂。作为增塑剂，例如包括邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二(十二烷基)酯、三甘醇二辛酸酯、邻苯二甲酸二甲基乙二醇酯、磷酸三甲苯酯、己二酸二辛酯、癸二酸二丁酯、甘油三乙酸酯等，在使用粘结材料的情况下，可以添加相对具有乙烯性不饱和双键的化合物与粘结材料的总质量为10质量％以下。以下利用实施例对本发明更具体地说明，但本发明不被以下的实施例所限定。其中，只要没有特别限定，"份"及"％"为质量标准。[实施例1]〈深色感光性树脂组合物K1的配制>作为固化性组合物的深色感光性树脂组合物K1可以通过如下所述的方式得到，即，首先通过量取如表1中记载的量的K颜料分散物1、丙二醇一甲醚乙酸酯，在温度24。C(士2。C)下混合，以150rpm搅拌IO分钟，然后量取如表1中记载的量的丁酮、粘合剂l、氢醌一甲醚、DPHA液、2，4—双(三氯甲基)一6—[4，一(N，N—双乙氧羰基甲基)氨基一3，一溴苯基]一s—三嗪及表面活性剂l，在温度25。C(±2°C)下依次添加，在温度40。C(士2。C)、150rpm下搅拌30分钟。其中，表l记载的量为质量份，具体为以下组成。-炭黑(迪克森(X夕、》廿)公司制Nipex35)…13.1份-分散剂(下述化合物(l))...0.65份-聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=72/28摩尔比的无规共聚物，分子量3.7万)...6.72份-丙二醇一甲醚乙酸酯...79.53份(粘合剂l)-聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=78/22摩尔比的无规共聚物，化合物l分子量3.8万)-丙二醇一甲醚乙酸酯...27份".73份(DPHA液)-二季戊四醇六丙烯酸酯(含有聚合抑制剂MEHQ500ppm，KAYARADDPHA)-丙二醇一甲醚乙酸酯(表面活性剂1)-下述结构物1-丁酮结构物l(CH2—亍H),日本化药(株)制，商品名KAYARADDPHA)76份丙二醇一甲醚乙酸酯24份(表面活性剂1)下述结构物30份丁酮70份<formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula>PO:环氧丙烷，EO:环氧乙烷)<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>用UV清洗装置清洗1100mmxl300mm尺寸的无碱玻璃基板之后，使用洗涤剂刷洗，进而用超纯水进行超声波清洗。12(TC下热处理该基板3分钟，使表面状态稳定化。冷却该基板，温调至23'C之后，使用图l所示的涂布装置100，在经过温调的基板上涂布深色感光性树脂组合物Kl。在此，作为涂布装置100中的深色感光性树脂组合物K1的路径，使用具有供给管21、具备过滤装置40和过滤装置41的供给管22、以及供给管23的路径(第1管路)。另外，将深色感光性树脂组合物K1调整至23'C，进行涂布，23°。下的深色感光性树脂组合物K1的粘度为5Pa-s。首先，将所述深色感光性树脂组合物Kl(抗蚀剂液12)加入涂布装置100的抗蚀剂液槽14内，将所述经过温调的基板10载置于涂布涂布台52上。接着，打开第1管路选择阀VI及V3，关闭第2管路选择阀V2和V4、洗涤液接收阀V5和V6、以及排液阀V7和V8，启动抗蚀剂液送液泵Pl，将抗蚀剂液槽14中的深色感光性树脂组合物Kl送至供给管20、21及22。在供给管22中，首先，利用过滤装置40内部的第1过滤器，以1.0ml/mkvcm2的过滤速度过滤深色感光性树脂组合物Kl(第1过滤工序)。接着，将经过第1过滤工序过滤的深色感光性树脂组合物K1，进一步利用过滤装置41内部的第2过滤器，以35ml/min，cm2的过滤速度进行过滤(第2过滤工序)。作为所述第1过滤工序中的过滤装置40，使用在直径10cm的PTFE制的滤壳(日本颇尔(PALL)株式会社制，型号PHYGPS64)的内部安装作为第1过滤器的日本(PALL)株式会社制的膜过滤器(商品名RROFILESTAR(平膜)，过滤面积230cm2，材质聚苯乙烯，过滤器孔径l，OpM)的过滤装置。在第1过滤工序中，深色感光性树脂组合物Kl的流量为230ml/min，过滤压力为3kPa。另外，作为所述第2过滤工序中的过滤装置41，使用在直径3cm的SUS制滤壳的内部安装作为第2过滤器的日本颇尔(PALL)株式会社制的膜过滤器(商品名RROFILESTAR(平膜)，过滤面积2.9cm2，材质聚苯乙烯，过滤器孔径l.(HiM)的过滤装置。在第2过滤工序中，深色感光性树脂组合物K1的流量为100ml/min，过滤压力为300kPa。在此，过滤器的孔径为利用起泡点法(JISK3832;通过经过异丙醇完全润湿的膜过滤器的孔，测定挤出空气时的压力(BubblePoint)，测定膜过滤器的最大孔径的方法)而测定的值。接着，使经过所述第2过滤工序过滤的深色感光性树脂组合物Kl通过供给管23和27被供给狭缝喷嘴50(平田机工(株)制狭缝涂布机)，并由喷出口51被涂布于已进行所述温调的基板(基板IO)上，形成涂布层。接着，将形成的所述涂布层的基板输送至VCD(真空干燥装置；东京应化工业(株)制)，用该VCD将溶剂的一部分干燥30秒，使所述涂布层的流动性消失，然后在120'C下预供焙(prebake)3分钟，得到膜厚0.7|im、0D2的感光性树脂层Kl。接着，用具有超高压汞灯的近接式曝光机(日立高新技术公司(HitachiHigh-TechnologiesCorporation.)制)，设定曝光掩模面与该感光性树脂层Kl之间的距离为200|im，以曝光量300mJ/cn^对所形成的感光性树脂层Kl进行曝光。接着，用喷淋喷嘴将纯水喷雾，使己曝光的感光性树脂层K1的表面均匀地湿润之后，以23。C、80秒、扁平喷嘴压力0.04MPa下，对KOH系显影液(含有KOH、非离子表面活性剂，商品名CDK—1，富士胶片电子综合材料(7Y少厶工k夕卜口二夕77亍U7VPX))进行喷淋显影。接着，用超高压清洗喷嘴，在9.8MPa的压力下喷射超纯水，除去残渣，在基板上得到黑(K)的|3图像。可以通过将所述曝光工序中的"没有图案的全面曝光实验用"曝光掩模变换为带有黑矩阵图案的曝光掩模，得到带有黑矩阵的基板。<着色像素的形成等>通过使用红色感光性树脂组合物、绿色感光性树脂组合物、蓝色感光性树脂组合物，利用光刻法，在所述带有黑矩阵的基板上形成红色像素、绿色像素、蓝色像素，从而可得到滤色片。进而，根据需要，还可以使用感光性树脂组合物，设置外涂膜、感光性间隔材、取向控制用突起等。<评价>在使用Na灯的测光台(lighttable)上，利用放大镜，观察涂布感光性树脂层K1后不久的涂布膜表面，确认缺陷(颜色薄的面状故障地方)的有无。连续处理多片基板，通过每1片基板的缺陷数为6个时的处理片数来评价面状故障抑制效果。评价机构如表2所示。判断标准A...每1片基板的缺陷数为6个时的处理张数为300片以上。B...每1片基板的缺陷数为6个时的处理片数为70片以上、不到300片(在实际应用的允许范围内)。D...每1片基板的缺陷数为6个时的处理片数为不到70片(在实际应用的允许范围之外)。如表2所示除了变更第1过滤工序及第2过滤工序中的过滤速度、过滤器的材质、过滤器孔径以外，与实施例1同样地制作滤色片，与实施例1同样地进行评价。评价结果为表2所示。此外，过滤速度的调整通过改变第1和第2过滤器的过滤面积或利用抗蚀剂液送液泵Pl对深色感光性树脂组合物Kl的送液速度来进行。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>《表中的符号的说明》※l...pp表示聚丙烯※2...过滤速度的单位为"ml/mirvci^"从表2可知，在使用本发明的过滤器的制造方法的实施例119中，抑制了缺陷的发生。此外，在以上的实施例中，作为固化性组合物，使用最容易检测出缺陷的黑色的感光性树脂组合物K1来评价缺陷，当然即使在使用用于形成红色像素、绿色像素、蓝色像素的红色、绿色或蓝色的感光性树脂组合物或用于形成感光性间隔材、外涂膜等无色的感光性树脂组合物进行评价的况下，本实施例也同样可除去异物、抑制异物的发生。根据本发明，可以提供一种能够减少涂布膜的面状故障、抑制缺陷的发生的滤色片的制造方法。即，本发明可以提供下述的<1><5>的项目。<1〉一种滤色片的制造方法，其具有-使固化性组合物以0.1ml/miivcm2以上、1.0ml/miivcm2以下的过滤速度通过第l过滤器进行过滤的第l过滤工序；和使经所述第1过滤工序过滤后的所述固化性组合物进一步以30ml/min.cm以上、200ml/mhvcm2以下的过滤速度通过第2过滤器进行过滤的第2过滤工序；和在基板上涂布经所述第2过滤工序过滤后的所述固化性组合物的涂布工序。<2>根据所述<1>记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序的所述过滤速度为0.2ml/miivcm2以上、0.8ml/min.cm2以下，所述第2过滤工序的所述过滤速度为32ml/miivcm2以上、100ml/minxm2以下。<3>根据所述<1>或<2>记载的滤色片的制造方法，其中，至少所述第1过滤器含有含聚丙烯的树脂。<4>根据所述<1><3>中任意一项记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤器及所述第2过滤器中的至少一个的孔径为0.2pm以上、3.(Him以下。<5>根据所述<4>记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤器的孔径为0.5pm以上、1.5pm以下，所述第2过滤器的孔径为0.4(am以上、2.(Him以下。<6>根据所述<1><5>中任意一项记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序中的过滤压力为1000Pa以上、5000Pa以下，所述第2过滤工序中的过滤压力为10000Pa以上、700000Pa以下。<7>根据所述<6>记载的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序中的过滤压力为2000Pa以上、4000Pa以下，所述第2过滤工序中的过滤压力为20000Pa以上、500000Pa以下。也可以说所述本发明的优选实施方式的详细情况可以根据本领域的技术人员需要的不同适用情况变更成各种应用方式。因而，本发明的范围应该由专利请求的范围来决定。权利要求1.一种滤色片的制造方法，其包括使固化性组合物以0.1ml/min·cm2以上、1.0ml/min·cm2以下的过滤速度通过第1过滤器进行过滤的第1过滤工序；和使经所述第1过滤工序过滤后的所述固化性组合物进一步以30ml/min·cm2以上、200ml/min·cm2以下的过滤速度通过第2过滤器进行过滤的第2过滤工序；和在基板上涂布经所述第2过滤工序过滤后的所述固化性组合物的涂布工序。2.根据权利要求l所述的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序的所述过滤速度为0.2ml/mhvcm2以上、0.8ml/mirvcm2以下，所述第2过滤工序的所述过滤速度为32ml/min，cm2以上、100ml/mirvcm2以下。3.根据权利要求l所述的滤色片的制造方法，其中，至少所述第1过滤器含有含聚丙烯的树脂。4.根据权利要求l所述的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤器及所述第2过滤器中的至少一个的孔径为0.2pm以上、3.(Him以下。5.根据权利要求2或3所述的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤器及所述第2过滤器中的至少一个的孔径为0.2pm以上、3.0|im以下。6.根据权利要求1所述的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤器的孔径为0.5|am以上、1.5(im以下，所述第2过滤器的孔径为0.4pm以上、2.0pm以下。7.根据权利要求2或3所述的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤器的孔径为0.5pm以上、1.5,以下，所述第2过滤器的孔径为0.4pm以上、2.0pm以下。8.根据权利要求14及权利要求6中任意一项所述的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序中的过滤压力为1000Pa以上、5000Pa以下，所述第2过滤工序中的过滤压力为10000Pa以上、700000Pa以下。9.根据权利要求14及权利要求6中任意一项所述的滤色片的制造方法，其中，所述第1过滤工序中的过滤压力为2000Pa以上、4000Pa以下，所述第2过滤工序中的过滤压力为20000Pa以上、500000Pa以下。全文摘要本发明提供一种能够减少涂布膜的面状故障、抑制缺陷的发生的滤色片的制造方法，其中，包含使感光性树脂组合物以0.1ml/min·cm²以上、1.0ml/min·cm²以下的过滤速度通过第1过滤器进行过滤的第1过滤工序；和经所述第1过滤工序过滤后的所述感光性树脂组合物进一步以30ml/min·cm²以上、200ml/min·cm²以下的过滤速度通过第2过滤器进行过滤的2过滤工序；和在基板上涂布经所述第2过滤工序过滤后的所述感光性树脂组合物的涂布工序。文档编号G03F7/00GK101382613SQ200810144599公开日2009年3月11日申请日期2008年8月22日优先权日2007年9月5日发明者川岛敦申请人:富士胶片株式会社